專利名稱：可移動(dòng)反射鏡的支撐結(jié)構(gòu)、減小可移動(dòng)反射鏡的傾斜的方法以及干涉儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及根據(jù)所附的獨(dú)立權(quán)利要求的前序部分的用于干涉儀的可移動(dòng)反射鏡的支撐結(jié)構(gòu)、用來(lái)減小干涉儀的可移動(dòng)反射鏡的傾斜的方法，以及干涉儀。
背景技術(shù)：
在干涉儀中，如在Michelson型干涉儀中，來(lái)自光源的光束由分光鏡分離成兩個(gè)光束。第一光束傳播到固定反射鏡，而第二光束傳播到可移動(dòng)反射鏡。在被反射之后，各光束在分光鏡處重新結(jié)合和干涉。光程差，即由第一和第二光束傳播的光程長(zhǎng)度的差，導(dǎo)致在各光束之間的相位差。通過(guò)在第二光束的方向上移動(dòng)可移動(dòng)反射鏡，在光束之間的相位差發(fā)生變化。相位差的這種變化調(diào)制干涉光束的強(qiáng)度，該強(qiáng)度由探測(cè)器探測(cè)。為了實(shí)現(xiàn)高精度，可移動(dòng)反射鏡的反射表面的平面必須被布置成與指向它的光束的方向相垂直。在可移動(dòng)反射鏡正在移動(dòng)的同時(shí)，也必須保持垂直布置。換句話說(shuō)，可移動(dòng)反射鏡應(yīng)該按反射鏡不傾斜的方式移動(dòng)。用于可移動(dòng)反射鏡的各種支撐結(jié)構(gòu)已經(jīng)有所描述。一種公知的結(jié)構(gòu)-其一個(gè)例子公開(kāi)在文件US 2002/0149777A1中，包括可移動(dòng)框架，反射鏡和音圈連結(jié)到該可移動(dòng)框架上?？梢苿?dòng)框架由兩個(gè)相等長(zhǎng)度的柔性部件連接到固定框架上。各柔性部件的上部端部連接到可移動(dòng)框架上，而各柔性部件的下部端部連接到固定框架上，使得在上部固定點(diǎn)之間的間隔等于在下部固定點(diǎn)之間的間隔。永久磁鐵布置成與音圈相連接。通過(guò)調(diào)節(jié)饋給到音圈的電流，在音圈與磁體之間的距離發(fā)生變化，從而可移動(dòng)框架發(fā)生移動(dòng)?？梢苿?dòng)框架從其靜止位置的移動(dòng)強(qiáng)迫各柔性部件從直線彎曲成S曲線。缺點(diǎn)是， 各柔性部件不會(huì)等同地彎曲，于是可移動(dòng)框架相對(duì)于水平平面的位置發(fā)生改變。這導(dǎo)致可移動(dòng)反射鏡的傾斜，這種傾斜會(huì)降低干涉儀的精度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的是，減少或甚至消除以上呈現(xiàn)的現(xiàn)有技術(shù)問(wèn)題。本發(fā)明的一個(gè)目的是，提供一種用于干涉儀的可移動(dòng)反射鏡的支撐結(jié)構(gòu)。更詳細(xì)地說(shuō)，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種支撐結(jié)構(gòu)，借助于該支撐結(jié)構(gòu)，反射鏡可按最小化的傾斜而被移動(dòng)。本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種干涉儀，借助于該干涉儀，可實(shí)現(xiàn)高精度和高穩(wěn)定性。本發(fā)明的又一個(gè)目的是提供一種用來(lái)減小干涉儀的可移動(dòng)反射鏡的傾斜的方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的支撐結(jié)構(gòu)、干涉儀及方法的特征在于，在所附的獨(dú)立權(quán)利要求的特征部分中呈現(xiàn)的特征。本發(fā)明的有利實(shí)施例在從屬權(quán)利要求中描述。