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一種低張力正膠顯影液及其制備方法

文檔序號(hào):2739052閱讀:485來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):一種低張力正膠顯影液及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種正膠顯影液及其制備方法,尤其涉及一種用于IC、FPD的低張力正膠顯影液及其制備方法。
背景技術(shù)
正膠顯影液,無(wú)色的有機(jī)堿性水溶液,有特殊臭味,有腐蝕性;該產(chǎn)品主要用于 ICdntegrated Circuit,集成電路板)、FPD (Flat Panel Display,平板顯示器)制造用正性光刻膠的顯影劑;可防止和減少鈉離子的污染,改善應(yīng)用性能,具有顯影干凈、親和力性能好等優(yōu)點(diǎn),有利于提高分辯力。目前低張力正膠顯影液的成份主要為四甲基氫氧化銨 (TMAH);該產(chǎn)品主要存在以下幾點(diǎn)缺點(diǎn)1)該正膠顯影液的表面張力大于等于70mN/m,應(yīng)用后其產(chǎn)品容易產(chǎn)生過(guò)顯和 CD (Critical Dimensions)值不穩(wěn)定的現(xiàn)象;2)該正膠顯影液的使用壽命短,由此在生產(chǎn)使用時(shí)顯影液消耗量大,造成單位成本較高。因此有必要提供低張力正膠顯影液及其制備方法,避免現(xiàn)有產(chǎn)品容易出現(xiàn)過(guò)顯和 CD值不穩(wěn)定的現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種低張力正膠顯影液及其制備方法,表面張力低,避免現(xiàn)有產(chǎn)品容易出現(xiàn)過(guò)顯和CD值不穩(wěn)定的現(xiàn)象,降低顯影液的消耗量。本發(fā)明為解決上述技術(shù)問(wèn)題而采用的技術(shù)方案是提供一種低張力正膠顯影液,包括以下重量百分比的組合物四甲基氫氧化銨 2.;35% 2.41% ;聚氧乙烯烷基醚 0. 2 % 0. 3 % ;水97. 29% 97. 45%。上述的低張力正膠顯影液,其中,所述四甲基氫氧化銨的濃度為25% (重量百分比)。上述的低張力正膠顯影液,其中,所述聚氧乙烯烷基醚的濃度大于99% (重量百分比)。本發(fā)明為解決上述技術(shù)問(wèn)題還提供一種低張力正膠顯影液的制備方法,包括如下步驟先加入四甲基氫氧化銨和一半水到反應(yīng)釜中,充分?jǐn)嚢?0 30分鐘;然后再加入聚氧乙烯烷基醚并加滿(mǎn)水,其中,四甲基氫氧化銨的重量百分比為 2. 2. 41%,聚氧乙烯烷基醚的重量百分比為0. 2% 0. 3%,再攪拌10 30分鐘;最后將制得的混合物經(jīng)0. 5 μ m的過(guò)濾器過(guò)濾,以去除混合液中粒徑大于0. 5 μ m 的有害粒子,即得低張力正膠顯影液。本發(fā)明對(duì)比現(xiàn)有技術(shù)有如下的有益效果本發(fā)明提供的低張力正膠顯影液及其制備方法,通過(guò)在原有工藝的基礎(chǔ)上新加入微量非離子型表面活性劑聚氧乙烯烷基醚,使其表面張力降低到25-35mN/m,從而有效避免常規(guī)產(chǎn)品出現(xiàn)的過(guò)顯及CD值不穩(wěn)定問(wèn)題,使其在使用效果不受影響的前提下顯影速率均勻快速,使用后產(chǎn)品顯影線(xiàn)條無(wú)鋸齒形且清晰, 分辨率達(dá)到0. 8um。
具體實(shí)施例方式下面通過(guò)實(shí)施例進(jìn)一步描述本發(fā)明,但不限于所舉的實(shí)施例。選用濃度為25重量%的四甲基氫氧化銨,高純級(jí),杭州格林達(dá)化學(xué)有限公司生產(chǎn),其指標(biāo)如表1
權(quán)利要求
1.一種低張力正膠顯影液,其特征在于,包括以下重量百分比的組合物 四甲基氫氧化銨 2.:35% 2.41% ;聚氧乙烯烷基醚 0.2% 0.3%; 水97. 29% 97. 45%。
2.如權(quán)利要求1所述的低張力正膠顯影液,其特征在于,所述四甲基氫氧化銨的濃度為25% (重量百分比)。
3.如權(quán)利要求1所述的低張力正膠顯影液,其特征在于,所述聚氧乙烯烷基醚的濃度大于99% (重量百分比)。
4.一種如權(quán)利要求1所述的低張力正膠顯影液的制備方法,其特征在于,包括如下步驟先加入四甲基氫氧化銨和一半水到反應(yīng)釜中,充分?jǐn)嚢?0 30分鐘; 然后再加入聚氧乙烯烷基醚并加滿(mǎn)水,其中,四甲基氫氧化銨的重量百分比為 2. 2. 41%,聚氧乙烯烷基醚的重量百分比為0. 2% 0. 3%,再攪拌10 30分鐘; 最后將制得的混合物經(jīng)0. 5 μ m的過(guò)濾器過(guò)濾,以去除混合液中粒徑大于0. 5 μ m的有害粒子,即得低張力正膠顯影液。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種低張力正膠顯影液及其制備方法,所述正膠顯影液包括以下重量百分比的組合物四甲基氫氧化銨2.35%~2.41%;聚氧乙烯烷基醚0.2%~0.3%;水97.29%~97.45%。本發(fā)明提供的低張力正膠顯影液及其制備方法,通過(guò)在原有工藝的基礎(chǔ)上新加入微量非離子型表面活性劑聚氧乙烯烷基醚,使其表面張力降低到25-35mN/m,從而有效避免常規(guī)產(chǎn)品出現(xiàn)的過(guò)顯及CD值不穩(wěn)定問(wèn)題,使其在使用效果不受影響的前提下顯影速率均勻快速,使用后產(chǎn)品顯影線(xiàn)條無(wú)鋸齒形且清晰,分辨率達(dá)到0.8um。
文檔編號(hào)G03F7/32GK102540772SQ201110461720
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月30日
發(fā)明者季文慶, 朱龍, 欒成, 殷福華, 邵勇 申請(qǐng)人:江陰江化微電子材料股份有限公司
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