本發(fā)明涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種帶機(jī)械限位結(jié)構(gòu)的掩模臺(tái)。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有技術(shù)中的光刻裝置，主要用于集成電路(ic)或平板顯示領(lǐng)域以及其它微型器件的制造。通過(guò)光刻裝置，具有不同掩模圖案的多層掩模在精確對(duì)準(zhǔn)下依次成像在涂覆有光刻膠的晶片上，例如半導(dǎo)體晶片或lcd板。目前光刻裝置主要分為兩類：一類是步進(jìn)光刻裝置，其工作原理為：掩模圖案一次曝光成像在晶片的其中一個(gè)曝光區(qū)域，隨后晶片相對(duì)于掩模移動(dòng)，將下一個(gè)曝光區(qū)域移動(dòng)到掩模圖案和投影物鏡下方，再一次將掩模圖案曝光在晶片的另一曝光區(qū)域，重復(fù)這一過(guò)程直到晶片上所有曝光區(qū)域都擁有掩模圖案的像；另一類是步進(jìn)掃描光刻裝置，其工作原理為：掩模圖案不是一次曝光成像，而是通過(guò)投影光場(chǎng)的掃描移動(dòng)成像，具體的，在掩模圖案成像過(guò)程中，掩模與晶片同時(shí)相對(duì)于投影系統(tǒng)和投影光束移動(dòng)，因此需設(shè)置相應(yīng)的裝置分別作為掩模版和硅片的載體，裝載有掩模版/硅片的載體產(chǎn)生精確的相互運(yùn)動(dòng)來(lái)滿足光刻需要，其中掩模版的載體稱之為承版臺(tái)，而硅片/基板的載體稱之為承片臺(tái)。

現(xiàn)有的步進(jìn)掃描光刻裝置中，掩模臺(tái)一般通過(guò)微動(dòng)臺(tái)和粗動(dòng)臺(tái)構(gòu)成，微動(dòng)臺(tái)完成掩模版的精密微調(diào)，粗動(dòng)臺(tái)完成掩模版的大行程掃描曝光運(yùn)動(dòng)。然而隨著平板顯示行業(yè)的飛速發(fā)展，基板的尺寸不斷增大，已經(jīng)由原來(lái)的g1(基板尺寸300*400)發(fā)展到現(xiàn)在的g10(基板尺寸2850*3150)，因此曝光視場(chǎng)大小的需求也隨之增大，特別是在ic領(lǐng)域中，單鏡頭已經(jīng)難以滿足曝光視場(chǎng)不斷增大的需求，針對(duì)上述問(wèn)題，業(yè)內(nèi)提出了一種拼接鏡頭的曝光裝置方案，然而對(duì)于 拼接鏡頭大視場(chǎng)曝光裝置，采用的掩模版尺寸也隨之增大，比如：針對(duì)基板尺寸在g4.5到g6之間的，一般采用520*610mm或520*800mm的掩模版，基板尺寸在g6以上的，采用850*1200mm或850*1400mm的掩模版，甚至更大。然而隨著掩模版尺寸的不斷增大，一方面大大提高了掩模版的制造成本，另一方面使承載掩模版的承版臺(tái)尺寸也不斷增大，且為了保證結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度及變形精度，承版臺(tái)一般都采用價(jià)格昂貴的陶瓷材料或微晶玻璃制成，且尺寸的加大使原本昂貴的承版臺(tái)更加昂貴。因此，針對(duì)高速、高加速度、大行程運(yùn)動(dòng)以及大掩模版的掩模臺(tái)，對(duì)掩模版及承版臺(tái)的保護(hù)至關(guān)重要。

