駐留持續(xù)時(shí)間)大于在投影面的邊緣，參見(jiàn)圖7。
[0049]利用現(xiàn)有技術(shù)中的網(wǎng)格/光柵方法，圖片點(diǎn)的重復(fù)率是固定設(shè)置的。例如，網(wǎng)格被從上到下或從左到右地掃描。如果網(wǎng)格/光柵方法的過(guò)程中出現(xiàn)外部影響引起的溫度波動(dòng)、振動(dòng)或敲擊，就會(huì)出現(xiàn)圖片的擾動(dòng)或閃爍。
[0050]如果軌跡沒(méi)有固定的重復(fù)率，利用振動(dòng)、敲擊和高達(dá)120°C (從_40°C到80°C )的溫度波動(dòng)起作用的應(yīng)用，可以是有利的，例如在汽車領(lǐng)域。甚至可以為每個(gè)單獨(dú)的軌跡選擇另一個(gè)無(wú)限序列的掃描。以這種方式，可以增加方法的靈活性和魯棒性。
[0051]在實(shí)施例中，激活信號(hào)被設(shè)置或改變成使得軌跡不是靜止的和/或軌跡不具有固定的重復(fù)率。如果提供了幾個(gè)偏轉(zhuǎn)軸，則各偏轉(zhuǎn)軸的激活頻率也因此也不需要是彼此的整數(shù)比。利用圖片投影裝置，這將意味著沒(méi)有固定的、可預(yù)測(cè)的圖片存儲(chǔ)讀出過(guò)程的順序，因?yàn)橥队懊娴膾呙桧樞虿皇呛愣ǖ摹?br>[0052]軌跡時(shí)間上的變化進(jìn)一步產(chǎn)生有利的條件，可隨激光投影產(chǎn)生的意外的斑點(diǎn)圖案明顯減少了，因?yàn)樗⒉豢偸窍嗤?，二手在投影面上有不同的散射中心。然而，這導(dǎo)致斑點(diǎn)圖案也變化并以疊加和時(shí)間上綜合的方式被眼睛被平均化。這是想比于利用靜止軌跡的所有激光投影方法的優(yōu)勢(shì)。
[0053]圖片重復(fù)率描述不同軌跡彼此相繼連續(xù)的速率。圖片重復(fù)率為至少30Hz，尤其是至少60Hz，優(yōu)選為至少10Hz，尤其優(yōu)選為400Hz。人眼可察覺(jué)到的閃爍效應(yīng)或頻閃效應(yīng)可以通過(guò)這種方式減少。
[0054]作為規(guī)律，高分辨率圖片的投影需要極其迅速的偏轉(zhuǎn)單元，如HDTV分辨率的情況。偏轉(zhuǎn)單元的共振振蕩的頻率應(yīng)當(dāng)為至少1000Hz，以滿足這些需求。共振頻率優(yōu)選大于3000Hz，尤其是大于1kHz或大于30kHz。
[0055]根據(jù)本發(fā)明，可以得到一種用于將軌跡投影至投影面的投影裝置的偏轉(zhuǎn)裝置，偏轉(zhuǎn)裝置設(shè)計(jì)成偏轉(zhuǎn)電磁輻射以產(chǎn)生軌跡，所述偏轉(zhuǎn)裝置包括:
[0056]-至少一個(gè)偏轉(zhuǎn)單元，用于產(chǎn)生繞至少一個(gè)偏轉(zhuǎn)軸的振蕩，和
[0057]-控制裝置，用于生成所述偏轉(zhuǎn)單元的激活信號(hào)。
[0058]在另一實(shí)施例中，所述偏轉(zhuǎn)裝置包括用于檢測(cè)表示所述偏轉(zhuǎn)單元的振蕩的轉(zhuǎn)動(dòng)振幅的測(cè)量結(jié)果信號(hào)的模塊。所述偏轉(zhuǎn)裝置尤其設(shè)計(jì)成實(shí)施上述的方法。
