專利名稱：：放射線敏感性樹脂組合物、層間絕緣膜和微透鏡、以及它們的制備方法
技術(shù)領域：
：本發(fā)明涉及放射線敏感性樹脂組合物、層間絕緣膜和微透鏡以及它們的制備方法。技術(shù)背景薄膜晶體管(以下記為"TFT")型液晶顯示元件、磁頭元件、集成電路元件、固體攝像元件等電子部件中，為了使層狀配置的布線之間絕緣，通常設置層間絕緣膜。作為形成層間絕緣膜的材料，由于優(yōu)選為了得到所必需的圖案形狀的工序數(shù)少而且具有足夠的平坦性的材料，因此廣泛使用放射線敏感性樹脂組合物(參照特開2001-354822號公報和特開2001-343743號公報)。上述電子部件中，例如經(jīng)過在上述層間絕緣膜之上形成透明電極膜、進而在其上形成液晶取向膜的工序來制備TFT型液晶顯示元件，因此層間絕緣膜在透明電極膜的形成工序中暴露于高溫條件下，或暴露于電極的圖案形成中所使用的抗蝕劑的剝離液中，所以必需對上述條件有足夠的耐性。近年，對于TFT型液晶顯示元件而言，有大畫面化、高亮度化、高精細化、高速應答化、薄型化等動向，因此要求其中用于形成層間絕緣膜的組合物是高敏感度的，而對于形成的層間絕緣膜在低介電常數(shù)、高透射率等方面要求較以往更高的性能。另一方面，作為傳真機、電子復印機、固體攝像元件等的晶載濾色器等成像光學系統(tǒng)或光纖連接器的光學系統(tǒng)材料，使用具有3~100jum左右的透鏡直徑的微透鏡或?qū)⑦@些微透鏡規(guī)則排列的微透鏡陣列。形成微透鏡或微透鏡陣列的方法已知有形成對應于透鏡的抗蝕劑圖案后，通過加熱處理使之熔體流動，由此直接作為透鏡而利用的方法；掩蔽熔體流動的透鏡圖案，通過干蝕刻將透鏡形狀轉(zhuǎn)印到基底的方法等。上述透鏡圖案的形成中，放射線敏感性樹脂組合物被廣泛使用(參照特開平6-18702號公報和特開平6-136239號公報)。形成如上述的微透鏡或微透鏡陣列的元件，然后將其供于下述工序為了除去作為布線形成部分的焊盤上的各種絕緣膜，涂布平坦化膜和蝕刻用抗蝕劑膜，通過所希望的掩模進行曝光、顯影，除去焊盤部分的蝕刻抗蝕劑，接著通過蝕刻除去平坦化膜或各種絕緣膜，使焊盤部分露出。因此，在平坦化膜和蝕刻抗蝕劑的涂膜形成工序以及蝕刻工序中，對于微透鏡和微透鏡陣列，需要耐溶劑性或耐熱性。用于形成這樣的微透鏡的放射線敏感性樹脂組合物是高敏感度的，由其形成的微透鏡具有所希望的曲率半徑，要求高耐熱性、高透射率等。另外，這樣得到的層間絕緣膜或微透鏡，在形成其時的顯影工序中，顯影時間即使僅較最佳時間過剩一點，則在圖案與基板之間顯影液滲透，而容易發(fā)生剝離，因此有必需嚴格控制顯影時間，并且在制品的成品率方面存在問題。這樣，由放射線敏感性樹脂組合物形成層間絕緣膜或微透鏡時，作為組合物要求高敏感度，另外在形成工序中的顯影工序中即使顯影時間較規(guī)定時間過剩，也不發(fā)生圖案的剝離而顯示良好的貼合性，并且對于由其形成的層間絕緣膜要求高耐熱性、高耐溶劑性、低介電常數(shù)、高透射率、高貼合性等，另一方面，形成微透鏡時，除了作為微透鏡的良好的熔體形狀(所希望的曲率半徑)之外，還要求高耐熱性、高耐溶劑性、高透射率，但滿足這樣的要求的放射線敏感性樹脂組合物是以往不知道的。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是基于以上情況而完成的。因此本發(fā)明的目的在于提供放射線敏感性樹脂組合物，其具有高放射線敏感性，并具有如下所述的顯影余量(margin),可以容易地形成貼合性優(yōu)異的圖案狀薄膜，所述顯影余量是指在顯影工序中即使超過最佳顯影時間仍可以形成良好的圖案形狀。本發(fā)明的另一目的在于提供放射線敏感性樹脂組合物，其在用于層間絕緣膜的形成時可以形成高耐熱性、高耐溶劑性、高透射率、低介電常數(shù)、高貼合性的層間絕緣膜，另外在用于微透鏡的形成時能夠形成具有高透射率和良好的熔體形狀的微透鏡。本發(fā)明的另一目的在于提供使用上述放射線敏感性樹脂組合物形成層間絕緣膜和微透鏡的方法。本發(fā)明的另一目的在于提供通過本發(fā)明的方法形成的層間絕緣膜和微透鏡。本發(fā)明的進一步的其他目的和優(yōu)點由以下的說明來闡明。根據(jù)本發(fā)明，本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點是通過如下第1方面實現(xiàn)的，放射線敏感性樹脂組合物，其特征在于，含有(al)、(a2)、(a3)和(a4)的共聚物[A](有時稱為共聚物[A])、以及1,2-二疊氮醌化合物[B](以下，有時稱為[B]成分)，所述(al):選自不飽和羧酸和不飽和羧酸酐的至少一種(以下，有時稱為"化合物(al)，，),所述(a2):含有環(huán)氧基和氧雜環(huán)丁烷基的至少任意一個的不飽和化合物(以下，有時稱為"化合物(a2)，，)所述(a3):選自丙烯?；鶈徇蜁趸；鶈徇闹辽僖环N(以下，有時稱為"化合物U3)")所述(a4):與上述化合物(al)、(a2)和(a3)的任意一個都不同且選自甲基丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸環(huán)烷基酯、丙烯酸烷基酯、丙烯酸環(huán)烷基酯、丙烯酸芳基酯、曱基丙烯酸芳基酯、不飽和二羧酸二酯、羥基甲基丙烯酸酯、羥基丙烯酸酯、二環(huán)不飽和化合物、馬來酰亞胺化合物、不飽和芳香族化合物、共軛二烯、具有四氫呋喃骨架的不飽和化合物、具有呋喃骨架的不飽和化合物、具有四氫吡喃骨架的不飽和化合物、具有吡喃骨架的不飽和化合物、丙烯腈、曱基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、曱基丙烯酰胺和乙酸乙烯酯的至少一種其他不飽和化合物(以下，有時稱為"化合物(a4)")。本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點是通過如下第2方面實現(xiàn)的層間絕緣膜或微透鏡的形成方法，其特征在于，按照以下所述的順序包含以下工序(1)在基板上形成上述放射線敏感性樹脂組合物的涂膜的工序，(2)對該涂膜的至少一部分照射放射線的工序，(3)顯影工序，以及(4)力口熱工序。本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點是通過如下第3方面實現(xiàn)的通過上述方法形成的層間絕緣膜或微透鏡。圖1是表示微透鏡形狀的模式圖。具體實施方式以下對本發(fā)明的放射性敏感性樹脂組合物進行詳細說明。共聚物[a;i共聚物[a]可以通過在溶劑中，聚合引發(fā)劑的存在下，將化合物(al)、化合物(a2)、化合物(a3)和化合物(a4)進行自由基聚合來制備。化合物(al)是選自具有自由基聚合性的不飽和羧酸和不飽和羧酸酐的至少一種，可以舉出如一元羧酸、二羧酸、二羧酸的酸酐、多元羧酸的單[(曱基)丙烯酰氧基烷基]酯、兩末端具有羧基和羥基的聚合物的單(曱基)丙烯酸酯、具有羧基的多環(huán)化合物和其酸酐等。作為它們的具體例，可以分別舉出作為一元羧酸，例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等；作為二羧酸，例如馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、衣康酸等；作為二羧酸的酸酐，例如作為上述二羧酸示例的^f匕合物的酸酐等；作為多元羧酸的單[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯，例如琥珀酸單[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]酯、鄰苯二曱酸單[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]酯等；作為兩末端具有羧基和羥基的聚合物的單(曱基)丙烯酸酯，例如co-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯等。作為具有羧基的多環(huán)化合物和其酸酐，例如5-羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2國烯、5,6-二羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-曱基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯酸酐等。