根據(jù)本發(fā)明的用于干涉儀的可移動(dòng)反射鏡的一種典型支撐結(jié)構(gòu)包括固定框架； 可移動(dòng)框架，可移動(dòng)反射鏡布置成能夠連結(jié)到可移動(dòng)框架；以及至少兩個(gè)柔性部件，所述部件的第一端部緊固到固定框架上，并且所述部件的第二端部緊固到可移動(dòng)框架上，使得在每個(gè)柔性部件的固定點(diǎn)之間的距離基本上相同，并且在第一端部的固定點(diǎn)之間的距離基本上等于在第二端部的固定點(diǎn)之間的距離。根據(jù)本發(fā)明的典型支撐結(jié)構(gòu)包括支撐部件，這些支撐部件連結(jié)到至少兩個(gè)柔性部件的至少一側(cè)上。固定框架指的是一種相對(duì)于干涉儀的本體和對(duì)于連結(jié)到干涉儀本體上的光學(xué)元件中的至少一些意見(jiàn)保持靜止的結(jié)構(gòu)。固定框架可以例如通過(guò)螺釘而緊固到干涉儀本體上。固定框架可以具有不同的形式和構(gòu)造。例如，固定框架可以是矩形板，該矩形板具有 60-180mm的長(zhǎng)度、40_120mm的寬度及5_15mm的厚度。典型地，固定框架由諸如鋁、鐵、銅或鈦之類的金屬、或諸如不銹鋼、鋁合金、鋼或鐵鎳合金之類的金屬合金制造。在一些用途中， 固定框架是與干涉儀本體成一體的部分?？梢苿?dòng)框架指的是，一種相對(duì)于固定框架布置成可移動(dòng)的結(jié)構(gòu)?？梢苿?dòng)框架可以具有不同的形式和構(gòu)造。例如，可移動(dòng)框架可以是矩形板，該矩形板具有60-180mm的長(zhǎng)度、 40-120mm的寬度及5_15mm的厚度。典型地，可移動(dòng)框架由鋁、鐵、銅或鈦之類的金屬、或諸如不銹鋼、鋁合金、鋼或鐵鎳合金之類的金屬合金制造。優(yōu)選地，可移動(dòng)框架由與固定框架相同的材料制造，以便使由熱膨脹引起的扭曲最小?？梢苿?dòng)框架布置成借助于柔性部件與固定框架相連接。可移動(dòng)框架可以由于柔性部件的彎曲而相對(duì)于固定框架移動(dòng)。優(yōu)選地，支撐結(jié)構(gòu)僅包括兩個(gè)柔性部件。柔性部件的第二端部?jī)?yōu)選地連結(jié)到可移動(dòng)框架的端部上，并且如果固定框架具有與可移動(dòng)框架相同的長(zhǎng)度，則柔性部件的第一端部連結(jié)到固定框架的端部上。柔性部件可以例如通過(guò)粘結(jié)或由螺釘、或借助于緊固板而緊固到各框架的端部上。緊固板例如由螺釘緊固到框架的端部上，使得柔性部件的端部定位在框架的端部與緊固板之間。支撐結(jié)構(gòu)可以包括多于兩個(gè)柔性部件，例如三個(gè)、四個(gè)或五個(gè)柔性部件。柔性部件可以按相等距離連接到框架上。典型地，柔性部件是平的，具有小于1mm、優(yōu)選地小于0. 5mm的厚度。柔性部件的長(zhǎng)度可以是例如30-60mm或60-120mm，寬度是4-10mm或10-30mm。柔性部件可以具有各種形狀。例如，柔性部件可以是矩形、H形或U形。柔性部件可以由薄板狀材料，如鋁合金或鋼板，通過(guò)將它切成希望形狀而制造。柔性部件也可以由塑料制造。支撐部件指的是，一種用來(lái)支撐柔性部件、并因而減小柔性部件的撓曲的結(jié)構(gòu)。 支撐部件增大柔性部件的剛度。在沒(méi)有支撐部件的情況下，當(dāng)可移動(dòng)框架相對(duì)于固定框架移動(dòng)時(shí)，柔性部件沿其整個(gè)長(zhǎng)度彎曲。通過(guò)將支撐部件緊固到柔性部件的至少一側(cè)中，在由支撐部件覆蓋的區(qū)域中可以防止柔性部件的彎曲。支撐部件可以例如是矩形板。支撐部件的長(zhǎng)度可以選擇成，當(dāng)柔性部件連結(jié)到固定框架和可移動(dòng)框架上時(shí)，在框架與支撐部件的端部之間的間隙小于3mm，優(yōu)選地小于 2mm，并且更優(yōu)選地小于1mm。