專利名稱：：高抗蝕膠顯影液及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種顯影液，尤其一種高抗蝕膠顯影液及其制備方法。二
背景技術(shù)：
：顯影液(Devel叩er)，為無色透明液體，易揮發(fā)，易燃，密度(20°C):0.720g/ml。該產(chǎn)品主要應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)的生產(chǎn)及分立器件上，使用該產(chǎn)品后顯影線條無鋸齒形且清晰，分辨率達到lum。目前顯影液主要由苯、二甲苯等芳香烴為主要原料或以純烷烴為主要原料，加入一定量的穩(wěn)定劑、分散劑及催化劑。該工藝生產(chǎn)的顯影液主要存在以下幾個缺點①產(chǎn)品采用芳香烴做原料，由于苯類產(chǎn)品是一種致癌物質(zhì)對員工健康安全危害大，并且產(chǎn)品使用完后的廢液及生產(chǎn)工業(yè)廢水不容易降解對環(huán)境產(chǎn)生污染嚴重，且閃點底對原料及產(chǎn)品的包裝、存儲及運輸帶來很大安全隱患；②產(chǎn)品用純烴如環(huán)己烷做原料，由于其價格昂貴無法應(yīng)用于普通的非精密的集成電路工藝技術(shù)生產(chǎn)及分立器件上，無法大規(guī)模推廣。三、技術(shù)內(nèi)容針對上述缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種不含致癌物質(zhì)及生產(chǎn)成本低的高抗蝕膠顯影液。本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容為，一種高抗蝕膠顯影液，其特征為它主要由餾程為80"C12(TC的CeC8混合烷烴和餾程為150'C21(TC的含庚垸的C7d。混合烷烴組成；高抗蝕膠顯影液中C6C8混合烷烴的含量為3060重量％，含庚垸的C7U混合烷烴的含量為4070重量％;含庚垸的C7C,?；旌羡鶡N中庚烷的含量為2080重量％。本發(fā)明的另一目的在于提供上述高抗蝕膠顯影液的制備方法。本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容為，一種高抗蝕膠顯影液的制備方法，其生產(chǎn)步驟如下(1)、將餾程為8(TC120。C的""混合烷烴和餾程為150。C210。C的含庚烷的C7d?；旌羡鶡N混合，并在常溫下攪拌1530分鐘；其中使C6CV混合烷烴的含量為3060重量％，含庚烷的C7d?；旌羡鶡N的含量為4070重量％;含庚烷的C7C,?；旌贤闊N中庚垸的含量為2080重量％;(2)、將上述制得的混合液再經(jīng)0.2um精密過濾，以去除混合液中粒徑大于0.2pm的有害粒子，即得高抗蝕膠顯影液。本發(fā)明屏棄了用苯、二甲苯或純烴，采用C6d。的混合烷烴為主要原料；混合烷烴取代芳香烴，避免了芳香烴對環(huán)境的污染及對人體的危害，由于C6CW的混合垸烴較芳香烴的閃點普遍高2(TC左右，因此也大大提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)、包裝、儲存及運輸上的安全性；餾程為8(rci2(rc的C6(v混合烷烴和餾程為15(TC21(TC的含庚烷的C7C,。混合烷烴的生產(chǎn)成本比純烴低，所以用在石油產(chǎn)品中易低成本取得的混合烷經(jīng)取代純烴，可在不影響顯影效果和顯影速率下，大大降低生產(chǎn)的原料成本，適用于大規(guī)模生產(chǎn)。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比所具有的優(yōu)點是1、本發(fā)明采用混合垸烴取代芳香烴降提高了對員工的職業(yè)健康安全，同時大大降低了對環(huán)境的污染，間接的降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。2、本發(fā)明采用在石油產(chǎn)品中易低成本取得的混合烷烴取代純烴，大大降低了生產(chǎn)的原料成本。