其中，優(yōu)選使用一元羧酸、二羧酸的酸酐，從共聚反應性、對于堿水溶液的溶解性和容易得到的角度，特別優(yōu)選使用丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸酐。這些化合物(al)可以單獨或組合使用?；谟苫衔?al)、(a2)、(a3)、和(a4)衍生的重復單元的合計，本發(fā)明中使用的共聚物[A]優(yōu)選含有由化合物(al)衍生的結(jié)構(gòu)單元1~80重量％,特別優(yōu)選5-40重量％。如果該結(jié)構(gòu)單元小于1重量%時，則得到得層間絕緣膜或微透鏡的貼合性存在降低的傾向，另一方面，如果該構(gòu)成單元的量超過80重量％時，則存在放射線敏感性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性降低的傾向。化合物(a2)是具有自由基聚合性的含有環(huán)氧基和氧雜環(huán)丁烷基的至少任意一種的不飽和化合物。作為含有環(huán)氧基的不飽和化合物可以舉出例如丙烯酸縮水甘油酯、曱基丙烯酸縮水甘油酯、ot-乙基丙烯酸縮水甘油酯、a-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、a-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸3,4-環(huán)氧丁酯、甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧丁酯、丙烯酸6,7-環(huán)氧庚酯、甲基丙烯酸6,7-環(huán)氧庚酯、a-乙基丙烯酸6,7-環(huán)氧庚酯、鄰乙烯基千基縮水甘油基醚、間乙烯基千基縮水甘油基醚、對乙烯基千基甘油基醚等。其中，從提高共聚反應性和得到的層間絕緣膜或微透鏡的耐熱性、表明硬度的角度優(yōu)選使用甲基丙烯酸縮水甘油酯、曱基丙烯酸6,7-環(huán)氧庚酯、鄰乙烯基千基縮水甘油基醚、間乙烯基節(jié)基縮水甘油基醚、對乙烯基千基縮水甘油基醚、曱基丙烯酸3,4-環(huán)氧環(huán)己基酯等。作為含有環(huán)氧基的不飽和化合物可以舉出例如3-(曱基丙烯酰氧基曱基)氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基曱基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基甲基)-2-曱基氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基曱基)-2-三氟甲基氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基曱基)-2-五氟乙基氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基甲基)-2-苯基氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基甲基)-2，2-二氟氧雜環(huán)丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基曱基)-2,2,4-三氟氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基甲基)-2,2,4,4-四氟氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基乙基)氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基乙基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、2-乙基-3-(甲基丙烯酰氧基乙基)氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基乙基)-2-三氟曱基氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基乙基)-2-五氟乙基氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基乙基)-2-苯基氧雜環(huán)丁烷、2,2-二氟-3-(曱基丙烯酰氧基乙基)氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基乙基)-2,2,4-三氟氧雜環(huán)丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基乙基)-2,2,4,4-四氟氧雜環(huán)丁烷等。這些化合物(a2)可以單獨4吏用或組合使用?；谟苫衔?al)、(a2)、(a3)、和(a4)衍生的重復單元的合計，本發(fā)明中使用的共聚物[A]優(yōu)選含有由化合物(a2)衍生的結(jié)構(gòu)單元5~70重量％,特別優(yōu)選10~60重量％。如果該結(jié)構(gòu)單元小于5重量％時，則放射線敏感性樹脂組合物的耐熱性、固化性、表面高度存在降低的傾向，另一方面，如果超過70重量％時，則存在放射線敏感性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性降低的傾向。化合物(a3)是丙烯酰基嗎啉和/或甲基丙烯?；鶈徇??；衔?a3)中，丙烯?；鶈徇ㄟ^與化合物(a4)表示的其他的不飽和化合物中的丙烯酸酯共聚可以提高聚合轉(zhuǎn)化率。作為它們的具體例，可以舉出例如丙烯酸曱酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙酯、丙烯酸異丙酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸仲丁酯、丙烯酸，權(quán)丁酯、丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸2-曱基環(huán)己酯、丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯(以下，稱"丙烯酸二環(huán)戊基(、>夕-A)酉旨，，)、丙烯酸酯三環(huán)[5.2.1.02，6]癸烷-8-基氧基乙酯、丙烯酸異水片(4乂求口二A)酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸千酯、丙烯酸四氬糠基酯、3-丙烯?；趸臍溥秽?2-酮、丙烯酸糠酯等?；谟苫衔?al)、(a2)、(a3)、和(a4)衍生的重復單元的合計，本發(fā)明中使用的共聚物[A]優(yōu)選含有由化合物(a3)衍生的結(jié)構(gòu)單元1~50重量％,特別優(yōu)選1~30重量％。如果該結(jié)構(gòu)單元超過50重量％時，則放射線敏感性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性存在降低的傾向?；衔?a4)是具有自由基聚合性的不飽和化合物，其是甲基丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸環(huán)烷基酯、丙烯酸烷基酯、丙烯酸環(huán)烷基酯、丙烯酸芳基酯、甲基丙烯酸芳基酯、不飽和二羧酸二酯、鞋基甲基丙烯酸酯、羥基丙烯酸酯、二環(huán)不飽和化合物、馬來酰亞胺化合物、不飽和芳香族化合物、共軛二烯、具有四氫呋喃骨架、呋喃骨架、四氫吡喃骨架或吡喃骨架的不飽和化合物或其他不飽和化合物。