專利名稱：勻膠機電機旋轉(zhuǎn)臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)臺，特別涉及一種用于對晶圓片的自動旋涂的均膠機中 的電機驅(qū)動旋轉(zhuǎn)臺。
技術(shù)背景 勻膠機是通過晶圓片的旋轉(zhuǎn)使其上感光膠在晶圓片上均勻分布。在勻膠機電機旋 轉(zhuǎn)臺高速旋轉(zhuǎn)過程中，部分感光膠擴散成飛絮狀物質(zhì)，這些飛絮狀物質(zhì)通過旋轉(zhuǎn)臺上的排 風(fēng)口很容易黏附在旋轉(zhuǎn)電機軸上并進入電機內(nèi)部，對電機內(nèi)部及旋轉(zhuǎn)軸造成破壞，使勻膠 機維護困難，使用壽命縮短。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型提供了一種勻膠機電機旋轉(zhuǎn)臺解決了現(xiàn)有勻膠機電機旋轉(zhuǎn)臺維護困 難，使用壽命縮短的問題。本實用新型是通過以下方案解決以上問題的勻膠機電機旋轉(zhuǎn)臺，包括中央設(shè)置有圓形孔的方形臺板、中央設(shè)置有通孔的旋涂 臺下板、中央底部設(shè)置有通孔的盛膠盤嵌套、中間底部設(shè)置有通孔的盛膠盤和旋轉(zhuǎn)電機輸 出軸，在所述的方形臺板與旋涂臺下板之間設(shè)置有盛膠盤嵌套，在盛膠盤嵌套中鑲嵌設(shè)置 有盛膠盤，方形臺板與旋涂臺下板是通過四個固定螺栓連接在一起，在盛膠盤下方的盛膠 盤嵌套和旋涂臺下板上設(shè)置有排風(fēng)孔，旋轉(zhuǎn)電機輸出軸從旋涂臺下板的中央通孔和盛膠盤 嵌套的中央通孔通過伸到盛膠盤中，在旋轉(zhuǎn)電機輸出軸的端部設(shè)置有真空螺釘，在真空螺 釘上吸附有晶圓片，在伸入旋涂臺下板的中央通孔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)電機輸出軸的端部套接有凸臺 保護套。方形臺板是通過螺栓固定在勻膠機的架體上的。本實用新型保證了電機旋轉(zhuǎn)軸表面的清潔，提高了電機的使用壽命，保證了電機 旋轉(zhuǎn)過程中動平衡性能。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖具體實施方式
勻膠機電機旋轉(zhuǎn)臺，包括中央設(shè)置有圓形孔的方形臺板1、中央設(shè)置有通孔的旋涂 臺下板3)中央底部設(shè)置有通孔的盛膠盤嵌套4、中間底部設(shè)置有通孔的盛膠盤5和旋轉(zhuǎn)電 機輸出軸7，在所述的方形臺板1與旋涂臺下板3之間設(shè)置有盛膠盤嵌套4，在盛膠盤嵌套 4中鑲嵌設(shè)置有盛膠盤5，方形臺板1與旋涂臺下板3是通過四個固定螺栓2連接在一起， 在盛膠盤5下方的盛膠盤嵌套4和旋涂臺下板3上設(shè)置有排風(fēng)孔6，旋轉(zhuǎn)電機輸出軸7從旋 涂臺下板3的中央通孔和盛膠盤嵌套4的中央通孔通過伸到盛膠盤5中，在旋轉(zhuǎn)電機輸出 軸7的端部設(shè)置有真空螺釘9，在真空螺釘9上吸附有晶圓片10，在伸入旋涂臺下板3的中央通孔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)電機輸出軸7的端部套接有凸臺保護套8。方形臺板1是通過螺栓固定在勻膠機的架體上的。