技術(shù)編號：2760434
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)臺，特別涉及一種用于對晶圓片的自動旋涂的均膠機(jī)中 的電機(jī)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)臺。技術(shù)背景 勻膠機(jī)是通過晶圓片的旋轉(zhuǎn)使其上感光膠在晶圓片上均勻分布。在勻膠機(jī)電機(jī)旋 轉(zhuǎn)臺高速旋轉(zhuǎn)過程中，部分感光膠擴(kuò)散成飛絮狀物質(zhì)，這些飛絮狀物質(zhì)通過旋轉(zhuǎn)臺上的排 風(fēng)口很容易黏附在旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸上并進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部，對電機(jī)內(nèi)部及旋轉(zhuǎn)軸造成破壞，使勻膠 機(jī)維護(hù)困難，使用壽命縮短。發(fā)明內(nèi)容本實用新型提供了一種勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺解決了現(xiàn)有勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺維護(hù)困 難，使用壽命縮短的問題。...
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