作為甲基丙烯酸烷基酯，可以舉出例如曱基丙烯酸曱酯、甲基丙烯酸乙酯、曱基丙烯酸正丁酯、曱基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸2-乙基己酯、曱基丙烯酸異癸酯、甲基丙烯酸正月桂基酯、甲基丙烯酸三癸基酯、曱基丙烯酸正硬脂酸酯等；作為甲基丙烯酸的環(huán)狀酯，可以舉出例如曱基丙烯酸環(huán)己酯、曱基丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、曱基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'勺癸烷-8-基酯(以下稱"甲基丙烯酸二環(huán)戊基酯，，)、曱基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基氧基乙基酯、甲基丙烯酸異水片酯等；作為丙烯酸烷基酯，可以舉出例如丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙酯、丙烯酸異丙酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸仲丁酯、丙烯酸叔丁酯等；作為丙埽酸的環(huán)狀酯，可以舉出例如丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸2-曱基環(huán)己酯、丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯(以下稱"丙烯酸二環(huán)戊基酯，，)、丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基氧基乙基酯、丙烯酸異水片酯等；作為丙烯酸芳基酯，可以舉出例如丙烯酸苯酯、丙烯酸千酯等；作為甲基丙烯酸芳基酯，可以舉出例如甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸節(jié)酯等；作為不飽和二羧酸二酯，可以舉出例如馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等；作為羥基甲基丙烯酸酯，可以舉出例如甲基丙烯酸羥基甲酯、甲基丙烯酸2-羥基乙酯、曱基丙烯酸3-羥基丙酯、曱基丙烯酸4-羥基丁酯、二甘醇單曱基丙烯酸酯、甲基丙烯酸2,3-二羥基丙酯、2-甲基丙烯氧基乙基葡萄糖苷、甲基丙烯酸4-羥基苯酯等；作為羥基丙烯酸酯，可以舉出例如丙烯酸羥基甲酯、丙烯酸2-羥基乙酯、丙烯酸3-羥基丙酯、丙烯酸4-羥基丁酯、二甘醇單丙烯酸酯、丙烯酸2,3-二羥基丙酯、2-丙烯氧基乙基葡萄糖苷、丙烯酸4-羥基苯酯等；作為二環(huán)不飽和化合物，可以舉出例如二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-曱基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基曱基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-(2國羥基乙基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羥基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(羥基甲基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(2-羥基乙基)二環(huán)[2.2.1]庚-2畫烯、5,6國二曱氧基二環(huán)[2.2.1]庚國2國烯、5,6-二乙氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5國羥基-5-曱基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-曱基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基陽5曙乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基曱基-5-曱基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-曱基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯無水物("4、；7夕酸酐)、5-叔丁氧基羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-環(huán)己基氧基羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-苯氧基羰基二環(huán)[2.2.1]庚畫2-烯、5,6-二(叔丁氧基羰基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(環(huán)己基氧基羰基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯等；作為馬來酰亞胺化合物，可以舉出例如N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、N-千基馬來酰亞胺、N-(4-羥基苯基)馬來酰亞胺、N-(4-羥基節(jié)基)馬來酰亞胺、N-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺苯曱酸鹽、N-琥珀酰亞胺基-4-馬來酰亞胺丁酸鹽、N-琥珀酰亞胺基-6-馬來酰亞胺己酸鹽、N-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺丙酸鹽、N-(9-吖咬基)馬來酰亞胺等；作為不飽和芳香族化合物，可以舉出例如苯乙烯、a-甲基苯乙烯、間曱基苯乙烯、對曱基苯乙烯、乙烯基甲苯、對曱氧基苯乙烯等；作為共軛二烯，可以舉出例如1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基-1,3-丁二烯等；作為含有四氫呋喃骨架的不飽和化合物，可以舉出例如(曱基)丙烯酸四氫槺基酯、2-甲基丙烯酰氧基-丙酸四氫糠基酯、3-(曱基)丙烯酰氧基四氫呋喃-2-酮等；作為含有呋喃骨架的不飽和化合物，可以舉出例如2-甲基-5-(3-呋喃基)-1-戊烯-3-@同、(曱基)丙烯酸糠基酯、l-呋喃-2-丁基-3-烯-2-酮、l-呋喃-2-丁基-3-曱氧基-3-烯-2-酮、6-(2畫呋喃基)_2畫甲基國1-己烯畫3-酮、6-呋喃-2畫基畫己-l-烯曙3誦酮、丙烯酸2-呋喃-2-基-l-曱基乙酯、6-(2-呋喃基)-6-曱基-1-庚烯-3-酮等；作為含有四氬吡喃骨架的不飽和化合物，可以舉出例如曱基丙烯酸(四氫吡喃-2-基)曱酯、2,6-二甲基-8-(四氫吡喃-2-基氧基)-辛-1-烯-3-酮、2-曱基丙烯酸四氫吡喃-2-基酯、1-(四氫吡喃-2-氧基)-丁基-3誦烯-2-酮等；作為含有吡喃骨架的不飽和化合物，可以舉出例如4-(1，4-二氧雜-5-氧代-6-庚烯基)-6-甲基-2-敗喃酮、4-(1,5-二氧雜-6-氧代-7-辛烯基)_6-曱基-2』比喃酮等。其他不飽和化合物是丙烯腈、曱基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、曱基丙烯酰胺或乙酸乙烯酯。它們之中優(yōu)選使用曱基丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸環(huán)烷基酯、二環(huán)不飽和化合物、不飽和芳香族化合物、共軛二烯，從共聚反應性以及對堿水溶液的溶解性的角度，尤其優(yōu)選苯乙烯、曱基丙烯酸叔丁基酯、曱基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02，6]癸烷-8-基酯、對甲氧基苯乙烯、丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、1,3-丁二烯、二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、(甲基)丙烯酸四氫糠基酯、聚乙二醇(n=2~10)單(甲基)丙烯酸酯、3-(甲基)丙烯酰氧基四氫呋喃-2-酮、1-(四氫呋喃-2-氧基)-丁基-3-烯-2-酮、(甲基)丙烯酸糠基酯。這些化合物(a4)可以單獨使用或組合使用?；谟苫衔?al)、(a2)、(a3)、和(a4)衍生的重復單元的合計，本發(fā)明中使用的共聚物[A]優(yōu)選含有由化合物(a4)衍生的結(jié)構(gòu)單元10~80重量％，特別優(yōu)選20~70重量％。在該結(jié)構(gòu)單元小于10重量％的情況下，得到的層間絕緣膜或微透鏡的耐熱性或表面硬度存在降低的傾向，另一方面，該結(jié)構(gòu)單元的量在超過80重量％的情況下，則放射線敏感性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性存在降低的傾向。