結合由互連件支撐的升高光圈層的顯示設備的制造方法
【專利說明】
[0001 ]相夫申請
[0002] 本專利申請要求于2013年3月15提交的題為"結合由互連件支撐的升高光圈層 白勺顯示設備(DisplayApparatusIncorporatin邑anInterconnect-Supportin邑Elevated ApertureLayer)"的美國專利申請第13/843, 135號的優(yōu)先權,其轉讓給本申請的受讓人并 且通過引用明確合并到本文中。
技術領域
[0003] 本發(fā)明設及機電系統(tǒng)(EM巧領域,并且特別設及用于顯示設備中的集成的升高光 圈層。
【背景技術】
[0004] 一些顯示器通過將具有光圈層的蓋板附接至支撐多個顯示元件的襯底來構成。光 圈層包含對應于相應顯示元件的光圈。在此些顯示器中,光圈與顯示元件的對齊影響圖像 質量。因此,當將蓋板附接至襯底時,需額外謹慎W確保光圈與相應的顯示元件緊密地對 齊。運增加了組裝此些顯示器的成本。此外,此些顯示器還包含用于保持蓋板與由襯底支 撐的附近顯示元件之間的適度安全距離的間隔件,W降低由外力(例如,人按壓在顯示器 上)導致?lián)p壞的風險。運些間隔件也制造昂貴,從而增加了制造成本。另外,蓋板與顯示元 件之間的大的距離不利地影響圖像質量。特別是,它降低了顯示器的對比度。為了減小距 離,蓋板和襯底可W禪合在一起而在兩者之間只有微小的間隙,然而,運可能增大顯示元件 與蓋板彼此接觸時的損壞的風險。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005] 本發(fā)明的系統(tǒng)、方法和裝置各具有若干創(chuàng)新方面,任何一個單獨的方面都不能得 到本文所公開的令人滿意的特性。
[0006] 在本發(fā)明中描述的主題的一個創(chuàng)新方面可W實施為一種設備,所述設備包含透明 襯底、光阻擋升高光圈層(EAL)、用于在襯底上方支撐EAL的多個錯固件、W及多個顯示元 件。EAL限定穿過其中形成的多個光圈。多個顯示元件設置在襯底與EAL之間。每個顯示 元件對應于由EAL限定的多個光圈中的至少一個相應光圈,并且每個顯示元件包含可移動 部,所述可移動部通過在襯底上方支撐EAL的相應錯固件被支撐在襯底上方。在一些實施 方案中,顯示元件包含基于微機電系統(tǒng)(MEM巧快口的顯示元件。
[0007] 在一些實施方案中,所述設備包含設置與襯底相對的EAL的一側上的第二襯底。 在一些此類實施方案中,EAL可W附著至第二襯底的表面上。在一些其它此類實施方案中, 所述設備包含一層反射材料,其沉積在EAL與第二襯底最近的一個表面上,并且第二襯底 面向EAL。
[0008] 在一些實施方案中,EAL包含多個肋中的至少一個肋和朝向襯底延伸的多個抗靜 摩擦突起。在一些其它實施方案中,所述設備包含設置在經(jīng)過由EAL限定的光圈的光學路 徑中的光分散元件。在一些此類實施方案中,光分散元件包含透鏡和散射元件中的至少一 個。在一些其它此類實施方案中,光分散元件包含圖案化的電介質。
[0009] 在一些實施方案中,所述設備包含對應于相應的顯示元件的多個電性隔離的導電 區(qū)域。在一些此類實施方案中,電性隔離的導電區(qū)域被電性禪合到相應顯示元件的部分。