現(xiàn)有掩模臺(tái)的粗微動(dòng)間的機(jī)械限位保護(hù)件一般是采用套筒—軸形式。如圖1所示，為一種承載大掩模版的掩模臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖，其中y向?yàn)閽呙璺较颍ù謩?dòng)模塊和微動(dòng)模塊，其中粗動(dòng)模塊1’呈兩側(cè)對(duì)稱分布，包括粗動(dòng)滑塊101’、粗動(dòng)導(dǎo)軌102’、粗動(dòng)電機(jī)103’等，由于驅(qū)動(dòng)質(zhì)量大、且需要高速和高加速運(yùn)動(dòng)，因此粗動(dòng)電機(jī)103’需采用出力非常大的帶鐵芯的直線電機(jī)。微動(dòng)模塊2’包括承版臺(tái)201’、掩模版202’、微動(dòng)電機(jī)203’。微動(dòng)電機(jī)203’呈兩側(cè)對(duì)稱分布，用于粗微動(dòng)間非接觸式連接，微動(dòng)電機(jī)203’的定子固定在承版臺(tái)201’上，微動(dòng)電機(jī)203’的動(dòng)子固定在粗動(dòng)滑塊101’上。粗微動(dòng)間的機(jī)械限位保護(hù)件采用套筒—軸的結(jié)構(gòu)，呈兩側(cè)對(duì)稱分布，包括套筒301’，固定在粗動(dòng)滑塊101’上，限位軸302’固定在承版臺(tái)201’上，還包括緩沖器4’，分別固定在粗微動(dòng)行程的兩端(即位于y軸的正反向兩側(cè))，用于粗動(dòng)和微動(dòng)過(guò)程中的緩沖保護(hù)。

如圖2所示，為圖1中套筒-軸結(jié)構(gòu)的a-a剖視圖，其中轉(zhuǎn)接件5’用于將限位軸302’固定到承版臺(tái)201’上，套筒301’與限位軸302’的單邊間隙s需滿足微動(dòng)模塊的行程要求。然而該種結(jié)構(gòu)存在以下缺點(diǎn)：當(dāng)粗動(dòng)電機(jī)103’出現(xiàn)高速失控暴走時(shí)，粗微動(dòng)間的不同步會(huì)引起粗微動(dòng)間的機(jī)械限位保護(hù)件發(fā)生強(qiáng)烈碰撞，這種碰撞完全由微動(dòng)模塊2’的承版臺(tái)201’直接承擔(dān)，緩沖性能差，與此同時(shí)，粗動(dòng)電機(jī)103’會(huì)帶著承版臺(tái)201’高速失控行駛，而對(duì)于極其昂貴的承版臺(tái)201’及大掩模版來(lái)說(shuō)，不僅容易導(dǎo)致安全隱患，增大光刻成本，大大降低了光刻效 率和光刻效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供了一種帶機(jī)械限位結(jié)構(gòu)的掩模臺(tái)，以克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的承版臺(tái)和掩模版的安全性低、穩(wěn)定性差、成本高等問(wèn)題。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種帶機(jī)械限位結(jié)構(gòu)的掩模臺(tái)，包括粗動(dòng)模塊、微動(dòng)模塊和限位保護(hù)件，所述粗動(dòng)模塊包括粗動(dòng)滑塊，所述微動(dòng)模塊包括承版臺(tái)，所述限位保護(hù)件的兩側(cè)分別連接所述粗動(dòng)滑塊和承版臺(tái)，其特征在于，所述限位保護(hù)件包括限位塊、限位銷、導(dǎo)向座和彈性元件，所述限位塊與所述限位銷相對(duì)的一側(cè)上設(shè)有凹槽，所述限位銷一端設(shè)有與所述凹槽相適配的凸起，所述限位銷的另一端與所述彈性元件連接，所述限位銷可在所述導(dǎo)向座內(nèi)彈性運(yùn)動(dòng)，使所述凸起可滑入所述凹槽或從所述凹槽內(nèi)滑出。

進(jìn)一步的，所述凹槽沿粗動(dòng)行程方向的內(nèi)壁呈斜面結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述限位塊與從所述凹槽內(nèi)滑出或滑入所述凹槽內(nèi)的限位銷接觸時(shí)的接觸面均為斜面，所述接觸面的傾斜方向與所述凹槽內(nèi)壁的傾斜方向相反。

進(jìn)一步的，所述限位塊遠(yuǎn)離所述限位銷的一端與所述粗動(dòng)滑塊連接，所述限位銷通過(guò)所述導(dǎo)向座與所述承版臺(tái)連接。

進(jìn)一步的，所述限位塊遠(yuǎn)離所述限位銷的一端與所述承版臺(tái)連接，所述限位銷通過(guò)所述導(dǎo)向座與所述粗動(dòng)滑塊連接。