丙烯酸/曱基丙烯酸三環(huán)[5H:w]癸烷-8:基酯/曱基;烯、酸縮水甘油酉;/丙烯酸2-曱基環(huán)己酯/:^-(3,5-二甲基-4-羥基千基)曱基丙烯酰胺/丙烯?；鶈徇簿畚?、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸縮水甘油酯/1-(四氫吡喃-2-氧基)丁基-3-烯-2-酮/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/對甲氧基苯乙烯/3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷/N-(3,5-二甲基-4-羥基千基)甲基丙烯酰胺/丙烯酰基嗎啉共聚物、曱基丙烯酸/曱基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸烷-8-基酉旨/苯乙烯^-苯基馬來酰亞胺/>1-(4-羥基苯基)曱基丙烯酰胺/丙烯?；鶈徇簿畚铩⒓谆┧?甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯/曱基丙烯酸正月桂基酯/3-曱基丙烯酰氧基四氫呋喃-2-酮/N-(4-羥基苯基)甲基丙烯酰胺/丙烯?；鶈徇簿畚?、曱基丙烯酸/曱基丙烯酸縮水甘油酯/苯乙烯/丙烯酸2-曱基環(huán)己酯/1-(四氫吡喃-2-氧基)-丁基-3-烯-2-酮/曱基丙烯酸4-羥基卡酯/丙烯酰基嗎啉共聚物、曱基丙烯酸/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02'6]癸烷-8-基酯/對甲氧基苯乙烯/甲基丙烯酸4-羥基千酯/丙烯?；鶈徇簿畚?、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯/曱基丙烯酸縮水甘油酯/苯乙烯/對乙烯基爺基縮水甘油基醚/甲基丙烯酸四氫糠基S旨/甲基丙烯酸4-羥基苯酯/丙烯酰基嗎啉共聚物、甲基丙烯酸/曱基丙烯酸縮水甘油酯/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/a-甲基對羥基苯乙烯/甲基丙烯酸四氫糠基酯/丙烯酰基嗎啉共聚物、曱基丙烯酸/曱基丙烯酸縮水甘油酯/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/3-乙基-3-曱基丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷/3-甲基丙烯酰氧基四氫呋喃-2-酮/曱基丙烯酸四氫糠基酯/曱基丙烯酸4-羥基苯酯/丙烯酰基嗎啉共聚物、甲基丙烯酸/曱基丙烯酸縮水甘油酯/3-乙基-3-曱基丙烯酰氧基曱基氧雜環(huán)丁烷/曱基丙烯酸四氫糠基酯/N-苯基馬來酰亞胺/a-甲基對羥基苯乙烯/丙烯酰基嗎啉共聚物、甲基丙烯酸/曱基丙烯酸縮水甘油酯/3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷/曱基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.0^]癸烷-8-基酯/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/曱基丙烯酸正月桂酸酯/a-曱基對羥基苯乙烯共聚物/丙烯酰基嗎啉等。本發(fā)明中使用的共聚物[A]的聚苯乙烯換算重均分子量(以下稱為"Mw")優(yōu)選為2x103~1xio5，更優(yōu)選5x103~5x104。Mw小于2xl03，則有顯影余量變得不充分的情況，得到的被膜的殘膜率等降低、或得到的層間絕緣膜或微透鏡的圖案形狀、耐熱性等會變差，另一方面，超過lxl05,則敏感度降低、圖案形狀會變差。分子量分布(以下稱為"Mw/Mn")優(yōu)選5.0以下，更優(yōu)選3.0以下。Mw/Mn超過5.0,則得到的層間絕緣膜或微透鏡的圖案形狀變差。含有上述共聚物[A]的放射線敏感性樹脂組合物，在顯影時不會產(chǎn)生顯影殘留，能夠極容易地形成規(guī)定圖案形狀。可以通過將例如不飽和化合物(al)、不飽和化合物(a2)、不飽和化合物(a3)和不飽和化合物(a4),在適當?shù)娜軇┲?，在自由基聚合引發(fā)劑的存在下聚合來合成[A]聚合物。作為在上述共聚中使用的溶劑，可以舉出例如醇、醚、乙二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、二甘醇烷基醚、丙二醇單烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯、丙二醇烷基醚丙酸酯、芳烴、酮、酯等。作為這些溶劑的具體例子分別如下舉出，作為醇，可以舉出曱醇、乙醇、節(jié)醇、2-苯基乙醇、3-苯基-l-丙醇等；作為醚，可以舉出四氫呋喃等；作為乙二醇醚，可以舉出乙二醇單曱醚、乙二醇單乙醚等；作為乙二醇烷基醚乙酸酯，可以舉出乙二醇甲基醚乙酸酯、乙二醇乙基醚乙酸酯、乙二醇正丙基醚乙酸酯、乙二醇正丁基醚乙酸酯等；作為二甘醇烷基醚，可以舉出二甘醇單曱醚、二甘醇單乙醚、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇乙基甲基醚等；作為丙二醇單烷基醚，可以舉出丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單正丙醚、丙二醇單正丁醚等；作為丙二醇烷基醚乙酸酯，可以舉出丙二醇曱基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇正丙基醚乙酸酯、丙二醇正丁基醚乙酸酯等；作為丙二醇烷基醚丙酸酯，可以舉出丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇正丙基醚丙酸酯、丙二醇正丁基醚丙酸酯等；作為芳烴，可以舉出甲苯、二甲苯等；作為酮，可以舉出曱乙酮、環(huán)己酮、4-羥基-4-曱基-2-戊酮等；作為酯，可以舉出例如乙酸曱酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-曱基丙酸甲酯、2-羥基-2-曱基丙酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸曱酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3-甲基丁酸曱酯、曱氧基乙酸曱酯、曱氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸曱酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸曱酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2-甲氧基丙酸曱酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-曱氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸曱酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸曱酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-曱氧基丙酸曱酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-曱氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸曱酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸曱酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯等酯。它們之中，優(yōu)選乙二醇烷基醚乙酸酯、二甘醇、丙二醇單烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯，特別優(yōu)選二甘醇二甲醚、二甘醇乙基曱基醚、丙二醇曱基醚、丙二醇甲基醚乙酸酯。作為在共聚物[A]的制備中使用的聚合引發(fā)劑，可以使用通常知道的自由基聚合引發(fā)劑?？