用于顯微鏡物鏡的環(huán)形照明裝置、以及顯微鏡物鏡的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于顯微鏡物鏡（01）的環(huán)形照明裝置（07）、以及設(shè)有這種環(huán)形照明裝置（07）的顯微鏡物鏡（01）。所述環(huán)形照明裝置（07）具有至少兩個(gè)LED單元（11），它們被收容在照明環(huán)（17）中，所述照明環(huán)可以被連接至顯微鏡物鏡（01）。根據(jù)本發(fā)明，所述環(huán)形照明裝置（07）具有用于冷卻空氣的至少一個(gè)下部進(jìn)口開口（08）和至少一個(gè)上部出口開口（09），以冷卻LED單元（11）。
【專利說(shuō)明】用于顯微鏡物鏡的環(huán)形照明裝置、以及顯微鏡物鏡

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及用于物鏡、特別用于顯微鏡物鏡的環(huán)形照明裝置，以及具有這種環(huán)形 照明裝置的顯微鏡物鏡。

【背景技術(shù)】
[0002] 從現(xiàn)有技術(shù)中，已知多種用于顯微鏡的照明裝置和照明技術(shù)。環(huán)形照明裝置主要 被用于暗場(chǎng)反射光照明。已知的系統(tǒng)被置于物鏡的成像光學(xué)器件外面。光通常由環(huán)形的鏡 或環(huán)形的透鏡而被偏移在樣品上。這種設(shè)計(jì)是昂貴的，并且會(huì)占據(jù)物鏡外面的較大空間，這 會(huì)例如基本上抑制物鏡的擺動(dòng)半徑。
[0003] 例如在US 4186993 A中描述了一種物鏡，其中環(huán)形的透明漫射器和環(huán)形的聚光透 鏡被環(huán)繞成像光學(xué)器件、沿光傳播方向設(shè)置。
[0004] 在US 4626079 A中示出了暗場(chǎng)照明系統(tǒng)的多種變形，其中環(huán)形透鏡和/或環(huán)形鏡 的組合被環(huán)繞物鏡透鏡而應(yīng)用。
[0005] DE 603030328 T2示出了一種用于顯微鏡的環(huán)形照明裝置，其中LED被用作光源。 具有不同的發(fā)光顏色(優(yōu)選紅色、綠色和藍(lán)色)的兩種或三種LED被使用，它們被置于圍繞光 軸的相同范圍中，并且基本上與光軸垂直地朝向。顏色分量被使用分色鏡組而混合，并且通 過(guò)反射器被偏移在物體平面上。
[0006] 在DE 20-2005-004635 U1中公開了一種用于反射光顯微鏡的照明環(huán)，它具有至少 可移動(dòng)地安裝的LED，所述LED具有與光軸相關(guān)的調(diào)節(jié)角度，該角度出于照明的聚焦而可以 調(diào)節(jié)。因?yàn)闊崦舾行?，LED在允許電流的最多一半之下運(yùn)行，并且必要的光強(qiáng)度是通過(guò)聚焦 或者使用更多的LED而實(shí)現(xiàn)的。LED的接觸和電力供應(yīng)是相對(duì)昂貴的。
[0007] CN 101414056 B公開了具有暗場(chǎng)照明裝置的物鏡。該物鏡的成像光學(xué)器件被置于 內(nèi)部筒體中，而LED照明裝置被置于外部筒體中。在LED和物體之間，設(shè)有環(huán)形光學(xué)元件， 它將LED光轉(zhuǎn)換為平行光。也可以通過(guò)相應(yīng)的適配器而將照明裝置結(jié)合至光場(chǎng)物鏡。
[0008] LED的亮度隨著功率消耗而升高。在不變的半導(dǎo)體溫度下，所述升高是幾乎成比例 的。但是，效率隨著溫度的升高而下降，因此在功率極限的光輸出產(chǎn)量被降低，這取決于冷 卻的類型。因此有效的冷卻對(duì)于照明的效率來(lái)說(shuō)是關(guān)鍵的。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] 相應(yīng)地，本發(fā)明的根本問(wèn)題是得到用于顯微鏡物鏡的反射光照明的環(huán)形照明裝 置、以及用于這種照明裝置的顯微鏡物鏡，它使得暗場(chǎng)照明具有高的光產(chǎn)量和效率，并且它 是易于設(shè)立的，并且需要極小的維護(hù)。