進(jìn)一步的，所述彈性元件遠(yuǎn)離所述限位銷的一端與所述導(dǎo)向座連接，為所述限位銷提供預(yù)緊力。

進(jìn)一步的，所述彈性元件遠(yuǎn)離所述限位銷的一端與所述承版臺(tái)連接，為所述限位銷提供預(yù)緊力。

進(jìn)一步的，所述彈性元件遠(yuǎn)離所述限位銷的一端與所述粗動(dòng)滑塊連接，為所述限位銷提供預(yù)緊力。

進(jìn)一步的，彈性元件為限位彈簧。

進(jìn)一步的，所述導(dǎo)向座內(nèi)設(shè)有分別與所述限位銷和彈性元件相適配的第一空腔和第二空腔，所述彈性元件限位于所述第二空腔內(nèi)，所述限位銷穿過(guò)所述第一空腔后與所述彈性元件連接。

進(jìn)一步的，所述限位銷與所述彈性元件連接的一側(cè)的外徑大于所述第一空腔的內(nèi)徑。

進(jìn)一步的，所述導(dǎo)向座與所述限位銷之間設(shè)有直線軸承。

進(jìn)一步的，所述直線軸承套設(shè)于所述限位銷的外周，且限位于所述第一空腔內(nèi)，所述直線軸承遠(yuǎn)離所述彈性元件一側(cè)的外徑大于所述第一空腔的內(nèi)徑。

進(jìn)一步的，所述限位銷的凸起采用緩沖材料制成。

進(jìn)一步的，所述限位銷的凸起上設(shè)有滾動(dòng)軸承。

進(jìn)一步的，所述滾動(dòng)軸承采用緩沖材料制成。

進(jìn)一步的，所述緩沖材料為橡膠。

進(jìn)一步的，還包括設(shè)于粗動(dòng)行程和微動(dòng)行程兩端的緩沖器。

本發(fā)明提供的帶機(jī)械限位結(jié)構(gòu)的掩模臺(tái)，通過(guò)在粗動(dòng)滑塊和承版臺(tái)之間設(shè)置包括限位塊、限位銷和彈性元件的限位件，在限位塊上設(shè)置內(nèi)壁具有正斜面結(jié)構(gòu)的凹槽，在限位銷上設(shè)置與所述凹槽相適配的凸起，并在限位銷遠(yuǎn)離所述限位塊的一側(cè)連接彈性元件，用于提供頂緊力，當(dāng)碰撞力大于一定設(shè)計(jì)值時(shí)，粗動(dòng)模塊和微動(dòng)模塊可相互脫離，避免粗動(dòng)電機(jī)帶著承版臺(tái)高速失控行駛，當(dāng)承版臺(tái)脫離粗動(dòng)模塊后，慢慢減速最后撞擊在設(shè)于粗動(dòng)行程和微動(dòng)行程兩端的緩沖器上，從而有效保護(hù)承版臺(tái)及固定其上的掩模版。當(dāng)粗動(dòng)電機(jī)故障消除后，將承版臺(tái)重新推入凹槽處便可正常工作。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安全性好、穩(wěn)定性高、成本低廉，效果可靠。

附圖說(shuō)明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中承載大掩模版的掩模臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1中a-a處的剖視圖；

圖3是本發(fā)明實(shí)施例1帶機(jī)械限位結(jié)構(gòu)的掩模臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4-6是本發(fā)明實(shí)施例1限位銷脫離限位塊流程圖；

圖7是本發(fā)明實(shí)施例1限位銷碰撞限位塊時(shí)的受力分析圖；

圖8是本發(fā)明實(shí)施例1中將限位銷推入凹槽的受力分析圖；

圖9是本發(fā)明實(shí)施例2帶機(jī)械限位結(jié)構(gòu)的掩模臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖1-2中所示：1’、粗動(dòng)模塊；101’、粗動(dòng)滑塊；102’、粗動(dòng)導(dǎo)軌；103’、粗動(dòng)電機(jī)；2’、微動(dòng)模塊；201’、承版臺(tái)；202’、掩模版；203’、微動(dòng)電機(jī)；301’、套筒；302’、限位軸；4’、緩沖器；5’、轉(zhuǎn)接件；

圖3-9中所示：1、粗動(dòng)模塊；11、粗動(dòng)滑塊；2、微動(dòng)模塊；21、承版臺(tái)；3、限位保護(hù)件；31、限位塊；311、凹槽；32、限位銷；321、凸起；33、彈性元件；34、導(dǎo)向座；341、第一空腔；342、第二空腔；35、直線軸承；36、滾動(dòng)軸承；4、緩沖器。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作詳細(xì)描述。

