光接收模塊及光發(fā)送模塊的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光接收模塊及光發(fā)送模塊。
【背景技術(shù)】
[0002]一般地，用于光通信等的光接收模塊及光發(fā)送模塊除了受光部和發(fā)光部以外，還具備:用于將來自光纖的光傳導(dǎo)到受光部的、或者用于將來自發(fā)送部的光傳導(dǎo)至光纖的各種透鏡。在專利文獻(xiàn)I中公開了這樣的光接收模塊及光發(fā)送模塊中、作為光接收模塊的半導(dǎo)體受光裝置的結(jié)構(gòu)。
[0003]另外，在光接收模塊及光發(fā)送模塊中，存在稱為光反射衰減量(0RL:0pticalReturn Loss:光回波損耗量)的、由反射返回光造成的損耗，關(guān)于抑制該損耗，日本特開平10-268164號公報公開了對聚光透鏡將受光部面相對于光線傾斜配置，日本實公昭62-006707號公報以及日本特開2013-200550號公報公開了對于聚光透鏡將受光部的軸偏移的配置。
[0004]在具備多個通道的光接收模塊及光發(fā)送模塊中，分別具有光的分波回路及合波回路，將來自I根光纖的光分波，或者將多個波長區(qū)域的光合波使其射入到I根光纖中。因此，在分波回路和受光部之間、或者合波回路和發(fā)光部之間具備透鏡陣列，其具有與通道的數(shù)量對應(yīng)的聚光透鏡。這樣的透鏡陣列多是作為一體而形成、或者將逐個形成的透鏡一體化來使用。另一方面，對于這樣的透鏡陣列的聚光透鏡，分別容易發(fā)生軸偏差及角度偏差，因此難以將它們配置為高的光利用效率的狀態(tài)。另外，在各個通道中還有想要抑制上述光反射衰減量的需求。
[0005]在這種軸偏差及角度偏差的調(diào)整不充分的情況下，存在無法以期望的強(qiáng)度傳輸光，信號的傳遞中出現(xiàn)問題的風(fēng)險，尤其是在光接收模塊中，還有發(fā)生與被分波的通道不同的通道的受光部受光的光串?dāng)_的風(fēng)險。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明是鑒于上述情況而提出的，目的為在具有多個通道的光接收模塊或者光發(fā)送模塊中，提供一種傳輸效率更高的光接收模塊或者光發(fā)送模塊。
[0007]本發(fā)明的光接收模塊，具備:多個聚光透鏡以光軸相互平行而形成一個平面的方式在一個方向上排列而得的透鏡陣列、以及具有接受從所述聚光透鏡出射的光的多個受光元件的受光元件陣列，所述受光元件陣列具有:半導(dǎo)體基板，其被來自所述聚光透鏡的光入射并穿透；以及受光部，其接受穿透所述半導(dǎo)體基板的光并轉(zhuǎn)換為電信號，所述多個聚光透鏡的光軸與分別對應(yīng)的所述受光部的中心的偏差是:在所述一個平面內(nèi)與所述一個方向垂直的方向上的偏差比在所述一個方向上的偏差大。
[0008]另外，在本發(fā)明的光接收模塊中，由所述聚光透鏡會聚的光的焦點也可以在與所述受光部相比更靠近所述聚光透鏡側(cè)的位置。另外，在這種情況下，通過所述透鏡面會聚的光的焦點也可以在所述半導(dǎo)體基板內(nèi)，并且在這種情況下，在所述半導(dǎo)體基板的所述入射側(cè)，也可以形成將來自所述聚光透鏡的光進(jìn)一步朝著所述受光部會聚的透鏡面。
[0009]另外，本發(fā)明的光接收模塊也可以進(jìn)一步具備光分波回路，其將入射的光分波為波長相互不同的多個光，并向所述多個聚光透鏡出射。
[0010]另外，本發(fā)明的光接收模塊也可以進(jìn)一步具備:配置所述透鏡陣列及所述受光元件陣列的板、以及配置在所述板和所述透鏡陣列之間的支持基板，所述透鏡陣列在與所述一個方向垂直的方向上的偏差是離開所述板的方向的偏差。
[0011]另外，本發(fā)明的光接收模塊中，也可以所述一個方向上的偏差為O?10 μ m的范圍，與所述一個方向垂直的方向上的偏差為8?25 μ m的范圍。
[0012]本發(fā)明的光發(fā)送模塊，具備:多個聚光透鏡以光軸相互平行而形成一個平面的方式在一個方向上排列而得的透鏡陣列、以及由出射向所述聚光透鏡入射的光的多個發(fā)光元件構(gòu)成的發(fā)光元件陣列，所述多個聚光透鏡的光軸與分別對應(yīng)的所述發(fā)光元件的中心的偏差是:在所述一個平面內(nèi)與所述一個方向垂直的方向上的偏差比在所述一個方向上的偏差大。
[0013]根據(jù)本發(fā)明，在具有多個通道的光接收模塊或者光發(fā)送模塊中，能夠提供一種傳輸效率更高的光接收模塊或者光發(fā)送模塊。
