專利名稱：涂膠顯影單元工作臂的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及涂膠顯影單元工作臂的改進(jìn)技術(shù)，具體為一種用以在半導(dǎo)體 晶片上進(jìn)行涂膠、顯影的各工作臂的可分控作業(yè)及可交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
目前，眾所周知的涂膠、顯影單元主要由基座、離心機(jī)構(gòu)、涂膠杯、工作臂、 氣動(dòng)滑臺(tái)、氣動(dòng)馬達(dá)等構(gòu)成。涂膠(顯影)臂固定在氣動(dòng)滑臺(tái)上，并利用氣動(dòng)滑 臺(tái)實(shí)現(xiàn)工作臂的上下動(dòng)作。氣動(dòng)滑臺(tái)固定在氣動(dòng)馬達(dá)上，利用氣動(dòng)馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)完 成涂膠、顯影工藝過(guò)程。在涂膠單元中，當(dāng)涂膠過(guò)程結(jié)束而涂膠臂沒(méi)有退回原位
時(shí)，不允許去邊臂進(jìn)行作業(yè)；同樣在顯影單元中，顯影液的涂覆結(jié)東，而顯影臂 沒(méi)有退回原位時(shí)，不允許定影臂進(jìn)行作業(yè)。
目前，國(guó)內(nèi)相關(guān)產(chǎn)品要完成涂膠、顯影工藝過(guò)程，都需要以上復(fù)雜結(jié)構(gòu)來(lái)完 成，不僅成本較高，占用空間較大。而對(duì)于涂膠顯影設(shè)備來(lái)講，提高工作效率， 提高產(chǎn)能才是目前巿場(chǎng)需求的核心所在。

實(shí)用新型內(nèi)容
為了克服上述的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種涂膠顯影單元工作臂 的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)，解決涂膠、顯影單元中實(shí)現(xiàn)工作臂的上下動(dòng)作結(jié)構(gòu)復(fù)雜， 工作效率低等問(wèn)題。釆用本實(shí)用新型可以縮短工藝單元的作業(yè)時(shí)間，為提高整體 設(shè)備的產(chǎn)能打基礎(chǔ)。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是
一種涂膠顯影單元工作臂的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)，涂膠單元或顯影單元的基 座一側(cè)安裝支承板，兩個(gè)電缸I、電缸II上下平行安裝在支承板外側(cè)，涂膠單元 或顯影單元的兩個(gè)工作臂分別固定在基座支承板外側(cè)的上下兩個(gè)電缸I 、電缸II 上。
所述的涂膠顯影單元工作臂的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)，各工作臂的一端固定有 氣動(dòng)滑臺(tái)，各工作臂與電缸通過(guò)連接板連接，連接板的一端固定在氣動(dòng)滑臺(tái)上， 連接板的另 一端固定在電缸的滑塊上。所述的涂膠顯影單元工作臂的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)，基座的底部配有排液、 排氣裝置以及單元的離心機(jī)構(gòu)。
所述的涂膠顯影單元工作臂的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)，工作臂的上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 氣動(dòng)滑臺(tái)上設(shè)有限位傳感器。
所述的涂膠顯影單元工作臂的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)，工作臂的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)
電缸i、電缸n內(nèi)設(shè)置限位傳感器。
所述的涂膠顯影單元工作臂的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)，電缸i、電缸n為電動(dòng) 執(zhí)行器。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是