[0010] 在一些實施方案中,所述設備還包含顯示器、處理器和存儲器裝置。處理器可W經(jīng) 配置W與顯示器通信并且處理圖像數(shù)據(jù)。存儲器裝置可W被經(jīng)配置W與處理器通信。在一 些實施方案中,所述設備還包含經(jīng)配置W將至少一個信號發(fā)送至顯示器的驅動電路。在一 些此類實施方案中,處理器還經(jīng)配置W將圖像數(shù)據(jù)的至少一部分發(fā)送至驅動電路。在一些 其它實施方案中,所述設備還可W包含經(jīng)配置W將圖像數(shù)據(jù)發(fā)送至處理器的圖像源模塊。 圖像源模塊可W包含接收器、收發(fā)器和發(fā)射器中的至少一個。在一些其它實施方案中,所述 設備包含經(jīng)配置W接收輸入數(shù)據(jù)并且將輸入數(shù)據(jù)傳送至處理器的輸入裝置。
[0011] 本發(fā)明中所描述的主題的另一個創(chuàng)新方面可實施為一種用于形成顯示設備的方 法。所述方法包含在形成于襯底上的顯示元件模具上制造多個顯示元件。顯示元件包含用 于在襯底上方支撐相應的顯示元件的部分的對應的錯固件。所述方法還包含將第一層犧牲 材料沉積于所制造的顯示元件的上方,并對第一層犧牲材料進行圖案化,W暴露顯示元件 錯固件。所述方法還包含將一層結構材料沉積于第一層犧牲材料上方,使得所沉積的結構 材料部分地沉積于所暴露的顯示器錯固件上,并對運層結構材料進行圖案化,W限定對應 于相應的顯示元件的穿過運層結構材料的多個光圈,從而形成升高光圈層(EAL)。此外,所 述方法包含去除顯示元件模具和第一層犧牲材料。
[0012] 在一些實施方案中,所述方法還包含將第二層犧牲材料沉積于第一層犧牲材料上 方,并對第二層犧牲材料進行圖案化,W形成用于多個EAL加強肋或多個抗靜摩擦突起的 模具,其中,所述多個EAL加強肋或所述多個抗靜摩擦突起從EAL朝向相應的顯示元件的懸 置部分延伸。在一些其它實施方案中,所述方法包含使EAL的區(qū)域與第二襯底的表面相接 觸,從而使得EAL的區(qū)域附著至第二襯底的表面。在一些其它實施方案中,所述方法包含將 一層電介質沉積于所述一層結構材料上方,并對所述一層電介質進行圖案化,W在穿過所 述一層結構材料而限定的光圈的上方限定光分散元件。
[0013] 在一些實施方案中,所述一層結構材料包含導電材料。在一些此類實施方案中,對 所述一層結構材料進行圖案化使得EAL的相鄰區(qū)域電性隔離。EAL的每個電性隔離區(qū)域可 W電性禪合到相應的顯示元件的懸置部分。
[0014] 本發(fā)明中所描述的主題的另一個創(chuàng)新方面可實施為一種設備,所述設備包含襯底 W及EAL所述EAL限定從其中穿過而形成的多個光圈。EAL還包含由結構材料封裝的聚合 物材料。所述設備還包含位于襯底與EAL之間的多個顯示元件。每個顯示元件對應于多個 光圈中的相應的光圈。
[0015] 在一些其它的實施方案中,所述設備包含沉積于EAL的表面上的光吸收層。在一 些其它的實施方案中,襯底包含一層光阻擋材料。在一些此類實施方案中,所述一層光阻擋 材料限定與EAL的相應光圈相對應的多個襯底光圈。
[0016] 在一些實施方案中,所述結構材料包含金屬、半導體和一堆疊材料中的至少一種。 在一些其它的實施方案中,EAL包含第一結構層、第一聚合物層和第二結構層,使得第一結 構層和第二結構層對第一聚合物層進行封裝。
[0017] 在一些實施方案中,EAL包含對應于相應的顯示元件的多個電性隔離的導電區(qū)域。 在一些此類實施方案中,電性隔離的導電區(qū)域電性禪合到相應的顯示元件的一部分。在一 些其它此類實施方案中,電性隔離的導電區(qū)域經(jīng)由錯固件電性禪合到相應的顯示元件的部 分,而運些錯固件將相應的顯示元件支撐于襯底上方。在一些此類實施方案中,在襯底上方 支撐相應的顯示元件的部分的錯固件也在顯示元件上方支撐EAL。
[0018] 本發(fā)明中所描述的主題的另一個創(chuàng)新方面可實施為一種形成顯示設備的方法。所 述方法包含在形成于襯底上的顯示元件模具上形成多個顯示元件、將第一層犧牲材料沉積 于顯示元件上方、對第一層犧牲材料進行圖案化W暴露多個錯固件、在第一層犧牲材料上 方形成升高光圈層(EAL)W及去除顯示元件模具和第一層犧牲材料。