如圖3-8所示，本發(fā)明一種帶機(jī)械限位結(jié)構(gòu)的掩模臺(tái)，包括粗動(dòng)模塊1、微動(dòng)模塊2和限位保護(hù)件3，所述粗動(dòng)模塊1包括粗動(dòng)滑塊11、粗動(dòng)導(dǎo)軌和粗動(dòng)電機(jī)(圖中均未標(biāo)出)，所述微動(dòng)模塊2包括掩模版和承版臺(tái)21，所述限位保護(hù)件3的兩側(cè)分別連接所述粗動(dòng)滑塊11和承版臺(tái)21，粗動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)粗動(dòng)滑塊11沿粗動(dòng)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)，對(duì)掩模版進(jìn)行粗動(dòng)調(diào)整，所述限位保護(hù)件3包括限位塊31、限位銷32、導(dǎo)向座34和彈性元件33，所述限位塊31與所述限位銷32相對(duì)的一側(cè)上設(shè)有凹槽311，所述限位銷32一端設(shè)有與所述凹槽311相適配的凸起321，所述限位銷32的另一端與所述彈性元件33連接，所述限位銷32可在所述導(dǎo)向座34內(nèi)彈性運(yùn)動(dòng)，使所述凸起321可滑入所述凹槽311或從所述凹槽311內(nèi)滑 出。本實(shí)施例中，彈性元件33位于導(dǎo)向座34內(nèi)遠(yuǎn)離所述限位塊31的一側(cè)。

優(yōu)選的，所述凹槽311沿粗動(dòng)行程方向的內(nèi)壁呈斜面結(jié)構(gòu)。優(yōu)選的，所述限位塊31與從所述凹槽311內(nèi)滑出或滑入所述凹槽311內(nèi)的限位銷32接觸時(shí)的接觸面均為斜面，所述接觸面的傾斜方向與所述凹槽311內(nèi)壁的傾斜方向相反。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中粗動(dòng)行程即粗動(dòng)模塊1中的粗動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)粗動(dòng)滑塊11沿粗動(dòng)導(dǎo)軌(即沿y向)運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生行程，當(dāng)粗動(dòng)電機(jī)出現(xiàn)故障時(shí)，限位銷32與限位塊31發(fā)生碰撞，并相對(duì)限位塊31沿斜面結(jié)構(gòu)向上或向下運(yùn)動(dòng)(根據(jù)粗動(dòng)電機(jī)的暴走方向確定)，從而脫離限位塊31，避免承版臺(tái)21跟著粗動(dòng)電機(jī)高速失控行駛，有效保護(hù)承版臺(tái)21及固定其上的掩模版，免于受到損傷，當(dāng)粗動(dòng)電機(jī)故障消除后，可將承版臺(tái)21重新推入凹槽處，便可正常工作，操作方便，安全性好，效果可靠。

優(yōu)選的，所述限位銷32的凸起321采用緩沖材料制成，用于在與限位塊31發(fā)生碰撞時(shí)起到緩沖的效果，所述緩沖材料為橡膠，也可以為其他材料，只要能達(dá)到相應(yīng)的作用即可。

請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D3，所述掩模臺(tái)還包括設(shè)于粗動(dòng)行程和微動(dòng)行程兩端的緩沖器4，即緩沖器4位于粗動(dòng)模塊1和微動(dòng)模塊2沿y向的兩側(cè)，圖中僅標(biāo)出位于微動(dòng)行程兩側(cè)的緩沖器4，粗動(dòng)行程兩端的緩沖器4省略，緩沖器4用于粗動(dòng)和微動(dòng)過(guò)程中的緩沖保護(hù)。

如圖3-6所示，所述限位塊31遠(yuǎn)離所述限位銷32的一端與所述粗動(dòng)滑塊11連接，也即所述限位銷32通過(guò)所述導(dǎo)向座34與所述承版臺(tái)21連接，本實(shí)施例中，所述彈性元件33遠(yuǎn)離所述限位塊31的一側(cè)與所述承版臺(tái)21連接，優(yōu)選的，該彈性元件33為限位彈簧，剛度較大，用于提供x方向的頂緊力，頂緊限位銷32，同時(shí)在碰撞后有較強(qiáng)的緩沖吸收能力。該種情況下，限位塊31與粗動(dòng)電機(jī)同步運(yùn)動(dòng)，當(dāng)粗動(dòng)電機(jī)發(fā)生故障而暴走時(shí)，限位銷32帶著承版臺(tái)21相對(duì)限位塊31沿粗動(dòng)電機(jī)的暴走的相反方向運(yùn)動(dòng)，并順著凹槽311內(nèi)的斜面滑出，從而脫離限位塊31，避免承版臺(tái)21與粗動(dòng)電機(jī)一起高速失控行駛。