[0059]本申請(qǐng)中還提出了一種投影裝置，其具有上述的偏轉(zhuǎn)裝置和光束源(輻射源)的投影裝置，該光束源用于生成第一波長(zhǎng)或第一波長(zhǎng)區(qū)域的電磁輻射。提供照明屏幕作為投影面，并且被設(shè)計(jì)成將偏轉(zhuǎn)的電磁輻射的第一波長(zhǎng)或第一波長(zhǎng)區(qū)域轉(zhuǎn)換成第二波長(zhǎng)或第二波長(zhǎng)區(qū)域。因此，第二波長(zhǎng)或第二波長(zhǎng)區(qū)域通常在能量上低于第一波長(zhǎng)或第一波長(zhǎng)區(qū)域。第二波長(zhǎng)或第二波長(zhǎng)區(qū)域優(yōu)選包含可見(jiàn)光。
[0060]除了偏轉(zhuǎn)裝置之外，優(yōu)選地另外提供調(diào)制單元，用于以如下方式調(diào)制輻射源的電磁輻射的強(qiáng)度，取決于要投影的圖片和投影面上的電磁輻射的位置，以及將圖片投射到投影面上的投影裝置。在一個(gè)實(shí)施例中，輻射源的電磁輻射的強(qiáng)度是恒定的，同時(shí)激活信號(hào)設(shè)置為實(shí)現(xiàn)具有預(yù)定強(qiáng)度圖案的強(qiáng)度分布。在本申請(qǐng)的范圍內(nèi)，恒定的電磁輻射強(qiáng)度表示，在設(shè)置激活信號(hào)時(shí)電磁輻射的強(qiáng)度波動(dòng)不超過(guò)在預(yù)定平均值左右的10%或不超過(guò)5%或不超過(guò)1%。在另一實(shí)施例中，輻射源的電磁輻射的強(qiáng)度被調(diào)制，同時(shí)激活信號(hào)設(shè)置為實(shí)現(xiàn)具有預(yù)定強(qiáng)度圖案的強(qiáng)度分布。
[0061]在優(yōu)選的實(shí)施例，偏轉(zhuǎn)單元包括至少一個(gè)微鏡，其中表示鏡的偏轉(zhuǎn)的光學(xué)總掃描角度是>30度，優(yōu)選>40度，更優(yōu)選>60度。從而，微鏡可以為雙軸微鏡萬(wàn)向懸架在扭簧上，但也可以使用一個(gè)接一個(gè)布置的單軸微鏡。通常，偏轉(zhuǎn)設(shè)備中使用的鏡將繞著彼此正交布置的兩軸振蕩。然而，不同于90度的角度也可包含在掃描與偏轉(zhuǎn)軸之間。
[0062]偏轉(zhuǎn)裝置不一定局限于一個(gè)或兩個(gè)偏轉(zhuǎn)軸。也可以應(yīng)用例如三個(gè)或更多連續(xù)布置的單軸偏轉(zhuǎn)單元或單個(gè)的三軸或多軸偏轉(zhuǎn)單元。因此，也可以使用具有例如三個(gè)或更多扭轉(zhuǎn)懸架和/或彎曲彈簧懸架的掃描儀，以實(shí)現(xiàn)復(fù)雜、緊湊的李薩如軌跡。
[0063]實(shí)施例不限制于特定的構(gòu)造方式的掃描儀，例如到鏡的萬(wàn)向懸架或?qū)Ｓ抿?qū)動(dòng)方式，如利用電極梳的驅(qū)動(dòng)方式。前提條件總是，提供的投影面在足夠的速度和密度下由投影光束掃描。這也可以通過(guò)執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)，其不通過(guò)鏡處偏轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)光束偏轉(zhuǎn)，但利用折射或衍射的元件。
[0064]所提出的方法、偏轉(zhuǎn)裝置和投影裝置可以應(yīng)用在不同的應(yīng)用程序中，例如激光投影顯示器、照射系統(tǒng)或激光材料加工的機(jī)器。例如，在移動(dòng)消費(fèi)產(chǎn)品中提供的微型投影機(jī)，但只作為飛機(jī)和汽車上容易平視的顯示器，屬于相關(guān)申請(qǐng)。其他領(lǐng)域的應(yīng)用可以為顯示儀表板或數(shù)據(jù)眼鏡/護(hù)目鏡?？梢跃哂酗@示特性的車燈系統(tǒng)表示另一應(yīng)用。