[0019] 形成EAL可W包含在第一層犧牲材料上沉積第一層結構材料,使得所沉積的結構 材料被部分地沉積在暴露的錯固件上,使第一層結構材料圖案化W限定與相應顯示元件相 對應的多個較低的EAL光圈,在第一層結構材料上沉積一層聚合物材料,對所述一層聚合 物材料圖案化W限定與對應的較低的EAL光圈實質上對齊的多個中間EAL光圈,在所述一 層聚合物材料上方沉積第二層結構材料W封裝在第一層結構材料和第二層結構材料之間 的所述一層聚合物材料,W及對第二層結構材料圖案化W限定與對應的中間EAL光圈和較 低的EAL光圈實質上對齊的多個上部EAL光圈。
[0020] 在一些實施方案中,所暴露的錯固件在襯底上方支撐對應的顯示元件的部分。在 一些其它實施方案中,所暴露的錯固件與在襯底上方支撐顯示元件的部分的一組錯固件不 同。
[0021] 在一些實施方案中,所述方法進一步包含:在第二層結構材料上方沉積光吸收層 或光反射層中至少之一。
[0022] 在本發(fā)明中描述的主題的另一個創(chuàng)新方面可W實施為設備,所述設備包含透明襯 底、在所述襯底上形成的顯示元件、由在所述襯底上形成的錯固件在所述襯底上方支撐的 光阻擋EAL^及在所述EAL上沉積的電性互連件W用于將電信號載送到顯示元件。EAL具 有穿過所述EAL形成的光圈,所述光圈與顯示元件相對應。在一些實施方案中,EMS顯示元 件包含基于微機電系統(tǒng)(MEM巧快口的顯示元件。
[0023] 在一些實施方案中,所述設備進一步包含禪合到電性互連件的至少一個電性部 件。在一些運種實施方案中,電性互連件禪合到與顯示元件相對應的至少一個電性部件的 第一電性部件,并且禪合到與在襯底上形成的第二顯示元件相對應的至少一個電性部件的 第二電性部件。在一些運種實施方案中,電性部件包含禪合到電性互連件的電容器和晶體 管中的至少之一。在一些運種實施方案中,晶體管包含氧化銅嫁鋒(IGZO)溝道。
[0024] 在一些實施方案中,電性互連件電性禪合到錯固件,使得所述錯固件將電信號傳 輸?shù)斤@示元件。在一些其它實施方案中,電性互連件包含數(shù)據(jù)電壓互連件、掃描線互連件或 全局互連件之一。在一些實施方案中,所述設備包含電介質層,其使電性互連件與EAL分 開。在一些其它的實施方案中,所述設備包含在襯底上沉積的電性禪合到多個顯示元件的 第二電性互連件。
[0025] 在一些實施方案中,EAL包含與顯示元件相對應的電性隔離的導電區(qū)域。在一些運 種實施方案中,電性隔離的導電區(qū)域電性禪合到顯示元件的一部分。在一些實施方案中,電 性隔離的導電區(qū)域經(jīng)由在襯底上方支撐顯示元件的第二錯固件電性禪合到顯示元件的部 分。在一些其它實施方案中,在襯底上方支撐EAL的錯固件也在所述襯底上方支撐顯示元 件的一部分,并且電性隔離的導電區(qū)域經(jīng)由所述錯固件電性禪合到顯示元件的懸置部分。 [00%] 在一些實施方案中,所述設備還包含顯示器、處理器W及存儲器裝置。處理器可 W被經(jīng)配置W與顯示器通信并且處理圖像數(shù)據(jù)。存儲器裝置可W被經(jīng)配置W與處理器通 信。在一些實施方案中,所述設備還包含:驅動電路,其被經(jīng)配置W向顯示器發(fā)送至少一個 信號。在一些其它實施方案中,處理器還被經(jīng)配置W向驅動電路發(fā)送圖像數(shù)據(jù)的至少一部 分。在一些其它實施方案中,所述設備還可W包含:圖像源模塊,其被經(jīng)配置W向處理器發(fā) 送圖像數(shù)據(jù)。圖像源模塊可W包含接收器、收發(fā)器W及發(fā)射器中至少之一。在一些其它實 施方案中,所述設備包含:輸入設備,其被經(jīng)配置W接收輸入數(shù)據(jù)W及將輸入數(shù)據(jù)傳送給處 理器。