梢耘e出例如2,2，-偶氮二異丁腈、2,2，-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、2,2，-偶氮二(4-曱氧基-2,4-二曱基戊腈)等偶氮化合物；過氧化苯甲酰、過氧化月桂酰、過氧化新戊酸叔丁酯、l,l，-雙-(過氧化叔丁基)環(huán)己烷等有機過氧化物；和過氧化氫等。當使用過氧化物作為自由基聚合引發(fā)劑時，也可以與還原劑一起使用過氧化物來作為氧化還原型引發(fā)劑。在共聚物[A]的制備中，為了調(diào)節(jié)分子量，可以使用分子量調(diào)節(jié)劑。作為其具體例子，可以舉出氯仿、四溴化碳等卣代烴；正己硫醇、正辛硫醇、正十二烷基硫醇、叔十二烷基硫醇、巰基乙酸等硫醇；二(曱基黃原酸酯)硫化物、二(異丙基黃原酸酯)二硫化物等黃原酸酯；薛品油烯、a-曱基苯乙烯二聚體等。[B]成分本發(fā)明中使用的[B]成分的1,2-二疊氮醌化合物，可以舉出例如1，2-苯醌二疊氮磺酸酯、1,2-萘醌二疊氮磺酸酯、1,2-苯醌二疊氮磺酰胺、1，2-萘醌二疊氮磺酰胺等。作為它們的具體例，可以舉出2,3,4-三羥基二苯曱酮-1,2-萘醌疊氮-4-磺酸酯、2,3,4-三羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,3,4-三羥基二苯曱酮-l,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、2,3,4-三羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、2,3,4-三羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯、2,4,6-三羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,4,6-三羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,4,6-三羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、2,4,6-三羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、2,4,6-三羥基二苯曱酮-l,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯等三羥基苯醌的1,2-萘醌二疊氮磺酸酯；2,2，,4,4，-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,2，,4,4，-四羥基二苯曱酮-l,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,2，,4,4，-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、2,2，,4,4，-四羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、2,2，,4,4，-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯、2,3,4,3'國四羥基二苯曱酮-l,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,3,4,3，-四羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,3,4,3，-四羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、2,3,4,3，-四羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、2,3,4,3，-四羥基二苯曱酮-l,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯、2,3,4,4，-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,3,4,4，-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,3,4,4，-四羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、2,3,4,4'國四羥基二苯甲酮-l,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、2,3,4,4，-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯、2,3,4,2，-四羥基-4，-曱基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,3,4,2，-四羥基-4，-曱基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,3,4,2，-四羥基-4，-甲基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、2,3,4,2，-四羥基-4，-甲基二苯曱酮-l,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、2,3,4,2，-四羥基-4，-曱基二苯甲酮-l,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯、2,3,4,4，-四羥基-3，-甲氧基二苯曱酮-l,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,3,4,4，-四羥基-3，-甲氧基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,3,4,4，-四羥基-3，-曱氧基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、2,3,4,4，-四羥基-3，-甲氧基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、2,3,4,4，-四羥基-3，-曱氧基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯等四羥基苯醌的1,2-萘醌二疊氮磺酸酯；2,3,4,2，,6，-五羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,3,4,2，,6，-五羥基二苯曱酮-l,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,3，4,2，,6，-五羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、2,3,4,2，，6，-五羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、2,3,4,2，,6，-五羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯等五羥基二苯曱酮的1,2-萘醌二疊氮磺酸酯；2,4,6,3，,4',5，-六羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2，4，6,3，,4，,5，-六羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,4,6,3，,4，,5，-六羥基二苯曱酮-l,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、2,4,6,3，,4，,5，-六羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、2,4,6,3，,4，,5，-六羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯、3,4,5,3，,4，,5，-六羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、3,4,5,3，,4，,5，-六羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、3,4,5,3，,4，,5，-六羥基二苯曱酮-l,