支撐部件典型地與柔性部件一樣寬，即使在某些用途中，支撐部件可以比柔性部件寬或窄。支撐部件的厚度可以是例如2-4mm或4-6mm。支撐部件可以例如由金屬或金屬合金制造、或由塑料制造。一個(gè)或多個(gè)支撐部件可以例如通過(guò)使用螺釘而緊固到柔性部件上。支撐部件可選擇地可以通過(guò)粘結(jié)而被連結(jié)。在支撐結(jié)構(gòu)的靜止位置中，在可移動(dòng)框架和固定框架之間的柔性部件基本上是直的，并且彼此平行。當(dāng)可移動(dòng)框架從其靜止位置移動(dòng)時(shí)，柔性部件彎曲。因?yàn)橹尾考B結(jié)到柔性部件上，所以柔性部件僅可以在未被支撐部件支撐的區(qū)域中彎曲。柔性部件設(shè)有支撐部件的優(yōu)點(diǎn)是，當(dāng)可移動(dòng)框架被移動(dòng)時(shí)，柔性部件等同地彎曲。 因此，在可移動(dòng)框架的移動(dòng)期間，可移動(dòng)框架相對(duì)于固定框架的對(duì)準(zhǔn)得以保持。這使得當(dāng)可移動(dòng)反射鏡連結(jié)到可移動(dòng)框架上時(shí)，可以在移動(dòng)可移動(dòng)框架的同時(shí)避免可移動(dòng)反射鏡的傾斜?？梢苿?dòng)反射鏡可以例如連結(jié)到可移動(dòng)框架的端部上?？梢苿?dòng)框架可以包括用于反射鏡的可調(diào)節(jié)基座。反射鏡例如通過(guò)粘結(jié)而連結(jié)到可調(diào)節(jié)基座上。優(yōu)選地，可調(diào)節(jié)基座包括用于反射鏡的精確對(duì)準(zhǔn)的三個(gè)調(diào)節(jié)螺釘。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，支撐結(jié)構(gòu)包括連結(jié)到至少兩個(gè)柔性部件的兩側(cè)上的支撐部件。通過(guò)將支撐部件設(shè)置到每個(gè)柔性部件的兩側(cè)上，可移動(dòng)框架的移動(dòng)更穩(wěn)定。當(dāng)各支撐部件位于柔性部件的兩側(cè)中時(shí)，將各支撐部件緊固到柔性部件上也較為容易。優(yōu)選地， 各支撐部件是相似的，并且對(duì)稱地、彼此相對(duì)地緊固到柔性部件上。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，柔性部件包括相鄰的帶條。每個(gè)柔性部件可以包括例如并排布置的兩個(gè)帶條，這兩個(gè)帶條在它們之間具有間隙。帶條可以具有2-50mm的寬度。 在各帶條之間的間隙可以例如在10-60mm的范圍中。柔性部件備選地可以包括多于兩個(gè)帶條，例如三個(gè)、四個(gè)或五個(gè)帶條。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，支撐部件的形狀是矩形的和平面形的。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，每個(gè)支撐部件相對(duì)于柔性部件的固定點(diǎn)大致居中。換句話說(shuō)，在第一固定點(diǎn)與支撐部件之間的距離等于在第二固定點(diǎn)與支撐部件之間的距離。 通過(guò)將支撐部件布置成大致居中，柔性部件具有兩個(gè)相等長(zhǎng)度的可彎曲部分。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，支撐部件的長(zhǎng)度是在柔性部件的固定點(diǎn)之間的距離的至少百分之60。支撐部件的長(zhǎng)度在從柔性部件的第一固定點(diǎn)到第二固定點(diǎn)延伸的方向上測(cè)量。優(yōu)選地，支撐部件的長(zhǎng)度是在各固定點(diǎn)之間的距離的至少百分之70，至少百分之80，或至少百分之90。支撐部件相對(duì)于在固定點(diǎn)之間的距離越長(zhǎng)，柔性部件的可彎曲部分用以實(shí)現(xiàn)所需移動(dòng)的彎曲就越大。