【附圖說(shuō)明】
[0065]本發(fā)明的示例性實(shí)施例將在附圖中表示并在隨后的描述中更詳細(xì)地解釋。
[0066]圖中所示:
[0067]圖1為偏轉(zhuǎn)裝置的示意圖；
[0068]圖2為具有梳狀驅(qū)動(dòng)器的雙軸萬(wàn)向懸架微鏡的俯視圖；
[0069]圖3為具有偏轉(zhuǎn)裝置的投影裝置的示意圖；
[0070]圖4示出了在恒定激活頻率(上部圖)和恒定的振蕩的轉(zhuǎn)動(dòng)振幅(中部圖)下沿圖片高度的電磁輻射的累積強(qiáng)度(下部圖)；
[0071]圖5示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的、在非恒定的激活頻率(上部圖)和非恒定的振蕩的轉(zhuǎn)動(dòng)振幅(中部圖)下、沿圖片高度的電磁輻射的強(qiáng)度分布；
[0072]圖6示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的、在非恒定的激活頻率(上部圖)和非恒定的振蕩的轉(zhuǎn)動(dòng)振幅(中部圖)下、沿圖片高度的電磁輻射的強(qiáng)度分布；
[0073]圖7示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的、在非恒定的激活頻率(上部圖)和非恒定的振蕩的轉(zhuǎn)動(dòng)振幅(中部圖)下、沿圖片高度的電磁輻射的強(qiáng)度分布；
[0074]圖8示出了在共振激活頻率和最大振蕩振幅下、投影面上的電磁輻射的累積強(qiáng)度；
[0075]圖9示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的、在非恒定的激活頻率和非恒定的振蕩的轉(zhuǎn)動(dòng)振幅下、表面上的電磁輻射的強(qiáng)度分布；
[0076]圖10不出了根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的、表面上的電磁福射的強(qiáng)度分布；
[0077]圖11為根據(jù)本發(fā)明所述方法的實(shí)施例的框圖；
[0078]圖12示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的、在非恒定的激活頻率(上部圖)和非恒定的振蕩的轉(zhuǎn)動(dòng)振幅(中部圖)下、沿圖片高度的電磁輻射的強(qiáng)度分布；
[0079]圖13示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的、在非恒定的激活頻率(上部圖)和非恒定的振蕩的轉(zhuǎn)動(dòng)振幅(中部圖)下、沿圖片高度的電磁輻射的強(qiáng)度分布。
[0080]附圖中為重復(fù)出現(xiàn)的特征提供了相同的附圖標(biāo)記。
【具體實(shí)施方式】
[0081]在圖1中，偏轉(zhuǎn)單元示意性地表示為30，其作為偏轉(zhuǎn)元件31，包括雙軸萬(wàn)向懸架微鏡 31 (two-axis, cardanically suspended micromirror) 0 對(duì)于每個(gè)軸，在頻率 fI 和頻率f2且激活振幅Al和A2，通過(guò)從激活裝置32發(fā)送的激活信號(hào)，驅(qū)動(dòng)偏轉(zhuǎn)元件或微鏡31 (其驅(qū)動(dòng)未詳細(xì)表示出)，頻率Π和頻率f2作為激活信號(hào)。