1、 本實(shí)用新型的工作臂固定在電缸上，同一單元的兩個(gè)工作臂可以分別或交 叉動(dòng)作，互不干涉，減少了單元工藝過(guò)程的使用時(shí)間，縮小了單元的占用空間， 使得涂膠、顯影單元結(jié)構(gòu)更加緊湊，并為設(shè)備整體產(chǎn)能的提高奠定了基礎(chǔ)。
2、 本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)使涂膠、顯影單元模塊的作業(yè)更加平穩(wěn)、快捷、靈活。在
同一單元上，可以通過(guò)電缸驅(qū)動(dòng)進(jìn)行兩個(gè)工作臂工藝過(guò)程的自動(dòng)轉(zhuǎn)換，即兩臂的 分控與交叉作業(yè)。
3、 本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)單元，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單，不僅節(jié)省空間、便于 裝配，而且降低了成本，使涂膠、顯影的工藝過(guò)程運(yùn)行更加穩(wěn)定；由此，單元的 工作效率也得以提高。
4、 本實(shí)用新型由電缸控制工作臂運(yùn)作的新型單元結(jié)構(gòu)，在涂膠(顯影)單元 中的兩個(gè)工作臂涂膠臂、去邊臂(或者顯影臂、定影臂)，分別布置在各自單元基 座支承板的上下兩個(gè)電缸的滑塊上。由于兩臂的安裝結(jié)構(gòu)不存在運(yùn)動(dòng)干涉，禾擁 電缸的作用可以進(jìn)行獨(dú)立、交叉的平行作業(yè)，既可利用兩個(gè)電缸進(jìn)行分控作業(yè)， 也可進(jìn)行平穩(wěn)交叉作業(yè)。也就是說(shuō)，在同一單元內(nèi)實(shí)施對(duì)兩個(gè)工作臂的分控及交 叉作業(yè)控制。這一獨(dú)特功能的實(shí)用性在顯影單元上體現(xiàn)的由為明顯，可以實(shí)現(xiàn)反 復(fù)的顯影、定影工藝過(guò)程。


圖1是本實(shí)用新型涂膠單元的三維結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2是本實(shí)用新型涂膠單元的主視圖。 圖3是本實(shí)用新型涂膠單元的俯視圖。
圖l-圖3中，l基座；2溶劑清洗池；3去邊臂；4晶片；5涂膠杯；6自動(dòng)
4轉(zhuǎn)換噴嘴機(jī)構(gòu)；7涂膠臂；8支承板；9電缸I; IO電缸II; ll連接板I; 12連 接板II; 13氣動(dòng)滑臺(tái)I; 14離心機(jī)構(gòu)；15氣動(dòng)滑臺(tái)H。
圖4是本實(shí)用新型顯影單元的三維結(jié)構(gòu)示意圖。
圖5是本實(shí)用新型顯影單元的主視圖。
圖6是本實(shí)用新型顯影單元的俯視圖。
圖4-圖6中，r基座；2'溶劑清洗池；3'定影臂;4'晶片；5'顯影杯; &顯影液清洗池；7'顯影臂；8'支承板；9'電缸I; 10'電缸II; 11'連接 板I; 12'連接板II; 13'氣動(dòng)滑臺(tái)I; l《離心機(jī)構(gòu)；15'氣動(dòng)滑臺(tái)II。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)描述。
如圖l-圖3所示，本實(shí)用新型涂膠單元工作臂的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)主要由 以下幾部分組成基座1一個(gè)、溶劑清洗池2—個(gè)、去邊臂3—個(gè)、涂膠杯5 — 個(gè)、自動(dòng)轉(zhuǎn)換噴嘴機(jī)構(gòu)6—個(gè)、涂膠臂7—個(gè)、支承板8—個(gè)、電缸I9和電缸
nio各一個(gè)、連接板i 1l和連接板ni2各一個(gè)、氣動(dòng)滑臺(tái)113和氣動(dòng)滑臺(tái)ni5
各個(gè)、離心機(jī)構(gòu)14 一個(gè)。具體結(jié)構(gòu)如下