[0010] 上述問(wèn)題是通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求1的環(huán)形照明裝置、以及根據(jù)權(quán)利要求10的具有這 種照明裝置的顯微鏡物鏡而解決的。
[0011] 有利的實(shí)施例在從屬權(quán)利要求中被提出。
[0012] 創(chuàng)造性的環(huán)形照明裝置具有至少兩個(gè)發(fā)光二極管單元，所述單元被設(shè)于照明環(huán) 中。這些LED單元包含至少一個(gè)LED和一套聚集器光學(xué)器件（collector optics),它們優(yōu) 選地被均勻地分布在照明環(huán)的圓周上。所述LED單元被置于照明環(huán)中，使得矩形的攝像芯 片能夠有效地并且沒有特別有問(wèn)題的亮點(diǎn)地登記被反射自物體平面的成像光束。
[0013] 根據(jù)本發(fā)明，所述環(huán)形照明裝置具有下部進(jìn)口開口和上部出口開口，用于冷卻空 氣。通過(guò)這種設(shè)計(jì)，該照明裝置是自我冷卻的。該自我冷卻效果是由照明環(huán)中的煙囪效應(yīng) (chimney effect)產(chǎn)生的，并且隨著組成部分的加熱而被加強(qiáng)。組成部分的冷卻這樣地發(fā) 生，即上升的冷空氣經(jīng)過(guò)正在被加熱的所有組成部分，借此該空氣被加熱并且被跟隨有通 過(guò)進(jìn)口開口而被引入的冷空氣。有利地，用于該冷卻空氣的第二進(jìn)口開口和第二出口開口 也被設(shè)于照明環(huán)中。
[0014] 可以理解的是，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，LED可以在高功率消耗下運(yùn)行，得到良好的亮 度和有效的照明。
[0015] 有利地，照明裝置的部件由具有良好的熱傳導(dǎo)性的材料制成。
[0016] 創(chuàng)造性的顯微鏡物鏡包含成像光學(xué)器件，該器件被置于內(nèi)部框架管（frame tube) 中。在已知的方式中，物鏡功能器件(例如電氣控制單元、內(nèi)部聚焦裝置、碰撞保護(hù)裝置、 溫度控制裝置、以及機(jī)動(dòng)裝置等）被收容在外部物鏡外殼中，該物鏡外殼至少以分段的方 式包圍框架管。在物鏡的支承前透鏡的端面，所述照明裝置被電連接以及機(jī)械連接至該 物鏡外殼。在這種連接中，所述照明環(huán)具有用于每個(gè)LED單元的電子界面（electronic interface)，該界面優(yōu)選是接觸表面的形式。
[0017] 通過(guò)該電子界面，所述照明裝置可以被控制，并且優(yōu)選地還可以被調(diào)節(jié)。特別有利 的是，LED單元能夠通過(guò)軟件工具和校正標(biāo)準(zhǔn)而相對(duì)于彼此進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而確保物體區(qū)域會(huì) 被恒定地和均勻地照射，例如通過(guò)使用能夠被單獨(dú)快速地調(diào)節(jié)的LED。
[0018] 當(dāng)在物鏡和物體平面之間存在較大的工作距離時(shí)，會(huì)存在這樣的風(fēng)險(xiǎn)，即來(lái)自LED 的光被從物體直接反射進(jìn)物體，產(chǎn)生不期望的圖像干擾?？梢酝ㄟ^(guò)將照明光束路徑向外偏 移然后射在物體平面上來(lái)解決該問(wèn)題。為了該目的，根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，所述顯微鏡物鏡可 以具有修正附件（correction attachment),該修正附件將LED的光向外反射然后射在環(huán)形 的鏡上，使照明的入射角更淺。所述修正附件與物鏡中心對(duì)齊，并且有利地可以通過(guò)磁性裝 置而被連接至物鏡和照明裝置。