[0027] 本發(fā)明中所描述的主題的另一個創(chuàng)新方面可實施為一種制造顯示設備的方法。所 述方法包含提供透明襯底并在襯底上形成顯示元件。在襯底上方形成光阻擋層,其由形成 于襯底上的錯固件進行支撐。所述方法還包含穿過光阻擋層形成光圈,W形成EAL其中所 述光圈對應于顯示元件。在EAL的頂部上形成電性互連件W將電信號載送至顯示元件。
[0028] 在一些實施方案中,所述方法包含在形成電性互連件之前,將一層電絕緣材料沉 積于EAL上方。在一些此類實施方案中,EAL包含導電材料,并且所述方法還包含在形成電 性互連件之前,對所述一層電絕緣材料進行圖案化,W暴露EAL的部分。形成電性互連件可 包含將一層導電材料沉積于所述一層電絕緣材料上方,并對所述一層導電材料進行圖案化 W形成電性互連件,從而使得電性互連件的一部分與EAL的暴露部分相接觸。
[0029] 在一些其它的實施方案中,所述方法還包含將一層半導體材料沉積于所形成的電 性互連件上方,并對所述一層半導體材料進行圖案化W形成晶體管的一部分。在一些實施 方案中,所述一層半導體材料包含金屬氧化物。在一些其它的實施方案中,所述方法包含在 形成顯示元件之前,在襯底上形成電性互連件。
[0030] 本發(fā)明中所描述的主題的另一個創(chuàng)新方面可實施為一種設備,所述設備包含禪合 到襯底的顯示元件陣列W及懸置于所述顯示元件陣列上方并且禪合到襯底的EAL。對于每 個顯示元件,EAL包含穿過EAL限定的至少一個光圈,W允許光通過所述至少一個光圈;一 層光阻擋材料,其包含用于阻擋未穿過所述至少一個光圈的光的光阻擋區(qū)域;W及蝕刻孔, 其形成于光阻擋區(qū)域之外,并且經(jīng)配置W允許流體通過EAL。在一些實施方案中,顯示元件 包含基于微機電系統(tǒng)(MEM巧快口的顯示元件。
[0031] 在一些實施方案中,蝕刻孔位于相鄰顯示元件的相鄰光阻擋區(qū)域之間的大約相交 處。在一些實施方案中,蝕刻孔可延伸相鄰顯示元件的相鄰光阻擋區(qū)域之間的距離的大約 一半。
[0032] 在一些其它實施方案中,所述設備包含其上形成顯示元件陣列和EAL的犧牲模 具。犧牲模具可包含在小于約50(TC的溫度下升華的材料。在一些此類實施方案中,所述模 具包含降冰片締或其衍生物。
[0033] 在一些實施方案中,所述設備還包含顯示器、處理器和存儲器裝置。處理器可W經(jīng) 配置W與顯示器進行通信并且處理圖像數(shù)據(jù)。存儲器裝置可W經(jīng)配置W與處理器進行通 信。在一些實施方案中,所述設備還包含驅動器電路,其經(jīng)配置W發(fā)送至少一個信號至顯示 器。在一些此類實施方案中,處理器還經(jīng)配置W發(fā)送圖像數(shù)據(jù)的至少一部分到驅動器電路。 在一些其它的實施方案中,所述設備還可W包含圖像源模塊,其經(jīng)配置W發(fā)送圖像數(shù)據(jù)到 處理器。圖像源模塊可W包含接收器、收發(fā)器和發(fā)射器中的至少一個。在一些其它的實施 方案中,所述設備包含輸入裝置,其經(jīng)配置W接收輸入數(shù)據(jù)并將輸入數(shù)據(jù)傳送到處理器。
[0034] 本發(fā)明中所描述的主題的另一個創(chuàng)新方面可實施為一種設備,所述設備包含禪合 到襯底的顯示元件陣列W及懸置于所述顯示元件陣列上方的EAL。EAL禪合到襯底,并且對 于每個顯示元件,EAL包含至少一個光圈,用于允許光從其中通過。所述設備還包含在襯底 上方支撐EAL的多個錯固件W及至少部分地圍繞多個錯固件的一部分的聚合物材料。
