30所輸出的信號后會啟動并輸出功率至光源裝置150。在本實施例中，第一功率裝置142是由二個電源供應(yīng)器所組成，而第二功率裝置144則為一電源供應(yīng)器。此外，第一功率裝置142為曝光機原制造廠所提供的裝置，而第二功率裝置144則是為了增加光源裝置150的光照強度而增設(shè)的。
[0021]在本實施例中，控制主機110會將一與光源裝置輸出功率訊息相關(guān)的信號輸出到第一功率裝置142與演算裝置130，借由演算裝置130能使第二功率裝置144的輸出功率與第一功率裝置142的輸出功率相連動，例如讓第二功率裝置144的輸出功率與第一功率裝置142的輸出功率是成一比例關(guān)系，此比例關(guān)系例如為1: 9。詳細的說，當?shù)谝还β恃b置142的輸出功率3150瓦時，第二功率裝置144的輸出功率為350瓦，這樣一來光源裝置150所接受的功率則為3500瓦。
[0022]為了更清楚說明本實用新型的曝光機改良結(jié)構(gòu)的運作方式，茲以圖2所示的流程圖說明如下。首先，如步驟S110，控制主機110將與光源裝置輸出功率訊息相關(guān)的信號輸出到第一功率裝置142與輸入設(shè)備160。再來，請參照步驟S120，輸入設(shè)備160將控制主機110所輸入的較高壓的信號轉(zhuǎn)變?yōu)檩^低壓的信號后，再將此信號輸出至演算裝置130。之后，請參照步驟S130，輸入設(shè)備160將訊號輸出至演算裝置130的同時，輸入設(shè)備160也將訊號輸入到啟動裝置170，接著啟動裝置170啟動微處理器120。然后，請參照步驟S140，微處理器120使演算裝置130啟動。接著，請參照步驟S150，演算裝置130接受從輸入設(shè)備160所輸出的信號后，演算裝置130會進行演算并輸出一演算后信號至一輸出裝置180。再來，請參照步驟S160，輸出裝置180將演算后信號放大并將其輸出到第二功率裝置142。最后，請參照步驟S170，功率裝置140會啟動光源裝置150，以使光源裝置150產(chǎn)生光源。
[0023]由上述的實施例可知，縱使第一功率裝置142的最大輸出功率被曝光機原制造廠所限制，借由第二功率裝置144與演算裝置130，也能使光源裝置150的光照強度(亦即:輸出功率)變大，從而增加半導(dǎo)體制程上的制造速度。
[0024]以下，請復(fù)參圖1，此曝光機改良結(jié)構(gòu)100還包括一感測裝置190，該感測裝置190電性連接于第二功率裝置144與微處理器120間，此感測裝置190偵測到第二功率裝置144發(fā)生故障時會發(fā)出一信號至微處理器120，之后此微處理器120會發(fā)出一第一信號至演算裝置130以停止演算裝置130的運作，同時微處理器120發(fā)出一第二信號至控制主機110以停止控制主機110的運作。在本實施例中，感測裝置190可為電壓傳感器，當感測到第二功率裝置144不足時，微處理器120便會判斷第二功率裝置144故障。此外，感測裝置190也可以是由多個傳感器所構(gòu)成。另外，此曝光機改良結(jié)構(gòu)100還包括一信號放大裝置195，此信號放大裝置195是用于放大微處理器120所發(fā)出的第二信號。
[0025]上述實施例僅是為了方便說明而舉例，雖遭所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員任意進行修改，均不會脫離如權(quán)利要求書中所欲保護的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種曝光機改良結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括: 一控制主機； 一微處理器，與該控制主機電性連接； 一演算裝置，與該控制主機及該微處理器電性連接； 一功率裝置，包括一第一功率裝置與一第二功率裝置，該第一功率裝置是直接電性連接到該控制主機，該第二功率裝置是電性連接到該演算裝置； 一光源裝置，電性連接到該第一功率裝置與該第二功率裝置，該第一功率裝置與該第二功率裝置輸出電源給該光源裝置； 其中，該控制主機會將一與光源裝置輸出功率訊息相關(guān)的信號輸出到該第一功率裝置與該演算裝置，借由該演算裝置能使該第二功率裝置的輸出功率與該第一功率裝置的輸出功率相連動。
2.如權(quán)利要求1所述的曝光機改良結(jié)構(gòu)，其中該第二功率裝置的輸出功率與該第一功率裝置的輸出功率是成一比例關(guān)系。
3.如權(quán)利要求2所述的曝光機改良結(jié)構(gòu)，其中該比例關(guān)系為1: 9。
4.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3任一項所述的曝光機改良結(jié)構(gòu)，更包括一輸入設(shè)備，該輸入設(shè)備電性連接于該控制主機與該演算裝置間，該輸入設(shè)備是用于轉(zhuǎn)換電壓。
5.如權(quán)利要求4所述的曝光機改良結(jié)構(gòu)，更包括一啟動裝置，該啟動裝置電性連接于該輸入設(shè)備與該微處理器間，當該啟動裝置接收該輸入設(shè)備的一輸出信號時啟動該微處理器。
6.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3任一項所述的曝光機改良結(jié)構(gòu)，更包括一輸出裝置，該輸出裝置電性連接于該演算裝置及該功率裝置間，該輸出裝置是用于放大信號。
7.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3任一項所述的曝光機改良結(jié)構(gòu)，更包括一感測裝置，該感測裝置電性連接于該第二功率裝置與該微處理器間，該感測裝置感測到該第二功率裝置故障時，該微處理器發(fā)出一第一信號至該演算裝置以停止該演算裝置的運作，同時該微處理器發(fā)出一第二信號至該控制主機以停止該控制主機的運作。
8.如權(quán)利要求7所述的曝光機改良結(jié)構(gòu)，更包括一信號放大裝置，其中該信號放大裝置電性連接于該控制主機與該微處理器間，該信號放大裝置是用于放大該第二信號。
【專利摘要】一種曝光機改良結(jié)構(gòu)，其包括一控制主機、一微處理器、一演算裝置、一功率裝置、與一光源裝置。其中，微處理器是與控制主機電性連接，而演算裝置則是與控制主機及微處理器電性連接。另外，功率裝置包括一第一功率裝置與一第二功率裝置，第一功率裝置是直接電性連接到控制主機，而第二功率裝置是電性連接到演算裝置。光源裝置是電性連接到第一功率裝置與第二功率裝置，該第一功率裝置與該第二功率裝置輸出電源給光源裝置。其中，控制主機會將一與光源裝置輸出功率訊息相關(guān)的信號輸出到第一功率裝置與演算裝置，借由演算裝置能使第二功率裝置之輸出功率與第一功率裝置的輸出功率相連動。
【IPC分類】G03F7-20
【公開號】CN204613593
【申請?zhí)枴緾N201520271952
【發(fā)明人】陳銘輝
【申請人】陳銘輝
【公開日】2015年9月2日
【申請日】2015年4月30日