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，柔性部件和支撐部件由相同材料制造，以便使得由熱膨脹引起的扭曲最小。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，支撐部件是與柔性部件成一體的部分。換句話說(shuō)， 柔性部件與支撐部件形成單件。該單件組件可以通過(guò)注射或加壓模制過(guò)程而制造、或由坯段機(jī)加工成所需形狀而制造。根據(jù)本發(fā)明的一種典型干涉儀包括光源，用來(lái)發(fā)射光；可移動(dòng)反射鏡，連結(jié)到可移動(dòng)框架上，可移動(dòng)框架由至少兩個(gè)柔性部件連接到固定框架上，所述部件的第一端部緊固到固定框架上，所述部件的第二端部緊固到可移動(dòng)框架上，使得在每個(gè)柔性部件的固定點(diǎn)之間的距離基本上相同，并且在第一端部的固定點(diǎn)之間的距離基本上等于在第二端部的固定點(diǎn)之間的距離；基準(zhǔn)反射鏡；及分光鏡，用來(lái)向著可移動(dòng)反射鏡和基準(zhǔn)反射鏡分離從光源接收的光，并且用來(lái)分離從可移動(dòng)反射鏡和從基準(zhǔn)反射鏡反射的光。根據(jù)本發(fā)明的典型干涉儀包括支撐部件，這些支撐部件連結(jié)到至少兩個(gè)柔性部件的至少一側(cè)上?？梢苿?dòng)反射鏡對(duì)于可移動(dòng)框架布置成使得反射鏡的反射表面的平面與導(dǎo)向反射鏡的光束的方向相垂直。當(dāng)可移動(dòng)框架為了改變?cè)诟缮鎯x的各臂之間的光程差而被移動(dòng)時(shí)，反射鏡的對(duì)準(zhǔn)得以保持。換句話說(shuō)，可以避免可移動(dòng)反射鏡的傾斜。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，干涉儀包括用來(lái)移動(dòng)可移動(dòng)框架的驅(qū)動(dòng)裝置。驅(qū)動(dòng)裝置可以包括例如用來(lái)移動(dòng)框架的精密電機(jī)，如音圈電機(jī)。根據(jù)本發(fā)明的用來(lái)減小干涉儀的可移動(dòng)反射鏡的傾斜的一種典型方法，包括在柔性部件的縱向方向上對(duì)于在柔性部件的固定點(diǎn)之間的距離的至少百分之60的長(zhǎng)度，在結(jié)構(gòu)上加固柔性部件，可移動(dòng)反射鏡連結(jié)到可移動(dòng)框架上，該可移動(dòng)框架由至少兩個(gè)柔性部件連接到固定框架上，所述部件的第一端部緊固到固定框架上，所述部件的第二端部緊固到可移動(dòng)框架上，使得在每個(gè)柔性部件的固定點(diǎn)之間的距離基本上相同，并且在第一端部的固定點(diǎn)之間的距離基本上等于在第二端部的固定點(diǎn)之間的距離。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，加固通過(guò)將支撐部件連結(jié)到至少兩個(gè)柔性部件的至少一側(cè)上而實(shí)現(xiàn)。在本文中呈現(xiàn)的本發(fā)明的示范實(shí)施例不應(yīng)被解釋成對(duì)于所附的權(quán)利要求書的適用性施加限制。動(dòng)詞“包括”在本文中用作開(kāi)放性限定，該開(kāi)放性限定不排除未敘述的特征的存在。在從屬權(quán)利要求書中敘述的特征可以自由地相互組合，除非以其它方式明確指出。