[0035] 在一些實施方案中,聚合物材料延伸遠離位于穿過包含在EAL中的光圈的一組光 學路徑之外的錯固件。在一些其它的實施方案中,聚合物材料延伸遠離位于顯示元件的機 械部件的行進路徑之外的錯固件。
[0036] 本發(fā)明中所描述的主題的另一個創(chuàng)新方面可實施為一種設備,所述設備包含襯 底、限定用于顯示元件的錯固件、致動器和光調(diào)制器的模具的第一組犧牲材料層W及布置 于第一組犧牲材料層上方W限定用于EAL的模具的第二組犧牲材料層。第一組犧牲材料 層和第二組犧牲材料層的至少一個中的犧牲材料層包含在低于約50(TC的溫度下升華的材 料。在一些實施方案中,第一組犧牲材料層和第二組犧牲材料層的至少一個中的犧牲材料 層包含降冰片締或其衍生物。
[0037] 在一些實施方案中,所述設備還包含布置于第一組犧牲材料層與第二組犧牲材料 層之間的一層結構材料。
[0038] 在一些實施方案中,第二組犧牲材料層包含下層和上層。在一些此類實施方案中, 上層包含多個凹部,其限定用于自EAL朝向襯底延伸的肋的模具;多個臺面,其限定用于自 EAL遠離襯底延伸的肋的模具;或者多個凹部,其限定用于自EAL朝向襯底延伸的抗靜摩擦 突起的模具。
[0039] 本發(fā)明中所描述的主題的另一個創(chuàng)新方面可實施為一種制造方法。所述方法包含 在形成于襯底上的第一模具上形成機電系統(tǒng)(EM巧顯示元件。所述EMS顯示元件包含懸置 于襯底上方的一部分。所述方法還包含在形成于EMS顯示元件上方的第二模具上形成EAL 通過施加濕法蝕刻而部分地去除第一模具和第二模具的至少一個的至少第一部分、W及通 過施加干法等離子體蝕刻而部分地去除第一模具和第二模具的至少一個的至少第二部分。
[0040] 在一些實施方案中,一同施加濕法蝕刻和干法等離子體蝕刻實質上將第一模具和 第二模具全部去除。在一些其它的實施方案中,施加濕法蝕刻和干法等離子體蝕刻使得第 一模具和第二模具的至少一個的第=部分保持完整。在一些此類實施方案中,第=部分至 少部分地圍繞在襯底上方支撐EAL的錯固件。
[0041] 在一些實施方案中,所述方法還包含形成穿過EAL的蝕刻孔。穿過運些蝕刻孔將 濕法蝕刻和干法蝕刻施加于第一模具和第二模具的至少一個。
[0042] W下附圖和描述闡述了本說明書中所述的主題的一或多個實施方案的細節(jié)。盡管
【發(fā)明內(nèi)容】
中所提供的實例主要是就基于MEMS的顯示器而言,但是本文所提供的概念可應 用于其它類型的顯示器(例如液晶顯示器化CD)、有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器、電泳顯示 器和場發(fā)射顯示器)W及其它非顯示器的MEMS裝置(例如,MEMS麥克風、傳感器和光學開 關)。通過說明書、附圖及權利要求書,其它特征、方面及優(yōu)點將變得顯而易見。應指出的 是,下面附圖的相對尺寸可W不按比例繪制。
【附圖說明】
[0043] 圖IA示出示例性的直視式基于MEMS的顯示設備的示意圖。 W44] 圖IB示出示例性主機裝置的方框圖。
[0045] 圖2示出示例性的基于快口的光調(diào)制器的透視圖。
[0046] 圖3A和圖3B示出兩個示例性控制矩陣的部分。
[0047] 圖4示出結合柔性導電間隔件的示例性顯示設備的剖視圖。 W48] 圖5A示出結合集成的升高光圈層(EAL)的示例性顯示設備的剖視圖。 W例圖5B示出圖5A中示出的EAL的示例性部分的俯視圖。
[0050] 圖6A示出結合集成的EAL的示例性顯示設備的剖視圖。 陽化U圖她示出6A中示出的EAL的示例性部分的俯視圖。 陽化引 圖6C至6E示出其它示例性EAL的部分的俯視圖。