優(yōu)選的，所述限位塊31遠(yuǎn)離所述限位銷32的一端與所述承版臺(tái)21連接，所述限位銷32通過(guò)所述導(dǎo)向座34與所述粗動(dòng)滑塊11連接，所述彈性元件33遠(yuǎn)離所述限位塊31的一側(cè)與所述粗動(dòng)滑塊11連接，優(yōu)選的，該彈性元件33為限位彈簧，剛度較大，用于提供x方向的頂緊力，頂緊限位銷32，同時(shí)在碰撞后有較強(qiáng)的緩沖吸收能力。該種情況下，限位銷32與粗動(dòng)電機(jī)同步運(yùn)動(dòng)，當(dāng)粗動(dòng)電機(jī)發(fā)生故障而暴走時(shí)，限位銷32相對(duì)限位塊31沿粗動(dòng)電機(jī)暴走方向的相同方向運(yùn)動(dòng)，并順著凹槽311內(nèi)的斜面滑出，從而脫離限位塊31，避免承版臺(tái)21與粗動(dòng)電機(jī)一起高速失控行駛。

請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D3，所述導(dǎo)向座34套設(shè)在所述限位銷32和所述彈性元件33的外周，優(yōu)選的，所述導(dǎo)向座34內(nèi)設(shè)有分別與所述限位銷32和彈性元件33相適配的第一空腔341和第二空腔342，所述彈性元件33限位于所述第二空腔內(nèi)342，所述限位銷32穿過(guò)所述第一空腔341后與所述彈性元件33連接。優(yōu)選的，所述限位銷32與所述彈性元件33連接的一側(cè)(即遠(yuǎn)離凸起321的一側(cè))的外徑大于所述第一空腔341的內(nèi)徑，以免限位銷32從第一空腔341中脫出，穩(wěn)定可靠。

優(yōu)選的，所述凹槽311外沿粗動(dòng)行程的正反兩側(cè)的限位塊31具有斜面結(jié)構(gòu)，當(dāng)限位銷32從凹槽311中脫離之后首先滑入該斜面結(jié)構(gòu)中，最終與限位塊31脫離。

針對(duì)限位塊31與粗動(dòng)滑塊11連接的情況，粗動(dòng)模塊1和微動(dòng)模塊2的脫離過(guò)程如圖4-6所示。如圖4所示，當(dāng)粗動(dòng)電機(jī)出現(xiàn)故障，高速失控并朝y正向暴走時(shí)，限位塊31中凹槽311的斜面結(jié)構(gòu)a先與限位銷32發(fā)生碰撞。其中斜面結(jié)構(gòu)a的傾斜角度為β。對(duì)該碰撞過(guò)程進(jìn)行受力分析，以限位銷32為分析對(duì)象(忽略摩擦力)，如圖7所示，f為碰撞時(shí)粗動(dòng)模塊1對(duì)微動(dòng)模塊2產(chǎn)生的碰撞力，fx、fy為碰撞力f分別在x、y方向上的分力，其中fx＝fcosβ，fy＝fsinβ。n為限位彈簧提供的對(duì)限位銷32的頂緊力。當(dāng)碰撞力f力達(dá)到一定設(shè)計(jì)值，即滿足fx＝fcosβ＞n時(shí)，能驅(qū)動(dòng)限位銷32沿x正向運(yùn)動(dòng)，壓縮限位彈簧。此 時(shí)，粗動(dòng)模塊1仍以高速沿y正向運(yùn)動(dòng)，致使限位銷32逐漸脫離限位塊31的凹槽311，滑入斜面結(jié)構(gòu)b，斜面結(jié)構(gòu)b的傾斜方向與斜面結(jié)構(gòu)a的傾斜方向在相對(duì)粗動(dòng)行程方向上相反，最終脫離高速行駛的粗動(dòng)模塊1，脫離后，限位彈簧又將限位銷32沿x向頂緊，如圖5-6所示。因此，針對(duì)一定的f設(shè)計(jì)值，只要使斜面結(jié)構(gòu)a的傾斜角度β與彈簧力n滿足一定關(guān)系，就能使承版臺(tái)21脫離粗動(dòng)模塊1，從而大大減小承版臺(tái)21損壞的風(fēng)險(xiǎn)。當(dāng)承版臺(tái)21脫離粗動(dòng)模塊1后，慢慢減速最后撞擊在微動(dòng)模塊2兩端的緩沖器4上，從而進(jìn)一步保護(hù)承版臺(tái)21。