[0019] 優(yōu)選地，LED單元包含設(shè)于電路板上的LED、以及用于在物體平面中形成光源的圖 像的聚集器電子器件、以及進(jìn)一步的作為電子界面的接觸表面。在這種方式中，所謂的"臨 界照明"被確定尺寸，對(duì)此光學(xué)器件可以以相對(duì)簡(jiǎn)單的方式而被實(shí)現(xiàn)。
[0020] 在優(yōu)選的實(shí)施例中，LED單元被置于聚集器（collector)中，該聚集器可以以特別 容易的方式而被預(yù)先調(diào)節(jié)。為了提供有效的冷卻，有利的是每個(gè)聚集器都具有第三進(jìn)口開 口和第三出口開口，用于冷卻氣體。
[0021] 所述照明環(huán)收容聚集器，這些聚集器已經(jīng)被完全地預(yù)先調(diào)節(jié)好并且被完美地置于 由開口組成的相應(yīng)的圓環(huán)中，借此進(jìn)口開口和出口開口被設(shè)置使得冷卻空氣流從下方向上 穿過(guò)照明環(huán)。在這種連接中，聚集器和照明環(huán)的進(jìn)口開口和出口開口優(yōu)選是重疊的。
[0022] 在特別優(yōu)選的實(shí)施例中，八個(gè)聚集器被收容在照明環(huán)中，即環(huán)繞照明環(huán)的圓周而 被分布。
[0023] 所述聚集器包含收容聚集器光學(xué)器件的聚集器殼體、LED電路板、冷卻主體、以及 具有接觸表面(或多個(gè)表面)的接觸板(或接觸電路板)，從而提供電子界面，借此LED電路板 和接觸板由作為傳導(dǎo)體的線而被連接。
[0024] 在替代的實(shí)施例中，LED單元被直接收容在照明環(huán)中，而沒有使用單獨(dú)的聚集器。 在這里每個(gè)LED通過(guò)其電路板優(yōu)選地被旋入照明環(huán)中，并且也在照明環(huán)中被調(diào)節(jié)，以對(duì)準(zhǔn) 物體的中心。聚集器光學(xué)器件也被直接保持在照明環(huán)中。通過(guò)這種配置，不容易替換有缺 陷的LED ;相反，調(diào)節(jié)必須被連續(xù)地進(jìn)行。
[0025] 照明環(huán)和物鏡在光軸中被居中。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0026] 參照附圖，將更詳細(xì)地描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。
[0027] 圖1在縱向橫截面視圖中說(shuō)明了具有環(huán)形照明裝置的顯微鏡物鏡的優(yōu)選實(shí)施例。
[0028] 圖2是圖1的細(xì)節(jié)圖，示出了環(huán)形照明裝置。
[0029] 圖3是從物體平面的方向看的圖1所示的顯微鏡物鏡的圖。
[0030] 圖4示出了聚集器的各種視圖。
[0031] 圖5是沿圖4的A-A橫截面線的圖4所示的聚集器的縱向橫截面視圖。
[0032] 圖6是沿圖4的B-B橫截面線的圖4所示的聚集器的縱向橫截面視圖。
[0033] 圖7是修正附件的橫截面視圖。
[0034] 附圖標(biāo)記列表 01顯微鏡物鏡 02光軸 03物體平面 04光學(xué)組件 05控制單元 06物鏡管 07環(huán)形照明裝置 08下部進(jìn)口開口 09上部出口開口 10電子主界面 11 LED單元 12 LED組件 13聚集器透鏡 14聚集器 15傳導(dǎo)線 16聚集器殼體 17照明環(huán) 18第二進(jìn)口開口 19第二出口開口 20 - 21第三進(jìn)口開口 22第三出口開口 23適配器環(huán) 24螺紋 25 - 26軸向分段 27徑向分段 28冷卻空氣流 29物鏡外殼 30冷卻葉片 31接觸表面 32接觸彈簧 33照明光束的路徑 34冷卻主體 35聚集器軸線 36筒狀分段 37支撐環(huán) 38電路板 39 LED 40適配器環(huán) 41隔熱環(huán) 42接觸板 43螺栓 44修正附件 45平整組件 46永久磁鐵 47光束開口 48中心柱體 49框架元件 50具有光束開口的框架元件。

【具體實(shí)施方式】