在電機工作時高速旋轉(zhuǎn)，在相對獨立空間內(nèi)產(chǎn)生斡旋氣流，在此過程中，部分感光 膠擴散成飛絮狀物質(zhì)，其中一部分飛絮狀物質(zhì)在排風(fēng)機構(gòu)作用下進入排風(fēng)系統(tǒng)，但仍有一 部分隨斡旋氣流吸附在電機旋轉(zhuǎn)軸上，甚至進入電機內(nèi)部，對電機內(nèi)部及電機旋轉(zhuǎn)軸造成 腐蝕和破壞；同時也會降低電機高速旋轉(zhuǎn)時的旋轉(zhuǎn)部件動平衡性能，旋轉(zhuǎn)電機軸端設(shè)置的 凸臺保護套8使飛絮狀物質(zhì)不能夠黏附在電機軸上，保證了電機旋轉(zhuǎn)軸表面的清潔，提高 了電機的使用壽命，保證了電機旋轉(zhuǎn)過程中動平衡性能。提高了產(chǎn)品的涂敷質(zhì)量和良品率。
權(quán)利要求一種勻膠機電機旋轉(zhuǎn)臺，包括中央設(shè)置有圓形孔的方形臺板(1)、中央設(shè)置有通孔的旋涂臺下板(3)、中央底部設(shè)置有通孔的盛膠盤嵌套(4)、中間底部設(shè)置有通孔的盛膠盤(5)和旋轉(zhuǎn)電機輸出軸(7)，其特征在于，在所述的方形臺板(1)與旋涂臺下板(3)之間設(shè)置有盛膠盤嵌套(4)，在盛膠盤嵌套(4)中鑲嵌設(shè)置有盛膠盤(5)，方形臺板(1)與旋涂臺下板(3)是通過四個固定螺栓(2)連接在一起，在盛膠盤(5)下方的盛膠盤嵌套(4)和旋涂臺下板(3)上設(shè)置有排風(fēng)孔(6)，旋轉(zhuǎn)電機輸出軸(7)從旋涂臺下板(3)的中央通孔和盛膠盤嵌套(4)的中央通孔通過伸到盛膠盤(5)中，在旋轉(zhuǎn)電機輸出軸(7)的端部設(shè)置有真空螺釘(9)，在真空螺釘(9)上吸附有晶圓片(10)，在伸入旋涂臺下板(3)的中央通孔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)電機輸出軸(7)的端部套接有凸臺保護套(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的勻膠機電機旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，方形臺板(1)是通過螺栓固 定在勻膠機的架體上的。
專利摘要本實用新型公開了一種勻膠機電機旋轉(zhuǎn)臺，解決了現(xiàn)有勻膠機電機旋轉(zhuǎn)臺維護困難，使用壽命縮短的問題。包括方形臺板(1)、旋涂臺下板(3)、盛膠盤嵌套(4)、盛膠盤(5)和旋轉(zhuǎn)電機輸出軸(7)，方形臺板(1)與旋涂臺下板(3)之間設(shè)置有盛膠盤嵌套(4)，在盛膠盤嵌套(4)中鑲嵌設(shè)置有盛膠盤(5)，在盛膠盤(5)下方的盛膠盤嵌套(4)和旋涂臺下板(3)上設(shè)置有排風(fēng)孔(6)，旋轉(zhuǎn)電機輸出軸(7)從旋涂臺下板(3)的中央通孔和盛膠盤嵌套(4)的中央通孔通過伸到盛膠盤(5)中，在旋轉(zhuǎn)電機輸出軸(7)的端部套接有凸臺保護套(8)。提高了均膠機的電機的使用壽命，保證了電機旋轉(zhuǎn)過程中動平衡性能。
文檔編號G03F7/16GK201628841SQ20102013796
公開日2010年11月10日 申請日期2010年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月23日
發(fā)明者崔曉改, 張建軍, 張飛特, 杜民棟, 王偉民, 王衛(wèi)華, 趙付超 申請人:中國電子科技集團公司第二研究所