3、本發(fā)明的顯影液可適用于中大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)的生產(chǎn)。四、具體實施例下面通過實施例進一步描述本發(fā)明，但未限于所舉的實施例。餾程為80'C12(TC的C6C8混合烷烴為石化廠生產(chǎn)的石油醚，高純級，其指標符合表1的要求；餾程為15(TC21(TC的含庚垸的C7d?；旌羡鶡N為高純級，石化廠生產(chǎn)，其指標符合表2要求。<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>表2例1、將80L石油醚和100L餾程為15(TC21(TC的含庚垸的C7d?；旌贤闊N混合加入不銹鋼反應(yīng)釜，其中含庚垸的C7d。混合垸烴中庚烷的含量為30重量％;在常溫下充分均勻攪拌20分鐘后，將制得的混合液再經(jīng)0.2ixm精密過濾，以去除混合液中粒徑大于0.2txm的有害粒子，即得高抗蝕膠顯影液。例2、將100L石油醚和100L餾程為150。C21(TC的含庚烷的C7d?；旌羡鶡N混合加入不銹鋼反應(yīng)釜，其中含庚烷的C7d。混合烷烴中庚垸的含量為50重量％;在常溫下充分均勻攪拌20分鐘后，將制得的混合液再經(jīng)0.2um精密過濾，以去除混合液中粒徑大于0.2um的有害粒子，即得高抗蝕膠顯影液。例3、將130L石油醚和100L餾程為15(TC210'C的含庚烷的C7d?；旌羡鶡N混合加入不銹鋼反應(yīng)釜，其中含庚垸的C7d。混合烷烴中庚烷的含量為60重量％;在常溫下充分均勻攪拌20分鐘后，將制得的混合液再經(jīng)0.2um精密過濾，以去除混合液中粒徑大于0.2um的有害粒子，即得高抗蝕膠顯影液。例4、將150L石油醚和100L餾程為15(TC21(TC的含庚垸的C7d?；旌贤闊N混合加入不銹鋼反應(yīng)釜，其中含庚垸的C7C,。混合烷烴中庚烷的含量為70重量%;在常溫下充分均勻攪拌20分鐘后，將制得的混合液再經(jīng)0.2um精密過濾，以去除混合液中粒徑大于0.2ym的有害粒子，即得高抗蝕膠顯影液。例14的物理指標數(shù)據(jù)如表3:<table>tableseeoriginaldocumentpage6</column></row><table>權(quán)利要求1、一種高抗蝕膠顯影液，其特征為它主要由餾程為80℃～120℃的C6～C8混合烷烴和餾程為150℃～210℃的含庚烷的C7～C10混合烷烴組成；高抗蝕膠顯影液中C6～C8混合烷烴的含量為30～60重量％，含庚烷的C7～C10混合烷烴的含量為40～70重量％；含庚烷的C7～C10混合烷烴中庚烷的含量為20～80重量％。2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的高抗蝕膠顯影液的制備方法，其生產(chǎn)步驟如下(1)、將餾程為8(TC120'C的CeC8混合烷烴和餾程為15(TC21(TC的含庚垸的C7d?；旌羡鶡N混合，并在常溫下攪拌1530分鐘；其中使C6Cs混合烷烴的含量為3060重量％，含庚烷的C7C,?；旌贤闊N的含量為4070重量％;含庚垸的C7C,。混合烷烴中庚烷的含量為2080重量％;(2)、將上述制得的混合液再經(jīng)0.2um精密過濾，以去除混合液中粒徑大于0.2pm的有害粒子，即得高抗蝕膠顯影液。全文摘要本發(fā)明涉及一種高抗蝕膠顯影液，其特征為它主要由餾程為80℃～120℃的C₆～C₈混合烷烴和餾程為150℃～210℃的含庚烷的C₇～C₁₀混合烷烴組成；高抗蝕膠顯影液中C₆～C₈混合烷烴的含量為30～60重量％，含庚烷的C₇～C₁₀混合烷烴的含量為40～70重量％；含庚烷的C₇～C₁₀混合烷烴中庚烷的含量為20～80重量％。本發(fā)明還涉及該高抗蝕膠顯影液的生產(chǎn)方法。本發(fā)明具有不含致癌物質(zhì)及生產(chǎn)成本低的優(yōu)點。文檔編號G03F7/32GK101308334SQ20081012328公開日2008年11月19日申請日期2008年7月9日優(yōu)先權(quán)日2008年7月9日發(fā)明者殷福華申請人:殷福華