被認(rèn)為是本發(fā)明的特性的新穎特征在所附的權(quán)利要求書中具體地?cái)⑹?。然而，本發(fā)明本身，關(guān)于其構(gòu)造和其操作方法，與其另外的目的和其優(yōu)點(diǎn)一起，當(dāng)聯(lián)系附圖閱讀時(shí)， 將通過(guò)對(duì)具體實(shí)施例的如下描述而得到最好的理解。圖Ia-Ic示出根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的支撐結(jié)構(gòu)，圖示出柔性和支撐部件組合的變形，而圖3示出根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的干涉儀。
具體實(shí)施例方式圖Ia-Ic示出根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的支撐結(jié)構(gòu)。圖Ia示出的是側(cè)視圖，而圖 Ib示出的是支撐結(jié)構(gòu)的端視圖。在圖Ic中示出的是支撐結(jié)構(gòu)的部分分解立體圖。支撐結(jié)構(gòu)包括固定框架11和可移動(dòng)框架12，可移動(dòng)反射鏡能夠連結(jié)到可移動(dòng)框架12上。所示的支撐結(jié)構(gòu)處于可移動(dòng)框架12在固定框架11下面的位置中。這是支撐結(jié)構(gòu)的所謂懸掛位置。支撐結(jié)構(gòu)也可用在可移動(dòng)框架12在固定框架11上方的顛倒位置中。固定框架11和可移動(dòng)框架12是矩形板，這些矩形板借助于兩個(gè)柔性部件13彼此平行地布置。柔性部件13具有平的U形結(jié)構(gòu)。柔性部件13的端部借助于緊固板14而連結(jié)到固定框架11和可移動(dòng)框架12的端部上。緊固板14由螺釘15緊固到框架11、12的端部上，使得柔性部件13定位在框架11、 12的端部與緊固板14之間。柔性部件13由支撐部件16支撐，這些支撐部件16連結(jié)到柔性部件13的兩側(cè)上。 與柔性部件13類似，支撐部件16也是U形的。各支撐部件16通過(guò)螺釘15而相互緊固，使得柔性部件13位于它們之間。因?yàn)橹尾考?6，在由支撐部件16覆蓋的區(qū)域中，柔性部件 13的彎曲能夠得以防止。
在固定框架11的各固定點(diǎn)之間的距離基本上與在可移動(dòng)框架12的各固定點(diǎn)之間的距離相同。因此，在可移動(dòng)框架12的移動(dòng)期間，能夠保持可移動(dòng)框架12相對(duì)于固定框架 11的對(duì)準(zhǔn)。圖示出柔性和支撐部件的其它可能組合的例子。支撐部件16連結(jié)到柔性部件13的兩側(cè)上，但只有一側(cè)在圖中示出。圖加示出第一例，其中，柔性部件13和支撐部件16都具有矩形形狀。支撐部件 16由螺釘15緊固到柔性部件13上。圖2b示出第二例，其中，柔性部件13具有矩形孔徑(用虛線示出)。支撐部件 16具有圓形孔徑。圖2c示出第三例，其中，柔性部件13是H形的。支撐部件16在這個(gè)例子中也是 H形的。圖2d示出第四例，其中，柔性部件13包括相平行的兩個(gè)帶條17，這兩個(gè)帶條之間具有間隙。支撐部件16具有矩形形狀。圖2e示出第五例，其中，支撐部件16是與柔性部件13成一體的部分。該單件組件在中心中具有矩形孔徑。該單件組件的前視圖和側(cè)視圖都在圖加中示出。圖3示出根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的干涉儀。該干涉儀是Michelson型干涉儀， 該Michelson型干涉儀包括根據(jù)圖Ia-Ic的支撐結(jié)構(gòu)。干涉儀包括用來(lái)將光束發(fā)射到分光鏡31的光源21，該分光鏡31將光束分離成兩個(gè)光束。第一光束被導(dǎo)向固定基準(zhǔn)反射鏡41，從該處該第一光束被反射回分光鏡31。第二光束被導(dǎo)向可移動(dòng)反射鏡42，該可移動(dòng)反射鏡42連結(jié)到支撐結(jié)構(gòu)的可移動(dòng)框架12上?？梢苿?dòng)反射鏡42連結(jié)到可移動(dòng)框架12的第一端部上，使得反射鏡42的反射表面的平面與第二光束的方向相垂直。第二光束從可移動(dòng)反射鏡42反射回分光鏡31。