一種光罩托架推拉翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種光罩托架推拉翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括光罩托架、左側(cè)滑軌和右側(cè)滑軌，所述左側(cè)滑軌和右側(cè)滑軌經(jīng)鉸鏈鉸接在曝光機主機架上，在左側(cè)滑軌和右側(cè)滑軌上分別水平安裝有左滾輪組和右滾輪組，光罩托架從曝光機主機架內(nèi)抽出后左右邊框分別托在左滾輪組和右滾輪組上并可自由滑動，在左側(cè)滑軌的側(cè)壁上安裝有左分割定位柱，在右側(cè)滑軌的側(cè)壁上安裝有右分割定位柱，在光罩托架的左右邊框上分別相應(yīng)安裝有左柱套和右柱套。該機構(gòu)能夠?qū)⒐庹胀屑芾霾⑦M行翻轉(zhuǎn)，便于清理檢查，方便安放光罩。
【專利說明】 一種光罩托架推拉翻轉(zhuǎn)機構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及曝光機制作領(lǐng)域，具體而言涉及一種曝光機的光罩托架推拉翻轉(zhuǎn)機構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]曝光機是指通過開啟燈光發(fā)出紫外線，將膠片或其他透明體上的圖像信息轉(zhuǎn)移到涂有感光物質(zhì)的表面上的設(shè)備，現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)。曝光機內(nèi)部的光罩托架用于放置光罩，光罩對紫外光進行選擇透過，以使光罩下面的感光物質(zhì)底片印刷出各種圖形，然后再雕刻出相應(yīng)的電路。目前，曝光機的光罩托架均固定在曝光機內(nèi)部，不能方便取出，這使得放置光罩和清洗托架的工作變得繁重復(fù)雜。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的是提供一種光罩托架推拉翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，該機構(gòu)能夠?qū)⒐庹胀屑芾霾⑦M行翻轉(zhuǎn)，便于清理檢查，方便安放光罩。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采取以下技術(shù)方案:
[0005]一種光罩托架推拉翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括光罩托架、左側(cè)滑軌和右側(cè)滑軌，其特征在于，所述左側(cè)滑軌和右側(cè)滑軌經(jīng)鉸鏈鉸接在曝光機主機架上，在左側(cè)滑軌和右側(cè)滑軌上分別水平安裝有左滾輪組和右滾輪組，光罩托架從曝光機主機架內(nèi)抽出后左右邊框分別托在左滾輪組和右滾輪組上并可自由滑動，在左側(cè)滑軌的側(cè)壁上安裝有左分割定位柱，在右側(cè)滑軌的側(cè)壁上安裝有右分割定位柱，在光罩托架的左右邊框上分別相應(yīng)安裝有左柱套和右柱套。
[0006]在左側(cè)滑軌上安裝有左定位輪與光罩托架左側(cè)邊框相接觸，在右側(cè)滑軌上安裝有右定位輪與光罩托架右側(cè)邊框相接觸。
[0007]所述左滾輪組位于左分割定位柱外側(cè)，右滾輪組位于右分割定位柱外側(cè)。
[0008]所述光罩托架上安裝有拉手。
[0009]本實用新型的有益效果是，光罩托架可以在左右滑軌上滑出，兩側(cè)定位輪能夠防止光罩托架左右擺動，分割定位柱內(nèi)的銷柱插入兩側(cè)柱套后，光罩托架就可以繞銷軸轉(zhuǎn)動成與水平面垂直，從而正對工作人員便于清理和檢查，克服了以往在曝光機內(nèi)清洗光罩托架的弊端，將光罩托架拉出來清理后還方便精確安放光罩，操作方便。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型俯視圖；
[0011]圖2為斜向上方向觀察的立體圖；
[0012]圖3為斜向下方向觀察的立體圖。
【具體實施方式】[0013]下面結(jié)合附圖，對本實用新型做進一步說明:
[0014]如圖1、圖2和圖3所不,曝光機主機架17為曝光機主體結(jié)構(gòu)部分，以往光罩托架固定安裝在曝光機主機架17內(nèi)?，F(xiàn)在在曝光機主機架17上光罩托架I的一側(cè)留出開口，開口左側(cè)通過鉸鏈16鉸接安裝左側(cè)滑軌3，開口右側(cè)通過鉸鏈15鉸接安裝右側(cè)滑軌2，使用時左側(cè)滑軌3和右側(cè)滑軌2打開成與曝光機主機架17垂直的位置，不使用時將左側(cè)滑軌3和右側(cè)滑軌2進行折疊在曝光機主機架17上，以免占用外部空間給工作帶來不便。
[0015]在左側(cè)滑軌3的側(cè)壁上安裝有分割定位柱9，在分割定位柱9的外側(cè)安裝有兩個滾輪構(gòu)成的左滾輪組13，在分割定位柱9內(nèi)側(cè)安裝有定位輪4和定位輪5，在右側(cè)滑軌2的側(cè)壁上安裝有分割定位柱11，在分割定位柱11的外側(cè)安裝有兩個滾輪構(gòu)成的右滾輪組14，在分割定位柱11的內(nèi)側(cè)安裝有定位輪7和定位輪6。光罩托架I能夠從曝光機主機架17內(nèi)部抽出并托在左滾輪組13和右滾輪組14上。在光罩托架I的左右兩側(cè)分別安裝左柱套10和右柱套12，當(dāng)光罩托架I完全拉出后，左柱套10的套孔對準左分割定位柱9，右柱套12的套孔對準右分割定位柱11。光罩托架I在拉出過程中，定位輪4、5和定位輪6、7分別接觸光罩托架I的左右兩側(cè)邊框，防止光罩托架I左右擺動，以便定位。在光罩托架I的外側(cè)安裝有拉手8，以便于將光罩支架2拉出。
[0016]文中的定位分割柱9、11均為現(xiàn)陳產(chǎn)品，可以將銷軸收縮或身處。
[0017]本實施例只是對本實用新型構(gòu)思和實現(xiàn)的一個說明，并非對其進行限制，在本實用新型構(gòu)思下，未經(jīng)實質(zhì)變換的技術(shù)方案仍然在保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種光罩托架推拉翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括光罩托架、左側(cè)滑軌和右側(cè)滑軌，其特征在于，所述左側(cè)滑軌和右側(cè)滑軌經(jīng)鉸鏈鉸接在曝光機主機架上，在左側(cè)滑軌和右側(cè)滑軌上分別水平安裝有左滾輪組和右滾輪組，光罩托架從曝光機主機架內(nèi)抽出后左右邊框分別托在左滾輪組和右滾輪組上并可自由滑動，在左側(cè)滑軌的側(cè)壁上安裝有左分割定位柱，在右側(cè)滑軌的側(cè)壁上安裝有右分割定位柱，在光罩托架的左右邊框上分別相應(yīng)安裝有左柱套和右柱套。
2.如權(quán)利要求1所述的光罩托架推拉翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，在左側(cè)滑軌上安裝有左定位輪與光罩托架左側(cè)邊框相接觸，在右側(cè)滑軌上安裝有右定位輪與光罩托架右側(cè)邊框相接觸。
3.如權(quán)利要求1或2所述的光罩托架推拉翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，所述左滾輪組位于左分割定位柱外側(cè)，右滾輪組位于右分割定位柱外側(cè)。
4.如權(quán)利要求要求3所述的光罩托架推拉翻轉(zhuǎn)機構(gòu),其特征在于,所述光罩托架上安裝有拉手。
【文檔編號】G03F7/20GK203705820SQ201420034098
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2014年1月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月21日
【發(fā)明者】張惠光 申請人:保定來福光電科技有限公司