涂膠杯5設(shè)置于基座1上，基座1一側(cè)安裝支承板8，兩個(gè)電缸I9、電缸II 10上下平行安裝在支承板8外側(cè)，涂膠單元的涂膠臂7、去邊臂3分別固定在基 座支承板8外側(cè)的上下兩個(gè)電缸I9、電缸II10上，涂膠臂7與去邊臂3的分控 與交叉作業(yè)是通過(guò)電缸I9、電缸II10的驅(qū)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。各工作臂的下端固定有 氣動(dòng)滑臺(tái)，工作臂的上下靠氣動(dòng)滑臺(tái)實(shí)現(xiàn)，各工作臂與電缸的連接是靠連接板實(shí) 現(xiàn)的，連接板的上端固定在氣動(dòng)滑臺(tái)上，下端固定在電缸的滑塊上。其中
涂膠臂7依次通過(guò)氣動(dòng)滑臺(tái)I 13及連接板I 11固定在電缸I 9上，涂膠臂7 下端固定有氣動(dòng)滑臺(tái)I B，連接板I 11的上端固定在氣動(dòng)滑臺(tái)I 13上，連接板I 11的下端固定在電缸I 9的滑塊上，涂膠臂7通過(guò)氣動(dòng)滑臺(tái)I 13的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行升降 動(dòng)作，通過(guò)電缸I 9的驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)連接板I 11及涂膠臂7進(jìn)行水平移動(dòng)。去邊臂3 依次通過(guò)氣動(dòng)滑臺(tái)II15及連接板II 12固定在電缸II10上，去邊臂3下端固定有
氣動(dòng)滑臺(tái)ni5，連接板ni2的上端固定在氣動(dòng)滑臺(tái)ni5上，連接板ni2的下端
固定在電缸II 10的滑塊上，去邊臂3通過(guò)氣動(dòng)滑臺(tái)II15的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行升降動(dòng)作，通 過(guò)電缸II10的驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)連接板II 12及去邊臂3進(jìn)行水平移動(dòng)。
在基座1上，涂膠杯5兩側(cè)分別設(shè)置溶劑清洗池2和自動(dòng)轉(zhuǎn)換噴嘴機(jī)構(gòu)6;工作時(shí)，溶劑清洗池2收集多余的清洗液，它與去邊臂3的運(yùn)動(dòng)方向相對(duì)應(yīng)，自
動(dòng)轉(zhuǎn)換噴嘴機(jī)構(gòu)6有四套噴嘴，排列和整體運(yùn)動(dòng)方向與涂膠臂7的運(yùn)動(dòng)方向相垂 直，這樣涂膠臂7可以自動(dòng)根據(jù)需要選擇4個(gè)噴嘴中的一個(gè)。
在單元的作業(yè)平面上,去邊臂3及涂膠臂7分別布置在涂膠杯5的左右兩側(cè)， 去邊臂3的原始位置在基座1的左側(cè)，涂膠臂的原始位置在基座1的右側(cè)。
在基座1的底部配有排液、排氣裝置及單元的離心機(jī)構(gòu)14,離心機(jī)構(gòu)14與 用于放置晶片4的吸盤連接，離心機(jī)構(gòu)14通過(guò)真空吸盤可以帶動(dòng)晶片4離心旋 轉(zhuǎn)。
在工作臂的上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)氣動(dòng)滑臺(tái)I 13和氣動(dòng)滑臺(tái)I115上可以設(shè)有限位傳 感器，用于限定去邊臂3及涂膠臂7的升降位置。
在工作臂的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)電缸I 9和電缸II10內(nèi)可以設(shè)置數(shù)個(gè)限位傳感器， 實(shí)現(xiàn)對(duì)各工作臂的精確而穩(wěn)定的定位控制。本實(shí)用新型中，電缸可以是指電動(dòng)執(zhí) 行器。