[0035] 圖1沿光軸02在縱向橫截面視圖中說(shuō)明了創(chuàng)造性的顯微鏡物鏡01的優(yōu)選實(shí)施 例。圖2示出了來(lái)自圖1的細(xì)節(jié)A。圖3是從物體平面03的方向看的圖1所示的顯微鏡物 鏡01的圖。
[0036] 顯微鏡物鏡01包含設(shè)于內(nèi)部物鏡管06中的成像光學(xué)組件04。
[0037] 參照?qǐng)D1-3,將更詳細(xì)地描述創(chuàng)造性的顯微鏡物鏡01的示出的優(yōu)選實(shí)施例。
[0038] 環(huán)形照明裝置07被附著至顯微鏡物鏡01的側(cè)面，它被朝向物體平面03。
[0039] 環(huán)形照明裝置07具有下部進(jìn)口開口 08和上部出口開口 09,用于冷卻空氣。在給 出的實(shí)施例中，進(jìn)口開口 08和出口開口 09是環(huán)形的。冷卻空氣環(huán)繞在環(huán)形照明裝置的運(yùn) 行過(guò)程中被加熱的部件而流動(dòng)，產(chǎn)生煙?效應(yīng)。
[0040] 每個(gè)發(fā)光二極管單元11包含LED組件12和聚集器透鏡13,它們?cè)诒緦?shí)施例中被 共同地保持在聚集器14中。聚集器14具有聚集器殼體16并且與該殼體一起被設(shè)置在照 明環(huán)17中；當(dāng)有需要時(shí)(例如在老化或缺陷的情況下）它們能被容易地更換。聚集器14的 結(jié)構(gòu)將參照?qǐng)D4、5和6在下文中全面地進(jìn)行描述。
[0041] 為了在該實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)冷卻煙囪效應(yīng)，每個(gè)照明環(huán)17都具有第二進(jìn)口開口 18和 第二出口開口 19,而聚集器殼體16具有第三進(jìn)口開口 21和第三出口開口 22。
[0042] 適配器環(huán)23被附著至照明環(huán)17,優(yōu)選通過(guò)螺紋24。螺紋24被設(shè)于適配器環(huán)23 的軸向分段26上。軸向分段26覆蓋在照明環(huán)17的外直徑上的第二出口開口 19,直至在上 部出口開口 09的間隙。這防止了操作者與照明環(huán)17的較熱部分接觸。
[0043] 適配器環(huán)的徑向分段27作為用于將聚集器14固定在照明環(huán)17中的軸向固定裝 置。
[0044] 箭頭28表示從下部進(jìn)口開口 08至上部出口開口 09的冷卻空氣流。明顯地，空氣 環(huán)繞在橫截面視圖中示出的部件而流動(dòng)。本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以理解，完成冷卻的其他部 分氣流會(huì)出現(xiàn)。
[0045] 優(yōu)選地，照明環(huán)17通過(guò)螺紋連接而被連接至物鏡外殼29,該螺紋連接設(shè)于聚集器 14之間的周邊空間內(nèi)。物鏡外殼29優(yōu)選具有用于物鏡的功能的其他裝置，這些裝置包含用 于顯微鏡物鏡01和環(huán)形照明裝置07的控制單元10,或者至少是用于這種控制單元的連接 部件。物鏡外殼29有利地具有冷卻葉片30。此外，有利的是隔熱外殼41被安裝于或被包 含于物鏡外殼29內(nèi)，它防止了熱通過(guò)機(jī)械的接觸表面而被傳導(dǎo)至內(nèi)部光學(xué)組件04。此外， 物鏡外殼29可以被設(shè)于光軸02中額外的適配器環(huán)40上。在這種方式中，由于調(diào)節(jié)光學(xué)系 統(tǒng)而產(chǎn)生的高度變動(dòng)會(huì)得到補(bǔ)償，而照明可以被保持聚焦在物體平面03。
[0046] 每個(gè)聚集器14都通過(guò)接觸表面31被電連接至安裝在物鏡外殼29內(nèi)的接觸彈簧 32。通過(guò)這些接觸31、32,在物鏡的控制單元05和環(huán)形照明裝置07之間實(shí)現(xiàn)了電子界面。 接觸彈簧32被焊接進(jìn)有利地為環(huán)形的平整組件（FA) 45。平整組件45與物鏡的控制單元 05相連。整合在物鏡中的控制單元帶來(lái)了這樣的優(yōu)點(diǎn)，即對(duì)顯微鏡中的控制單元所需的電 子線更少。現(xiàn)在物鏡的控制單元05自身通過(guò)電子線被連接至顯微鏡物鏡01的電子主界面 10。顯微鏡物鏡01的電子主界面10然后形成轉(zhuǎn)換點(diǎn)，用于將信號(hào)從顯微鏡物鏡01傳送至 顯微鏡，然后進(jìn)入控制中心。