[0053] 圖7示出結合EAL的示例性顯示設備的剖視圖。 陽054] 圖8示出示例性的MEMS向下顯示設備的部分的剖視圖。 陽化5] 圖9示出用于制造顯示設備的示例性過程的流程圖。
[0056] 圖IOA至101示出根據(jù)圖9中所示的制造過程,構造示例性顯示設備的各階段的 剖視圖。
[0057] 圖IlA示出結合封裝EAL的示例性顯示設備的剖視圖。
[0058] 圖IlB至IlD示出圖IlA中所示的示例性顯示設備的構造的各階段的剖視圖。
[0059] 圖12A示出結合帶有肋的EAL的示例性顯示設備的剖視圖。 W60] 圖12B至1沈示出圖12A中所示的示例性顯示設備的構造的各階段的剖視圖。 [0061] 圖12F示出示例性顯示設備的剖視圖。 陽06引圖12G至12J示出適用于圖12A和1沈的帶有肋的EAL中的示例性肋圖案的平面 圖。
[0063] 圖13示出結合具有光分散結構的示例性EAL的顯示設備的一部分。 W64] 圖14A至14H示出結合光分散結構的EAL的示例性部分的俯視圖。 W65] 圖15示出結合包含透鏡結構的EAL的示例性顯示設備的剖視圖。 陽066] 圖16示出具有EAL的示例性顯示設備的剖視圖。
[0067] 圖17示出示例性顯示設備的一部分的透視圖。 W側 圖18A示出示例性顯示設備的剖視圖。 W例圖18B和18C示出其它示例性顯示設備的剖視圖。
[0070] 圖19示出示例性顯示設備的剖視圖。 陽071] 圖20A和20B示出系統(tǒng)方框圖,其圖示包含多個顯示元件的示例性顯示裝置。 陽072] 在各附圖中,相同的附圖標記和命名表示相同的元件。
【具體實施方式】
[0073] W下描述針對用于描述本發(fā)明的創(chuàng)新方面的一些實施方案。然而,本領域普通技 術人員將容易地認識到,可W通過多種不同的方式應用本文的教導。所描述的實施方案可W在能夠經(jīng)配置W顯示圖像(無論是動態(tài)(如視頻)還是靜態(tài)(如靜止圖像),且無論是 文字、圖形還是圖片)的任何裝置、設備或系統(tǒng)中實施。更具體地說,可W設想的是,所描 述的實施方案可W包含在各種電子裝置中或者與其相關聯(lián),運些電子裝置例如但不限于, 移動電話、具有多媒體互連件網(wǎng)功能的蜂窩式電話、移動電視接收機、無線裝置、智能手機、 Biuclooih某裝置、個人數(shù)據(jù)助理(PDA)、無線電子郵件接收器、手提式或便攜式計算機、上 網(wǎng)本、筆記本、智能書、平板電腦、打印機、復印機、掃描儀、傳真器、全球定位系統(tǒng)師巧接 收器/導航器、攝像機、數(shù)字媒體播放器(例如MP3播放器)、攝錄機、游戲機、腕表、鐘、計 算器、電視顯示器、平板顯示器、電子閱讀裝置(例如電子閱讀器)、計算機顯示器、汽車顯 示器(包含里程表和車速表顯示器等)、駕駛室控制和/或顯示器、攝像機視圖顯示器(例 如車輛中后視攝像頭的顯示器)、電子照片、電子布告板或招牌、投影儀、建筑結構、微波爐、 冰箱、立體聲系統(tǒng)、盒式磁帶錄音機或播放器、DVD播放器、CD播放器、VCR、收音機、便攜式 存儲忍片、洗衣機、干衣機、洗衣機/干衣機、停車計時器、封裝(例如在包含微型機電系統(tǒng) (MEM巧應用的機電系統(tǒng)(EM巧應用中,W及在非EMS應用中)、美觀性結構(例如一件珠 寶或衣服上的圖像的顯示)W及各種EMS裝置。本文的教導也可W用于非顯示器應用中, 例如但不限于,電子切換裝置、射頻濾波器、傳感器、加速度計、巧螺儀、運動傳感裝置、磁強 計、用于消費型電子產(chǎn)品的慣性部件、消費型電子產(chǎn)品的部件、變?nèi)荻O管、液晶裝置、電泳 裝置、驅動方案、制造過程W及電子測試裝備。因此,本教導并不旨在被限制于僅在附圖中 所示出的