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、3,4,5,3，,4，,5，-六羥基二苯曱酮-1,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、3,4,5,3，,4，,5，-六羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯等六羥基二苯甲酮的1,2-萘醌二疊氮磺酸酯；雙(2,4-二羥基苯基)甲烷-l,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、雙(2，4-二羥基苯基)曱烷-l,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、雙(2,4-二羥基苯基)曱烷-1,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、雙(2,4-二羥基苯基)曱烷-l,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、雙(2,4-二羥基苯基)曱烷-l,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯、雙(對羥基苯基)甲烷-l,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、雙(對羥基苯基)曱烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、雙(對羥基苯基)曱烷-l,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、雙(對羥基苯基)曱烷-l，2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、雙(對羥基苯基)甲烷-l,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯、三(對羥基苯基)甲烷-l,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、三(對羥基苯基)曱烷-l,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、三(對羥基苯基)曱烷-l,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、三(對羥基苯基)曱烷-l,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、三(對羥基苯基)曱烷-l,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯、1,1,1-三(對羥基苯基)乙烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、l,l,l-三(對羥基苯基)乙烷-l,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、1,1,1-三(對輕基苯基)乙烷-l,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、1,1,1-三(對羥基苯基)乙烷-l,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、l,l,l-三(對羥基苯基)乙烷-l，2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯、雙(2,3,4-三羥基苯基)曱烷-l,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷-l,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、雙(2,3,4-三羥基苯基)曱烷-l,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、雙(2,3,4-三羥基苯基)曱烷-l,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯、2,2-雙(2,3,4-三羥基苯基)丙烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,2-雙(2,3,4-三羥基苯基)丙烷-l,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,2-雙(2,3,4-三羥基苯基)丙烷-l,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、2,2-雙(2,3,4-三羥基苯基)丙烷-1,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、2,2-雙(2,3,4-三羥基苯基)丙烷扁1,2國萘醌二疊氮-8-》黃酸酯、1,1,3-三(2,5-二曱基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、1,1,3-三(2,5-二曱基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、1,1,3-三(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷-1,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、1,1,3-三(2,5-二曱基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷-1,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、1，1,3-三(2,5-二甲基-4-輕基苯基)-3-苯基丙烷-1,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯、4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-曱基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-l,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-曱基乙基]苯基]亞乙基]雙盼-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-l-曱基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-l,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-1,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-曱基乙基]苯基]亞乙基]雙酴-1,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯、雙(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基曱烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、雙(2,5-二曱基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、雙(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷-1,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、雙(2,5-二曱基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷-1,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、雙(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基曱烷-1,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯、3,3,3，,3，-四曱基-1,1，-螺二茚-5,6,7,5，,6，,7，-六醇-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、3,3,3，,3，-四曱基-1,1，國螺二茚-5,6,7,5，，6，,7，-六醇-l,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、3,3，3，,3，-四曱基-l,l，-螺二茚-5,6,7,5，,6，,7，-六醇-1,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、3,3,3',3，國四曱基-l,l，畫螺二茚-5,6,7,5，,6，,7，-六醇-l,2-萘醌二疊氮-7-磺酸酯、3，3,3，,3，-四曱基曙U，-螺二茚-5,6,7,5，,6，,7，-六醇-l,2-萘醌二疊氮-8-磺酸酯、2,2，4-三曱基-7,2',4'-三羥基黃烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,2,4-三甲基-7,2',4'-三羥基黃烷-l,2-萘醌二疊氮-5-磺酸、2,2,4-三曱基-7,2',4'-三羥基黃烷-1,2-萘醌二疊氮-6-磺酸酯、2,2,4-三甲基-7,2',4'-三羥基黃烷-1,2-萘醌二疊氮-7-磺酸、2,2,4-三曱基-7,2',4'-三羥基黃烷-1,2-萘醌二疊氮-8-磺酸等(多羥基苯基)烷的1,2-萘醌二疊氮磺酸酯。這些1,2-醌二疊氮化合物可以單獨使用或組合2種以上使用。相對于共聚物[A]IOO重量份，[B]成分的使用比例，優(yōu)選5~100重量份，更優(yōu)選10~50重量份。該比例小于5重量份時，由放射線照射生成的酸量少，因此對于作為放射線的照射部分和未照射部分的顯影液的堿水溶液的溶解度之差小，有形成圖案變得困難的傾向。另夕卜，與共聚物[A]的反應相關的酸的量變少，存在不能得到充分的耐熱性和耐溶劑性的情況。另一方面，該比例超過100重量份時，通過短時間的放射線的照射，未反應的[B]成分大量殘存，因此對上述堿水溶液的不溶化效果過高，存在顯影變得困難的傾向。其他成分本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物含有上述得共聚物[A]和[B]作為必須成分，另外依據(jù)必要可以含有[C]感熱性成酸化合物、[D]具有至少一個烯鍵式不飽和雙鍵的聚合性化合物、[E]與共聚物[A]不同的其他環(huán)氧樹脂、[F]表面活性劑或[G]粘接助劑。上述[C]感熱性成酸化合物可以用于提高耐熱性或硬度。作為其具體例子可以舉出锍鹽、苯并噻唑镥鹽、銨鹽、鑄鹽等镥鹽。作為上述锍鹽的具體例子可以舉出烷基锍鹽、千基锍鹽、二節(jié)基锍鹽、取代節(jié)基锍鹽等。作為它們的具體例子可以分別列舉，作為烷基锍鹽，可以舉出例如4-乙酰苯基二甲基锍六氟銻酸鹽、4-乙酸基苯基二甲基锍六氟砷酸鹽、二甲基-4-(千氧基羰基氧基)苯基锍六氟銻酸鹽、二甲基-4-(苯曱酰氧基)苯基锍六氟銻酸鹽、二曱基-4-(苯曱酰氧基)苯基锍六氟砷酸鹽、二甲基-3-氯-4-乙酸基苯基锍六氟銻酸鹽等；作為芐基锍鹽，可以舉出例如芐基-4-羥基苯基曱基锍六氟銻酸鹽、千基-4-羥基苯基曱基锍六氟磷酸鹽、4-乙酸基苯基千基甲基锍六氟銻酸鹽、節(jié)基-4-曱氧基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、千基-2-甲基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、千基-3-氯-4-羥基苯基甲基锍六氟砷酸鹽、4-曱氧基千基_4_羥基苯基曱基锍六氟磷酸鹽等；作為二芐基锍鹽，可以舉出例如二芐基-4-羥基苯基锍六氟銻酸鹽、二芐基-4-羥基苯基锍六氟磷酸鹽、4-乙酸基苯基二節(jié)基锍六氟銻酸鹽、二芐基-4-曱氧基苯基锍六氟銻酸鹽、二千基-3-氯-4-羥基苯基锍六氟砷酸鹽、二節(jié)基-3-甲基-4-羥基-5-叔丁基苯基锍六氟銻酸鹽、千基-4-曱氧基千基_4_羥基苯基锍六氟磷酸鹽等；作為取代千基锍鹽，可以舉出例如對氯節(jié)基-4-羥基苯基曱基锍六氟銻酸鹽、對硝基千基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、對氯千基-4-羥基苯基甲基锍六氟磷酸鹽、對硝基千基-3-曱基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、3,5-二氯芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、鄰氯節(jié)基-3-氯-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽等。作為上述苯并噻唑镥鹽的具體例子，可以舉出3-千基苯并噻唑镥六氟銻酸鹽、3-卡基苯并噻唑镥六氟磷酸鹽、3-千基苯并噻唑鏡四氟硼酸鹽、3-(對甲氧基芐基)苯并噻唑錙六氟銻酸鹽、3-節(jié)基-2-曱基苯并噻唑镥六氟銻酸鹽、3-千基-5-氯苯并噻唑镥六氟銻酸鹽等千基苯并噻唑镥鹽。它們之中，優(yōu)選使用锍鹽和苯并p塞唑镥鹽，特別優(yōu)選使用4-乙酸基苯基二曱基锍六氟砷酸鹽、節(jié)基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、4-乙酸基苯基節(jié)基曱基锍六氟銻酸鹽、二節(jié)基-4-羥基苯基锍六氟銻酸鹽、4-乙酸基苯基千基锍六氟銻酸鹽、3-千基苯并噻唑镥六氟銻酸鹽。作為它們的市售品，可以舉出廿7工4卜、、SI-L85、廿y工4卜'SI-L110、廿》工J卜'SI-L145、廿^工4卜'、SI國L150、廿^工J卜、、SI-L160(三新化學工業(yè)(林)制)等。相對于共聚物[A]IOO重量份，[C]成分的使用比例優(yōu)選20重量份以下，更優(yōu)選5重量份以下。如果該用量超過20重量份，則在涂膜形成工序中析出析出物，存在給涂膜形成帶來障礙的情況。作為上述[D]成分的具有至少一個烯鍵式不飽和雙鍵的聚合性化合物(以下，有時稱"D成分，，)，可以優(yōu)選舉出例如單官能(曱基)丙烯酸酯、雙官能(曱基)丙烯酸酯或三官能以上的(甲基)丙烯酸酯。作為上述單官能(曱基)丙烯酸酯，可以舉出例如(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯、(曱基)丙烯酸卡必醇酯、(曱基)丙烯酸異水片酯、(甲基)丙烯酸3-甲氧基丁酯、2-(曱基)丙烯酰氧基乙基-2-羥基丙基鄰苯二甲酸酯等。作為它們的市售品，可以舉出例如:r口-7夕只M-lOl、7口-7夕7M誦lll、7口-7夕只M-114(以上，東亞合成(株)制)；KAYARADTC-110S、KAYARADTC-120S(以上，日本化藥(株)制)；匕、、只3—卜158、匕、、只3—卜2311(以上，大阪有機化學工業(yè)(林)制)等。作為上述雙官能(曱基)丙烯酸酯，可以舉出例如乙二醇(曱基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(曱基)丙烯酸酯、1,9-壬二醇二(曱基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、四甘醇二(甲基)丙烯酸酯、二苯氧基乙醇芴二丙烯酸酯、二苯氧基乙醇芴二丙烯酸酯等。作為它們的市售品，可以舉出例如7口-7夕義M-210、7*口-7夕只M-240、7口-7夕義M畫6200(以上，東亞合成(抹)制>，KAYARADHDDA、KAYARADHX-220、KAYARADR-604(以上，日本化藥(抹)制)；匕'只-一卜260、匕'只i一卜312、匕、、義3—卜335HP(以上，大阪有機化學工業(yè)(株)制)等。作為上述三官能以上的(甲基)丙烯酸酯，可以舉出例如三羥曱基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三((曱基)丙烯酰氧基乙基)磷酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(曱基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(曱基)丙烯酸酯等，作為其市售品，可以舉出例如7口二7夕只M-309、7口-7夕只M-400、7口-7夕只M-405、7*口-7夕只M國450、7口二7夕只M-7100、7口-、7夕只M-8030、7口-7夕只M-8060(以上，東亞合成(才朱)制)；KAYARADT證TA、KAYARADDPHA、KAYARADDPCA-20、KAYARADDPCA國30、KAYARADDPCA-60、KAYARADDPCA誦120(以上，日本化藥(才朱)制)；匕'73—卜295、匕、、只-一卜300、匕^3一卜360、匕'7:z—卜GPT、匕'義n一卜3PA、匕'久3—卜400(以上，大阪有機化學工業(yè)(林)制)等。