【附圖說明】
[0014]圖1是概要性表示本發(fā)明的光接收模塊的一個結(jié)構(gòu)例的圖。
[0015]圖2是概要性表示圖1的光接收模塊的光分波回路、透鏡陣列以及受光元件陣列的部分的平面圖。
[0016]圖3是用于對受光元件陣列的受光元件進(jìn)行說明的圖。
[0017]圖4是用于說明受光部中接受的光的斑直徑R相對于圖1中所示的聚光透鏡與受光元件的距離L的關(guān)系的曲線圖。
[0018]圖5A是概要性表示與圖4的距離L的范圍A對應(yīng)的焦點F的位置的圖。
[0019]圖5B是概要性表示與圖4的距離L的范圍B對應(yīng)的焦點F的位置的圖。
[0020]圖5C是概要性表示與圖4的距離L的范圍C對應(yīng)的焦點F的位置的圖。
[0021]圖是概要性表示與圖4的距離L的范圍D對應(yīng)的焦點F的位置的圖。
[0022]圖5E是概要性表示與圖4的距離L的范圍E對應(yīng)的焦點F的位置的圖。
[0023]圖6A是與圖4的距離L的范圍A對應(yīng)，分別表示對應(yīng)于聚光透鏡的中心軸和受光部的中心軸的偏移的、受光效率及反射返回光的損耗的曲線圖。
[0024]圖6B是與圖4的距離L的范圍B對應(yīng)，分別表示對應(yīng)于聚光透鏡的中心軸和受光部的中心軸的偏移的、受光效率及反射返回光的損耗的曲線圖。
[0025]圖6C是與圖4的距離L的范圍C對應(yīng)，分別表示對應(yīng)于聚光透鏡的中心軸和受光部的中心軸的偏移的、受光效率及反射返回光的損耗的曲線圖。
[0026]圖6D是與圖4的距離L的范圍D對應(yīng)，分別表示對應(yīng)于聚光透鏡的中心軸和受光部的中心軸的偏移的、受光效率及反射返回光的損耗的曲線圖。
[0027]圖6E是與圖4的距離L的范圍E對應(yīng)，分別表示對應(yīng)于聚光透鏡的中心軸和受光部的中心軸的偏移的、受光效率及反射返回光的損耗的曲線圖。
[0028]圖7是表示上述實施方式的第I變形例的圖。
[0029]圖8是表示上述實施方式的第2變形例的圖。
[0030]圖9是表示上述實施方式的第3變形例的圖。
[0031]符號說明
[0032]40聚光透鏡、50受光元件、51受光部、53半導(dǎo)體基板、55受光元件透鏡、70單向透視玻璃、100光接收模塊、101框體、102電路基板、103支持基板、104接合線、105底座、106固定劑、108準(zhǔn)直透鏡、109光纖、140透鏡陣列、142平面、150受光元件陣列、170光分波回路、210反射鏡、300光發(fā)送模塊、301框體、302電路基板、303支持基板、306準(zhǔn)直透鏡、340透鏡陣列、342平面、350發(fā)光元件陣列、370光合波回路。
【具體實施方式】
[0033]以下參照附圖對本發(fā)明的受光模塊的實施方式進(jìn)行說明。圖1是概要性表示本發(fā)明的光接收模塊的一個結(jié)構(gòu)例的圖。該圖所示的光接收模塊100是例如用于光通信等的光接收模塊。光接收模塊100具備盒狀的框體101，在框體101的內(nèi)部配置有支持基板103。在支持基板103上安裝有:光分波回路170，其分波為4通道的光；透鏡陣列140，被分波的光分別入射；受光元件陣列150，其將接受的光轉(zhuǎn)換為電信號；以及電路基板102，其處理經(jīng)由接合線104從受光元件陣列150接收的電信號。另外，在框體101的內(nèi)部配置有準(zhǔn)直透鏡108。從光纖109入射到框體101的內(nèi)部的光通過準(zhǔn)直透鏡108被轉(zhuǎn)換為平行光，經(jīng)由光分波回路170、透鏡陣列140，由受光元件陣列150接受。
[0034]圖2是概要性表示圖1的光接收模塊100的光分波回路170、透鏡陣列140以及受光元件陣列150的部分的平面圖。通過準(zhǔn)直透鏡108被轉(zhuǎn)換為平行光的光入射到光分波回路170。入射的信號光例如在4個波長區(qū)域內(nèi)信號分別重疊，入射到光分波回路170的光被分波為這4個波長區(qū)域的光，分別出射到透鏡陣列140的4通道量的聚光透鏡40。這里，光分波回路170可以是該圖所示一樣的使用單向透視玻璃70的空間光學(xué)型光分波回路，也可以是PLC(Planar Light wave Circuit,平面光波導(dǎo)回路)型光分波回路及其他分波回路。
[0035]透鏡陣列140的4個聚光透鏡40使光軸互相平行，以形成一個平面142的方式排列在