如圖1所示，當(dāng)進(jìn)行涂膠工藝時(shí)，電缸I9驅(qū)動(dòng)時(shí)，固定在其上面的連接板 I 11帶動(dòng)氣動(dòng)滑臺(tái)I 13及涂膠臂7沿電缸I 9上的滑軌向涂膠杯5的中心平穩(wěn)移 動(dòng)。當(dāng)涂膠臂7移動(dòng)到晶片4的中心位置時(shí)，進(jìn)行涂膠動(dòng)作，之后靠氣動(dòng)滑臺(tái)I 13使涂膠臂7抬起，準(zhǔn)備返回作業(yè)原點(diǎn)。此時(shí)，電缸II10便可驅(qū)動(dòng)，固定在其上 面的連接板n 12便帶動(dòng)氣動(dòng)滑臺(tái)II15及去邊臂3也向涂膠杯5的中心位置移動(dòng)。 當(dāng)去邊臂3移動(dòng)到晶片4的邊緣時(shí)，即可進(jìn)行晶片的去邊工藝操作。在此期間， 涂膠臂7返回作業(yè)原點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)涂膠單元的一次完整工藝搡作。
如圖4-圖6所示，本實(shí)用新型顯影單元工作臂的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)主要由 以下幾部分組成-.基座r 一個(gè)、溶劑清洗池2' —個(gè)、定影臂3' —個(gè)、顯影杯 5' —個(gè)、顯影液清洗池6' —個(gè)、顯影臂7' —個(gè)、支承板8' —個(gè)、電缸19' 和電缸II10'各一個(gè)、連接板I11'和連接板II12'各一個(gè)、氣動(dòng)滑臺(tái)13'和氣 動(dòng)滑臺(tái)II15'各個(gè)、離心機(jī)構(gòu)14' 一個(gè)。具體結(jié)構(gòu)如下
顯影杯y設(shè)置于基座r上，基座r 一側(cè)安裝支承板8',兩個(gè)電缸i9
'、電缸II10'上下平行固定在支承板8'外側(cè)，顯影單元的顯影臂7'、定影臂 3'分別固定在基座支承板8'外側(cè)的上下兩個(gè)電缸I9'、電缸II10'上，顯影 臂7與定影臂3'的分控與交叉作業(yè)是通過(guò)電缸I9'、電缸nio'的驅(qū)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。各工作臂的下端固定有氣動(dòng)滑臺(tái)，工作臂的上下靠氣動(dòng)滑臺(tái)實(shí)現(xiàn)，各工作 臂與電缸的連接是靠連接板實(shí)現(xiàn)的，連接板的上端固定在氣動(dòng)滑臺(tái)上，下端固定 在電缸的滑塊上。其中
顯影臂7'依次通過(guò)氣動(dòng)滑臺(tái)I13'及連接板I11'固定在電缸I9'上，顯 影臂7'下端固定有氣動(dòng)滑臺(tái)I 13'，連接板I11'的上端固定在氣動(dòng)滑臺(tái)113 '上，連接板Iir的下端固定在電缸I9'的滑塊上，顯影臂7'通過(guò)氣動(dòng)滑臺(tái) 113'的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行升降動(dòng)作，通過(guò)電缸I 9'的驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)連接板ur及顯影臂7 '進(jìn)行水平移動(dòng)。定影臂3'依次通過(guò)氣動(dòng)滑臺(tái)II15'及連接板IU2'固定在電
缸nio'上，定影臂3'下端固定有氣動(dòng)滑臺(tái)ni5',連接板ni2'的上端固定
在氣動(dòng)滑臺(tái)II15'上，連接板II12'的下端固定在電缸II10'的滑塊上，定影臂
3'通過(guò)氣動(dòng)滑臺(tái)ni5'的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行升降動(dòng)作,通過(guò)電缸nio'的驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)連接板
II12'及定影臂3'進(jìn)行水平移動(dòng)。
在基座r上，顯影杯5'兩側(cè)分別設(shè)置溶劑清洗池2'和顯影液清洗池6',
分別收集溶液和顯影液，同時(shí)清洗各自的噴嘴；工作時(shí)，溶劑清洗池2'與定影
臂3'的運(yùn)動(dòng)方向相對(duì)應(yīng)，顯影液清洗池6'與顯影臂7'的運(yùn)動(dòng)方向相對(duì)應(yīng)。
在單元的作業(yè)平面上，定影臂3'及顯影臂7'分別布置在顯影杯y的左右 兩側(cè)，定影臂r的原始位置在基座l'的左側(cè)，顯影臂7'的原始位置在基座l '的右側(cè)。
