專(zhuān)利名稱(chēng)：一種低張力正膠顯影液及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種正膠顯影液及其制備方法，尤其涉及一種用于IC、FPD的低張力正膠顯影液及其制備方法。
背景技術(shù)：
正膠顯影液，無(wú)色的有機(jī)堿性水溶液，有特殊臭味，有腐蝕性；該產(chǎn)品主要用于 ICdntegrated Circuit，集成電路板)、FPD (Flat Panel Display，平板顯示器)制造用正性光刻膠的顯影劑；可防止和減少鈉離子的污染，改善應(yīng)用性能，具有顯影干凈、親和力性能好等優(yōu)點(diǎn)，有利于提高分辯力。目前低張力正膠顯影液的成份主要為四甲基氫氧化銨 (TMAH)；該產(chǎn)品主要存在以下幾點(diǎn)缺點(diǎn)1)該正膠顯影液的表面張力大于等于70mN/m，應(yīng)用后其產(chǎn)品容易產(chǎn)生過(guò)顯和 CD (Critical Dimensions)值不穩(wěn)定的現(xiàn)象；2)該正膠顯影液的使用壽命短，由此在生產(chǎn)使用時(shí)顯影液消耗量大，造成單位成本較高。因此有必要提供低張力正膠顯影液及其制備方法，避免現(xiàn)有產(chǎn)品容易出現(xiàn)過(guò)顯和 CD值不穩(wěn)定的現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種低張力正膠顯影液及其制備方法，表面張力低，避免現(xiàn)有產(chǎn)品容易出現(xiàn)過(guò)顯和CD值不穩(wěn)定的現(xiàn)象，降低顯影液的消耗量。本發(fā)明為解決上述技術(shù)問(wèn)題而采用的技術(shù)方案是提供一種低張力正膠顯影液，包括以下重量百分比的組合物四甲基氫氧化銨 2.；35% 2.41% ；聚氧乙烯烷基醚 0. 2 % 0. 3 % ；水97. 29% 97. 45%。上述的低張力正膠顯影液，其中，所述四甲基氫氧化銨的濃度為25% (重量百分比)。上述的低張力正膠顯影液，其中，所述聚氧乙烯烷基醚的濃度大于99% (重量百分比)。本發(fā)明為解決上述技術(shù)問(wèn)題還提供一種低張力正膠顯影液的制備方法，包括如下步驟先加入四甲基氫氧化銨和一半水到反應(yīng)釜中，充分?jǐn)嚢?0 30分鐘；然后再加入聚氧乙烯烷基醚并加滿(mǎn)水，其中，四甲基氫氧化銨的重量百分比為 2. 2. 41%，聚氧乙烯烷基醚的重量百分比為0. 2% 0. 3%，再攪拌10 30分鐘；最后將制得的混合物經(jīng)0. 5 μ m的過(guò)濾器過(guò)濾，以去除混合液中粒徑大于0. 5 μ m 的有害粒子，即得低張力正膠顯影液。本發(fā)明對(duì)比現(xiàn)有技術(shù)有如下的有益效果本發(fā)明提供的低張力正膠顯影液及其制備方法，通過(guò)在原有工藝的基礎(chǔ)上新加入微量非離子型表面活性劑聚氧乙烯烷基醚，使其表面張力降低到25-35mN/m，從而有效避免常規(guī)產(chǎn)品出現(xiàn)的過(guò)顯及CD值不穩(wěn)定問(wèn)題，使其在使用效果不受影響的前提下顯影速率均勻快速，使用后產(chǎn)品顯影線(xiàn)條無(wú)鋸齒形且清晰， 分辨率達(dá)到0. 8um。
具體實(shí)施例方式下面通過(guò)實(shí)施例進(jìn)一步描述本發(fā)明，但不限于所舉的實(shí)施例。選用濃度為25重量％的四甲基氫氧化銨，高純級(jí)，杭州格林達(dá)化學(xué)有限公司生產(chǎn)，其指標(biāo)如表1
權(quán)利要求
1.一種低張力正膠顯影液，其特征在于，包括以下重量百分比的組合物 四甲基氫氧化銨 2.:35% 2.41% ；聚氧乙烯烷基醚 0.2% 0.3%; 水97. 29% 97. 45%。
2.如權(quán)利要求1所述的低張力正膠顯影液，其特征在于，所述四甲基氫氧化銨的濃度為25% (重量百分比)。
3.如權(quán)利要求1所述的低張力正膠顯影液，其特征在于，所述聚氧乙烯烷基醚的濃度大于99% (重量百分比)。
4.一種如權(quán)利要求1所述的低張力正膠顯影液的制備方法，其特征在于，包括如下步驟先加入四甲基氫氧化銨和一半水到反應(yīng)釜中，充分?jǐn)嚢?0 30分鐘； 然后再加入聚氧乙烯烷基醚并加滿(mǎn)水，其中，四甲基氫氧化銨的重量百分比為 2. 2. 41%，聚氧乙烯烷基醚的重量百分比為0. 2% 0. 3%，再攪拌10 30分鐘； 最后將制得的混合物經(jīng)0. 5 μ m的過(guò)濾器過(guò)濾，以去除混合液中粒徑大于0. 5 μ m的有害粒子，即得低張力正膠顯影液。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種低張力正膠顯影液及其制備方法，所述正膠顯影液包括以下重量百分比的組合物四甲基氫氧化銨2.35％～2.41％；聚氧乙烯烷基醚0.2％～0.3％；水97.29％～97.45％。本發(fā)明提供的低張力正膠顯影液及其制備方法，通過(guò)在原有工藝的基礎(chǔ)上新加入微量非離子型表面活性劑聚氧乙烯烷基醚，使其表面張力降低到25-35mN/m，從而有效避免常規(guī)產(chǎn)品出現(xiàn)的過(guò)顯及CD值不穩(wěn)定問(wèn)題，使其在使用效果不受影響的前提下顯影速率均勻快速，使用后產(chǎn)品顯影線(xiàn)條無(wú)鋸齒形且清晰，分辨率達(dá)到0.8um。
文檔編號(hào)G03F7/32GK102540772SQ201110461720
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月30日
發(fā)明者季文慶, 朱龍, 欒成, 殷福華, 邵勇 申請(qǐng)人:江陰江化微電子材料股份有限公司