[0047] 聚集器14被傾斜地設(shè)于照明環(huán)17內(nèi)，使得LED組件12在物體平面03中產(chǎn)生照 明光束路徑33。顯微鏡物鏡01的自由工作距離和選定的圓環(huán)會(huì)形成角度α，在照明環(huán)17 中聚集器14的開口被設(shè)置該圓環(huán)上。通過(guò)設(shè)于聚集器14內(nèi)的冷卻主體34,實(shí)現(xiàn)了聚集器 軸線35的優(yōu)選的傾斜。在該方案中，所述傾斜被選擇使得接觸表面31平行于物體平面。這 提供了額外的優(yōu)點(diǎn)，即顯微鏡物鏡01占據(jù)的空間更小，并因此具有更小的外直徑。
[0048] 被用于在圖1至3中示出的顯微鏡物鏡01的優(yōu)選實(shí)施例的聚集器14在圖4至6 中被詳細(xì)地示出。
[0049] 在圖4中，示出了聚集器14的各種視圖。圖5示出了沿圖4的Α-Α線的橫截面， 而圖6示出了沿圖4的Β-Β線的橫截面。相似的附圖標(biāo)記被用于相同的元件，與上述說(shuō)明 相一致。
[0050] 聚集器殼體16具有用于收容聚集器透鏡13的柱狀分段36。聚集器透鏡13通過(guò) 支撐環(huán)37而被固定在聚集器殼體14內(nèi)。
[0051] LED組件12包含具有LED 39的電路板38(在這里是具有有機(jī)硅樹脂和透鏡的SMD 陶瓷殼體的形式),并且進(jìn)一步包含冷卻主體34和具有接觸表面31的接觸板42。接觸板42 和電路板38之間的電連接是通過(guò)被焊接的連接線15而完成的。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù) 所需的特點(diǎn)來(lái)選擇正確的LED，并且能夠根據(jù)需要選擇冷卻主體的尺寸。
[0052] LED組件12通過(guò)螺栓43被附著至聚集器殼體16的朝向聚集器透鏡13的端側(cè)，并 且同時(shí)在那里居中。通過(guò)該螺栓連接完成聚集器14在照明軸線33上的調(diào)節(jié)。有利的是通 過(guò)聚集器殼體16中的機(jī)械公差來(lái)實(shí)現(xiàn)LED 39和聚集器透鏡13之間的額外距離。替代地， 可以使用熱傳導(dǎo)間隔環(huán)。有利地，電路板38和螺栓連接的尺寸被選擇使得具有良好的熱傳 導(dǎo)性，使得LED 39的熱量可以被向外散布在冷卻主體34上，以及在電路板38和螺栓連接上 到達(dá)聚集器殼體16,然后到達(dá)照明環(huán)17。此外，有利的是在LED組件12和接觸板42之間 設(shè)置熱傳導(dǎo)膠粘劑。這提供了改進(jìn)的熱傳遞并且同時(shí)提供了不可逆固定，從而提供固定該 調(diào)節(jié)的額外方式。
[0053] 聚集器殼體16、照明環(huán)17、以及物鏡外殼29由具有良好的熱傳導(dǎo)性的材料(例如 鑄錯(cuò)（cast aluminum))制成。
[0054] 圖7示出了修正附件44,它在物鏡與物體平面之間的工作距離較大時(shí)，產(chǎn)生更淺 的照明角度。修正附件有利地被分布在照明環(huán)的圓周，并且通過(guò)永久磁鐵46被附著至照明 環(huán)。修正附件44中的永久磁鐵46與光束開口 47錯(cuò)開設(shè)置。在顯微鏡物鏡01的照明環(huán)中， 在對(duì)應(yīng)的位置上也設(shè)有磁鐵。這使得能夠?qū)⒐馐_口 47和聚集器14對(duì)齊。修正附件46 通過(guò)居中/中心柱體48而居中?？蚣茉?9和50在這里有利地作用來(lái)保護(hù)反射表面。
[0055] 這種偏轉(zhuǎn)附件的運(yùn)作對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)是已知的，例如從DE 10320529 A1。