在基座1'的底部配有排液、排氣裝置及單元的離心機(jī)構(gòu)14',離心機(jī)構(gòu)14 '與用于放置晶片4'的吸盤連接，離心機(jī)構(gòu)14'通過(guò)真空吸盤可以帶動(dòng)晶片4 '離心旋轉(zhuǎn)。
在工作臂的上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)氣動(dòng)滑臺(tái)I 13'和氣動(dòng)滑臺(tái)II15'上可以設(shè)有限 位傳感器，用于限定定影臂3'及顯影臂7'的升降位置。
在工作臂的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)電缸I9'和電缸II10'內(nèi)可以設(shè)置數(shù)個(gè)限位傳感 器，實(shí)現(xiàn)對(duì)各工作臂的精確而穩(wěn)定的定位控制。本實(shí)用新型中，電缸可以是指電 動(dòng)執(zhí)行器。
如圖4所示，當(dāng)進(jìn)行顯影工藝時(shí)，電缸I9'驅(qū)動(dòng)時(shí)，固定在其上面的連接 板ni'帶動(dòng)氣動(dòng)滑臺(tái)I13'及顯影臂7'沿電缸I9'上的滑軌向顯影杯5'的 中心平穩(wěn)移動(dòng)。當(dāng)顯影臂7'移動(dòng)到晶片4'的中心位置時(shí),進(jìn)行涂顯影液的動(dòng)作， 之后靠氣動(dòng)滑臺(tái)I13'使顯影臂7'抬起，準(zhǔn)備返回作業(yè)原點(diǎn)。此時(shí)，電缸IIIO'便可驅(qū)動(dòng)，固定在其上面的連接板ni2'便帶動(dòng)氣動(dòng)滑臺(tái)ni5'及定影臂3'
也向顯影杯5'的中心位置移動(dòng)。當(dāng)定影臂3'移動(dòng)到距晶片4'的邊緣l/3處時(shí)， 即可進(jìn)行晶片的定影工藝搡作。在此期間，顯影臂7'可以返回作業(yè)原點(diǎn)，實(shí)現(xiàn) 顯影單元的一次工藝操作。由于顯影工藝的特殊性，當(dāng)定影臂3'完成定影操作， 但不返回原位時(shí)，顯影臂7'便可再次向晶片4'的中心移動(dòng)，進(jìn)行下一次顯影液 的涂覆工作，定影臂3'可利用此時(shí)返回原位，并再次返回進(jìn)行定影工藝搡作。 如此實(shí)現(xiàn)顯影和定影的分控、交叉作業(yè)。
通過(guò)以上對(duì)涂膠、顯影單元的具體動(dòng)作的詳細(xì)介紹說(shuō)明了本實(shí)用新型設(shè)計(jì)結(jié) 構(gòu)與傳統(tǒng)的單元結(jié)構(gòu)的根本差異。在涂膠單元中，通過(guò)對(duì)兩個(gè)平行安裝的電缸的 驅(qū)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)涂膠臂、去邊臂的分別控制及交叉控制，在涂膠過(guò)程結(jié)東而涂 膠臂沒(méi)有退回原位時(shí)，去邊臂便可以進(jìn)行去邊動(dòng)作。在顯影單元中，通過(guò)對(duì)兩個(gè) 平行安裝的電缸的驅(qū)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)顯影臂、定影臂的分別控制及交叉控制；當(dāng) 涂顯影液過(guò)程結(jié)東而顯影臂沒(méi)有退回原位時(shí)，定影臂就可以進(jìn)行作業(yè)；同樣，當(dāng)
定影臂沒(méi)有退回原位時(shí)，顯影臂就可以進(jìn)行下一輪顯影工藝過(guò)程，從而實(shí)現(xiàn)顯影、 定影的反復(fù)交叉作業(yè)過(guò)程。
由于單元結(jié)構(gòu)及所釆用的工藝動(dòng)作執(zhí)行機(jī)構(gòu)不同，所以完成涂膠、顯影單元
的工藝過(guò)程所用的時(shí)間也隨之縮短。而且單元結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、利落、緊湊。