[0082]激活裝置32包括設(shè)計(jì)成對(duì)激活信號(hào)進(jìn)行閉環(huán)控制的控制回路34。圖1中表示的控制回路34僅僅示意性地表示成用于兩個(gè)軸，但可以為每個(gè)振蕩軸提供控制回路。測(cè)量微鏡31偏轉(zhuǎn)的測(cè)量裝置33被提供用于檢測(cè)振蕩的振幅或相位位置。振蕩的振幅或相位位置可以借助光學(xué)傳感器或電容式傳感器、壓阻式傳感器或壓電式傳感器檢測(cè)到。
[0083]共振鏡的位置和相位位置可以通過(guò)監(jiān)視器激光束和位敏2D光電二極管(PSD)以時(shí)間分辨(time-resolved)方式而光學(xué)地檢測(cè)到。不同的光電流在PSD的四個(gè)pick-up電極處變小，取決于在鏡處偏轉(zhuǎn)的入射激光束的位置，并且通過(guò)電流-電壓轉(zhuǎn)換器和隨后形成差、形成和以及最后形成商(差除以和)轉(zhuǎn)換為時(shí)間分辨的XY位置信號(hào)。
[0084]關(guān)于壓阻式測(cè)量方法，在扭轉(zhuǎn)振蕩期間產(chǎn)生且依賴于偏轉(zhuǎn)角的扭轉(zhuǎn)彈簧中的機(jī)械應(yīng)力，使傳感器結(jié)構(gòu)中發(fā)生電阻變化。作為規(guī)則，這由惠斯登電橋(Wheastone bridge)求值并傳送與扭轉(zhuǎn)角成比例的輸出信號(hào)。
[0085]相對(duì)于例如基于鋁氮化層或鉛鋯鈦酸鹽層的壓電傳感器，扭轉(zhuǎn)彈簧的擰緊產(chǎn)生引起電荷轉(zhuǎn)移的晶格變化?？臻g電荷變化可以測(cè)量為與傾斜角度成比例的電壓。
[0086]利用電容估算方法，評(píng)價(jià)了靜態(tài)和移動(dòng)傳感器電極指(sensor electrodefingers)之間的且取決于傾斜角度時(shí)間上地改變的電容。根據(jù)文獻(xiàn)已知一系列不同的評(píng)價(jià)方法。所謂的載頻方法是經(jīng)常應(yīng)用的。為此，高頻率調(diào)制電壓被應(yīng)用于傳感器梳狀結(jié)構(gòu)。指狀電容器的移動(dòng)產(chǎn)生的電容電流，其信號(hào)形狀表示載波信號(hào)的振幅調(diào)制。利用振幅調(diào)制，信息通過(guò)鏡移動(dòng)來(lái)獲取并且可通過(guò)相乘(混合)和過(guò)濾來(lái)提取。
[0087]在圖2示出可用于圖1中的雙軸萬(wàn)向懸架微鏡5。示出了靜電式的遠(yuǎn)軸梳狀驅(qū)動(dòng)器 7 (axis-remote comb drives)和近軸梳狀驅(qū)動(dòng)器 8 (axis-close comb drives)，并且這些還可以用作傳感器電極。鏡板5通過(guò)扭轉(zhuǎn)彈簧6在可移動(dòng)的框架9中被懸掛起來(lái)，該可移動(dòng)框架9進(jìn)而通過(guò)固定芯片框架11中的扭轉(zhuǎn)彈簧片10?？蚣?可以靜電式梳狀驅(qū)動(dòng)器12被引入共振，其中用于可移動(dòng)框架9的驅(qū)動(dòng)目的和傳感器目的的近軸梳狀電極已被省略，以更好的概括。
[0088]圖3中示出了李薩如激光投影裝置的布置。此投影裝置包括根據(jù)圖1的偏轉(zhuǎn)裝置，其中此處真空封裝的雙軸鏡掃描儀用附圖標(biāo)記22表示。提供具有時(shí)