【權(quán)利要求】
1. 一種用于顯微鏡物鏡（01)的環(huán)形照明裝置（07)，所述環(huán)形照明裝置包含被收容在 照明環(huán)（17)中的至少兩個(gè)發(fā)光二極管單元（11)，其特征在于，所述環(huán)形照明裝置（07)具有 用于冷卻空氣的至少一個(gè)下部進(jìn)口開口（08)和至少一個(gè)上部出口開口（09)，以冷卻LED單 元（12)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)形照明裝置（07)，其特征在于，所述照明環(huán)（17)具有第二 進(jìn)口開口（18)和第二出口開口（19)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的環(huán)形照明裝置（07)，其特征在于，每個(gè)所述LED單元（11)都 被置于被保持在照明環(huán)（17)內(nèi)的聚集器殼體（16)中，其中聚集器殼體（16)具有第三進(jìn)口 開口（21)和第三出口開口（22)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的環(huán)形照明裝置（07)，其特征在于，所述聚集器殼體（16)基 本上是圓柱形的，其中在圓柱形結(jié)構(gòu)的主體設(shè)有聚集器透鏡（13)，并且其中第三進(jìn)口開口 (21)被設(shè)于圓柱形結(jié)構(gòu)的外殼表面，而第三出口開口（22)被設(shè)于圓柱形結(jié)構(gòu)的蓋體。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的環(huán)形照明裝置（07)，其特征在于，所述LED單 元（11)具有冷卻主體（34)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的環(huán)形照明裝置（07)，其特征在于，所述裝置進(jìn) 一步具有蓋環(huán)（23)，用于將LED單元（11)保持在照明環(huán)（17)中，其中蓋環(huán)（23)至少以分段 的方式包圍照明環(huán)（17)，并且蓋環(huán)（23)具有軸向邊緣（26)和徑向邊緣（27)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的環(huán)形照明裝置（07)，其特征在于，所述軸向邊緣（26)在物鏡 的延展方向突出在照明環(huán)（17 )的第二出口開口（ 19 )上，但是在蓋環(huán)（23 )和照明環(huán)（17 )之 間、在上部出口開口（09)的區(qū)域存在徑向間隔，所述徑向間隔形成上部出口開口（09)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的環(huán)形照明裝置（07)，其特征在于，所述LED單元 (11)包含電子界面，所述環(huán)形照明裝置（07 )通過(guò)該電子界面被電連接至顯微鏡物鏡（01)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的環(huán)形照明裝置（07)，其特征在于，所述照明環(huán) (17)由熱傳導(dǎo)材料制成。
10. -種顯微鏡物鏡（01)，其特征在于，所述顯微鏡物鏡具有根據(jù)前述權(quán)利要求中任 一項(xiàng)所述的環(huán)形照明裝置（07)，其中所述裝置（07)被設(shè)于物鏡外殼（29)上并且被電連接 以及機(jī)械連接至所述物鏡外殼。
【文檔編號(hào)】G02B21/08GK104111523SQ201410159625
【公開日】2014年10月22日 申請(qǐng)日期:2014年4月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月19日
【發(fā)明者】因戈·法爾布施, 揚(yáng)·布齊海斯特, 喬治·赫布斯特, 馬克斯·豐克, 烏維·沃爾夫 申請(qǐng)人:卡爾蔡司顯微鏡有限責(zé)任公司