由于各半導(dǎo)體生產(chǎn)廠的涂膠、顯影單元的結(jié)構(gòu)不同，所以執(zhí)行方式、動(dòng)作過(guò) 程、單元?jiǎng)幼魉钑r(shí)間也有所不同。從而對(duì)整體設(shè)備產(chǎn)能也會(huì)產(chǎn)生不同程度的影 響。如今巿場(chǎng)竟?fàn)幍暮诵木褪窃O(shè)備的產(chǎn)能，而設(shè)備的精巧、小型化也是客戶所追 求的。因此，為滿足縮短單元作業(yè)時(shí)間，提高產(chǎn)能，縮小單元占用空間，使單元 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、實(shí)用、機(jī)構(gòu)運(yùn)行平穩(wěn)、靈活，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便是該問(wèn)題的解決
方案之一。
權(quán)利要求1、一種涂膠顯影單元工作臂的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)，其特征是涂膠單元或顯影單元的基座一側(cè)安裝支承板，兩個(gè)電缸I、電缸II上下平行安裝在支承板外側(cè)，涂膠單元或顯影單元的兩個(gè)工作臂分別固定在基座支承板外側(cè)的上下兩個(gè)電缸I、電缸II上。
2、 按照權(quán)利要求1所述的涂膠顯影單元工作臂的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)，其 特征在于各工作臂的一端固定有氣動(dòng)滑臺(tái)，各工作臂與電缸通過(guò)連接板連接， 連接板的一端固定在氣動(dòng)滑臺(tái)上，連接板的另一端固定在電缸的滑塊上。
3、 按照權(quán)利要求1所述的涂膠顯影單元工作臂的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)，其 特征在于基座的底部配有排液、排氣裝置以及單元的離心機(jī)構(gòu)。
4、 按照權(quán)利要求1所述的涂膠顯影單元工作臂的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)，其 特征在于工作臂的上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)氣動(dòng)滑臺(tái)上設(shè)有限位傳感器。
5、 按照權(quán)利要求1所述的涂膠顯影單元工作臂的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)，其 特征在于工作臂的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)電缸I、電缸n內(nèi)設(shè)置限位傳感器。
6、 按照權(quán)利要求1所述的涂膠顯影單元工作臂的分控、交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)，其特征在于電缸I、電缸n為電動(dòng)執(zhí)行器。
專利摘要本實(shí)用新型涉及涂膠顯影單元工作臂的改進(jìn)技術(shù)，具體為一種用以在半導(dǎo)體晶片上進(jìn)行涂膠、顯影的各工作臂的可分控作業(yè)及可交叉作業(yè)結(jié)構(gòu)，解決涂膠、顯影單元中實(shí)現(xiàn)工作臂的上下動(dòng)作結(jié)構(gòu)復(fù)雜，工作效率低等問(wèn)題。涂膠單元或顯影單元的基座一側(cè)安裝支承板，兩個(gè)電缸I、電缸II上下平行安裝在支承板外側(cè)，涂膠單元或顯影單元的兩個(gè)工作臂分別固定在基座支承板外側(cè)的上下兩個(gè)電缸I、電缸II上。由于兩臂的安裝結(jié)構(gòu)不存在運(yùn)動(dòng)干涉，利用電缸的作用可以進(jìn)行獨(dú)立、交叉的平行作業(yè)。這一獨(dú)特功能的實(shí)用性在顯影單元上體現(xiàn)的尤為明顯，可以實(shí)現(xiàn)反復(fù)的顯影、定影工藝過(guò)程。采用本實(shí)用新型可以縮短工藝單元的作業(yè)時(shí)間，為提高整體設(shè)備的產(chǎn)能打基礎(chǔ)。
文檔編號(hào)G03F7/16GK201281803SQ20082021840
公開(kāi)日2009年7月29日 申請(qǐng)日期2008年10月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月10日
發(fā)明者陽(yáng) 王 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司