被反射的各光束在分光鏡31處重新結(jié)合，該重新結(jié)合的光束然后由探測(cè)器51探測(cè)。干涉儀包括音圈電機(jī)61，該音圈電機(jī)61用來(lái)移動(dòng)支撐結(jié)構(gòu)的可移動(dòng)框架12。音圈電機(jī)61連結(jié)到可移動(dòng)框架12的第二端部上。通過(guò)調(diào)節(jié)饋給到音圈的電流，可移動(dòng)框架 12被移動(dòng)，因此連結(jié)到框架12上的可移動(dòng)反射鏡42被移動(dòng)。通過(guò)移動(dòng)可移動(dòng)反射鏡42，在第一和第二光束之間的相位差發(fā)生變化。相位差的這種變化調(diào)制干涉光束的強(qiáng)度，該干涉光束由探測(cè)器51探測(cè)。在圖中僅描述了本發(fā)明的有利示范實(shí)施例。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，本發(fā)明顯然不只限于以上呈現(xiàn)的例子，本發(fā)明可以在下文呈現(xiàn)的權(quán)利要求書的限制內(nèi)變化。本發(fā)明的一些可能實(shí)施例在從屬權(quán)利要求中描述，它們不應(yīng)認(rèn)為是對(duì)本發(fā)明的保護(hù)范圍的限制。
權(quán)利要求
1.一種用于干涉儀的可移動(dòng)反射鏡的支撐結(jié)構(gòu)，所述支撐結(jié)構(gòu)包括-固定框架(11)，-可移動(dòng)框架(12)，所述可移動(dòng)反射鏡0 布置成能夠連結(jié)到該可移動(dòng)框架上，以及-至少兩個(gè)柔性部件(13)，所述部件(1 的第一端部緊固到所述固定框架(11)上，所述部件(1 的第二端部緊固到所述可移動(dòng)框架(1 上，使得在每個(gè)柔性部件(1 的固定點(diǎn)之間的距離基本上相同，并且在所述第一端部的固定點(diǎn)之間的距離基本上等于在所述第二端部的固定點(diǎn)之間的距離；其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)包括支撐部件(16)，所述支撐部件(16)連結(jié)到至少兩個(gè)柔性部件(13)的至少一側(cè)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)包括緊固板(14)，所述緊固板(14)用來(lái)將所述柔性部件(1 緊固到所述固定框架(11)和所述可移動(dòng)框架(12) 的端部上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)包括的支撐部件 (16)連結(jié)到至少兩個(gè)柔性部件(13)的兩側(cè)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述柔性部件(13)包括相鄰的帶條(17)。
5.根據(jù)以上權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述支撐部件(16)的形狀是矩形的和平面形的。
6.根據(jù)以上權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，每個(gè)支撐部件(16)相對(duì)于所述柔性部件(13)的固定點(diǎn)大致居中。
7.根據(jù)以上權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述支撐部件(16)的長(zhǎng)度是在所述柔性部件(1 的固定點(diǎn)之間的距離的至少百分之60。
8.根據(jù)以上權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述柔性部件(13)和所述支撐部件(16)由相同材料制造。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述支撐部件(16)是與柔性部件 (13)成一體的部分。