當(dāng)粗動(dòng)電機(jī)故障消除后，需將承版臺(tái)21重新推入凹槽311內(nèi)，其中，斜面結(jié)構(gòu)b的傾斜角度為θ，在推入過(guò)程中，限位銷32先與限位塊3的斜面結(jié)構(gòu)b接觸，此時(shí)以限位銷32為分析對(duì)象進(jìn)行受力分析(忽略摩擦力)，如圖8所示中，m為推入過(guò)程中施加于限位銷32上的力，m的方向豎直向上，n為限位彈簧對(duì)限位銷32提供的頂緊力。z為粗動(dòng)模塊1對(duì)微動(dòng)模塊2產(chǎn)生的反作用力，zx、zy為反作用力z分別在x、y方向上的分力，其中zy＝zxtanθ。由受力分析可知，當(dāng)滿足zx＞n，且m＞zy，即m＞zxtanθ＞ntanθ時(shí)，即可將承版臺(tái)21推入限位塊31的凹槽311中。根據(jù)m＞ntanθ，在結(jié)構(gòu)允許條件下，盡可能減小限位塊31的斜面結(jié)構(gòu)b的角度θ，則通過(guò)較小的力即可將承版臺(tái)21推入凹槽311中，使限位保護(hù)件3正常工作。

實(shí)施例2

如圖9所示，與實(shí)施例1中不同的是，本實(shí)施例中，所述導(dǎo)向座34與所述限位銷32之間設(shè)有直線軸承35，從而減小限位銷32與導(dǎo)向座34之間的摩擦力，在粗動(dòng)電機(jī)發(fā)生故障時(shí)，使限位銷32與限位塊31更快的脫離，進(jìn)一步提高安全性能。優(yōu)選的，所述直線軸承35套設(shè)于所述限位銷32的外周，且限位于所述第一空腔341內(nèi)，所述直線軸承35遠(yuǎn)離所述彈性元件33一側(cè)的外徑大于所述第一空腔341的內(nèi)徑。

優(yōu)選的，所述限位銷32的凸起321上設(shè)有滾動(dòng)軸承36，用于減少凸起321 與凹槽311之間的摩擦力，所述滾動(dòng)軸承36采用緩沖材料制成，用于在與限位塊31發(fā)生碰撞時(shí)起到緩沖的效果，所述緩沖材料為橡膠，也可以為其他材料，只要能達(dá)到相應(yīng)的作用即可。

綜上所述，本發(fā)明提供的帶機(jī)械限位結(jié)構(gòu)的掩模臺(tái)，通過(guò)在粗動(dòng)滑塊11和承版臺(tái)21之間設(shè)置包括限位塊31、限位銷32和彈性元件33的限位件3，在限位塊31上設(shè)置內(nèi)壁具有斜面結(jié)構(gòu)的凹槽311，在限位銷32上設(shè)置與所述凹槽311相適配的凸起321，并在限位銷32遠(yuǎn)離所述限位塊31的一側(cè)連接彈性元件33，用于提供頂緊力，當(dāng)碰撞力大于一定設(shè)計(jì)值時(shí)，粗動(dòng)模塊1和微動(dòng)模塊2可相互脫離，避免粗動(dòng)電機(jī)帶著承版臺(tái)21高速失控行駛，當(dāng)承版臺(tái)21脫離粗動(dòng)模塊1后，慢慢減速最后撞擊在設(shè)于粗動(dòng)行程和微動(dòng)行程兩端的緩沖器4上，從而有效保護(hù)承版臺(tái)21及固定其上的掩模版。當(dāng)粗動(dòng)電機(jī)故障消除后，將承版臺(tái)21重新推入凹槽處便可正常工作。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安全性好、穩(wěn)定性高、成本低廉，效果可靠。

雖然說(shuō)明書(shū)中對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但這些實(shí)施方式只是作為提示，不應(yīng)限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種省略、置換和變更均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。