10.一種干涉儀，包括-光源(21)，用來(lái)發(fā)射光，-可移動(dòng)反射鏡(42)，連結(jié)到可移動(dòng)框架(12)上，該可移動(dòng)框架(12)由至少兩個(gè)柔性部件(1 連接到固定框架(11)上，所述部件(1 的第一端部緊固到所述固定框架(11) 上，所述部件(1 的第二端部緊固到所述可移動(dòng)框架(1 上，使得在每個(gè)柔性部件(13) 的固定點(diǎn)之間的距離基本上相同，并且在所述第一端部的固定點(diǎn)之間的距離基本上等于在所述第二端部的固定點(diǎn)之間的距離，-基準(zhǔn)反射鏡G1)，以及-分光鏡(31)，用來(lái)向著所述可移動(dòng)反射鏡02)和所述基準(zhǔn)反射鏡Gl)分離從所述光源接收的光，并且用來(lái)分離從所述可移動(dòng)反射鏡G2)和從所述基準(zhǔn)反射鏡Gl)反射的光；其特征在于，所述干涉儀包括支撐部件(16)，所述支撐部件(16)連結(jié)到至少兩個(gè)柔性部件(13)的至少一側(cè)上。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的干涉儀，其特征在于，所述干涉儀包括用來(lái)移動(dòng)所述可移動(dòng)框架(12)的驅(qū)動(dòng)裝置(61)。
12.—種用來(lái)減小干涉儀的可移動(dòng)反射鏡的傾斜的方法，所述可移動(dòng)反射鏡0 連結(jié)到可移動(dòng)框架(1 上，該可移動(dòng)框架(1 由至少兩個(gè)柔性部件(1 連接到固定框架(11) 上，所述部件(1 的第一端部緊固到所述固定框架(11)上，所述部件(1 的第二端部緊固到所述可移動(dòng)框架(1 上，使得在每個(gè)柔性部件(1 的固定點(diǎn)之間的距離基本上相同， 并且在所述第一端部的固定點(diǎn)之間的距離基本上等于在所述第二端部的固定點(diǎn)之間的距離，其特征在于，所述方法包括在所述柔性部件(1 的縱向方向上對(duì)于在所述柔性部件 (13)的固定點(diǎn)之間的距離的至少百分之60的長(zhǎng)度，在結(jié)構(gòu)上加固所述柔性部件(13)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述加固通過(guò)將支撐部件(16)連結(jié)到至少兩個(gè)柔性部件(13)的至少一側(cè)上而實(shí)現(xiàn)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于干涉儀的可移動(dòng)反射鏡的支撐結(jié)構(gòu)，支撐結(jié)構(gòu)包括固定框架(11)；可移動(dòng)框架(12)，對(duì)于其可移動(dòng)反射鏡(42)布置成可連結(jié)的；及至少兩個(gè)柔性部件(13)，所述部件(13)的第一端部緊固到固定框架(11)上，并且所述部件(13)的第二端部緊固到可移動(dòng)框架(12)上，使得在每個(gè)柔性部件(13)的固定點(diǎn)之間的距離基本上相同，并且在第一端部的固定點(diǎn)之間的距離基本上等于在第二端部的固定點(diǎn)之間的距離。支撐結(jié)構(gòu)包括支撐部件(16)，所述支撐部件(16)連結(jié)到至少兩個(gè)柔性部件(13)的至少一側(cè)上。本發(fā)明也涉及一種干涉儀、和一種用來(lái)減小干涉儀的可移動(dòng)反射鏡的傾斜的方法。
文檔編號(hào)G02B26/06GK102169230SQ20111004604
公開(kāi)日2011年8月31日 申請(qǐng)日期2011年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月25日
發(fā)明者J·考皮寧 申請(qǐng)人:伽澤拉有限公司