其中，優(yōu)選使用三官能以上的(曱基)丙烯酸酯，其中特別優(yōu)選三羥曱基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯。這些單官能、雙官能或三官能以上的(甲基)丙烯酸酯可以單獨或組合使用。相對于共聚物[A]IOO重量份，[D]成分的^f吏用比例優(yōu)選50重量份以下，更優(yōu)選30重量份以下。通過以這樣的比例含有[D]成分，可以使由本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物得到的層間絕緣體或微透鏡的耐熱性和表面硬度等提高。如果該使用量超過50重量份，則在基板上形成放射線敏感性樹脂組合物的涂膜的工序中有出現(xiàn)膜粗糙的情況。作為上述[E]成分的與共聚物[A]不同的其他環(huán)氧樹脂(以下，有時稱"E成分")，在不影響相容性的限度內(nèi)不作限定。特別優(yōu)選雙酚A型環(huán)氧樹脂、苯酚線型酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、曱酚線型酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、脂環(huán)族環(huán)氧樹脂、縮水甘油酯型環(huán)氧樹脂、縮水甘油胺型環(huán)氧樹脂、雜環(huán)環(huán)氧樹脂、使曱基丙烯酸縮水甘油酯(共)聚合而得的樹脂等。其中特別優(yōu)選雙盼A型環(huán)氧樹脂、甲酚線型酚醛型環(huán)氧樹脂、縮水甘油酯型環(huán)氧樹脂等。相對于共聚物[A]IOO重量份，[E]成分的使用比例優(yōu)選為30重量份以下。通過以這樣的比例含有[E]成分，可以進一步提高由本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物得到的保護膜或絕緣膜的耐熱性和表面硬度等。該比例如果超過30重量份，則在基板上形成放射線敏感性樹脂組合物的涂膜時，存在涂膜的膜厚均一性變得不足的情況。共聚物[A]也可以稱為"環(huán)氧樹脂"，但在具有堿溶性方面與[E]成分不同。[E]成分是堿不溶性的。在本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物中，為了進一步提高涂布性可以使用作為上述[F]成分的表面活性劑。作為在此可以使用的[F]表面活性劑，可以優(yōu)選使用氟系表面活性劑、硅酮系表面活性劑和非離子型表面活性劑。作為氟系表面活性劑的具體例子，除了1,1,2,2-四氟辛基(1,1,2,2-四氟丙基)醚、1,1,2,2-四氟辛基己基醚、八甘醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六甘醇(U,2,2,3,3-六氟戊基)醚、八丙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六丙二醇二(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、全氟十二烷基磺酸鈉、U,2,2,8,8,9,9,10，10-十氟十二烷、1,1,2,2,3,3-六氟癸烷等之外,還可以舉出氟代烷基苯磺酸鈉；氟代烷基氧化乙烯醚；氟代烷基碘化銨、氟代烷基聚氧乙烯醚、全氟烷基聚氧乙醇(求'J才*、二工夕乂一/D;全氟烷基烷氧化物；氟系烷基酯等。作為它們的市售品可以舉出BM-IOOO、BM-1100(以上為BMChemie公司制)、爿#:77*夕F142D、>方、777夕F172、乂方、77'7夕F173、乂方、77:y夕F183、>方、777夕F178、爿力'77、7夕F191、乂方、77、乂夕F471(以上為大日本油墨化學工業(yè)(林)制)，7口，一卜、、FC-170C、FC國171、FC-430、FC-431(以上為住友義卩一工厶(抹)制，廿一7口>S-112、廿一7口>S-113、廿一7口》S-131、廿一7口7S-141、廿一7口^S國145、廿一:7口》S-382、廿一7口7SC-101、廿一7口>SC-102、廿一7口>SC-103、廿一:7口>SC-104、廿一7口乂SC-105、廿一7口夕SC-106(旭硝子(株)制)，工:7卜'7:7°EF301、工7卜7:/303、工7卜77°352(新秋田化成(林)制)等。作為上述硅酮系表面活性劑，可以舉出例如商品名DC3PA、DC7PA、FS-1265、SF-8428、SH11PA、SH21PA、SH28PA、SH29PA、SH30PA、SH畫190、SH國193、SZ-6032(以上為東k.夕'々u—-7夕'v卩3—>(才朱)制)，TSF-4440、TSF畫4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460、TSF-4452(以上為GE東芝^卩-一>(株)制)等市售的產(chǎn)品。作為上述非離子型表面活性劑，可以使用如聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚類；聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚等聚氧乙烯芳基醚類；聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙烯二硬脂酸酯等聚氧乙烯二烷基酯等；(曱基)丙烯酸系共聚物求卩7口一No.57、95(共榮社化學(林)制)等。這些表面活性劑可以單獨使用，或組合2種以上使用。相對于共聚物[A]100重量份，這些[F]表面活性劑優(yōu)選使用5重量份以下，更優(yōu)選使用2重量份以下。[F]表面活性劑的用量如果超過5重量份，則在基板上形成涂膜時，有時變得易于產(chǎn)生涂膜的膜粗糙。另外，本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物中，為了提高與基體的粘接性，可以使用作為[G]成分的粘接助劑。作為這樣的[G]粘接助劑，可優(yōu)選使用官能性硅烷偶聯(lián)劑，可以舉出例如具有羧基、甲基丙烯?；惽杷狨セ?、環(huán)氧基等反應性取代基的硅烷偶聯(lián)劑。具體可以舉出三曱氧基甲硅烷基苯曱酸、Y-曱基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙酸基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、Y-異氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、Y-環(huán)氧丙氧基丙基三曱氧基硅烷、P-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷等。相對于共聚物[A]100重量份，這樣的[G]粘接助劑優(yōu)選以20重量份以下使用，更優(yōu)選以10重量份以下的量使用。當粘接助劑的量超過20重量份時，在顯影工序中，有時易于出現(xiàn)顯影殘留。放射線敏感性樹脂組合物本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物可以通過將上述共聚物[A]和[B]成分以及如上所述任意添加的其他成分均勻混合來制備。本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物優(yōu)選溶解在適當溶劑中以溶液狀態(tài)使用。例如可以通過把共聚物[A]和[B]成分以及任意添加的其他成分按規(guī)定比例進行混合，來調(diào)制溶液狀態(tài)的放射線敏感性樹脂組合物。作為制備本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物所用的溶劑，可以使用能夠使共聚物[A]和[B]成分以及任意配合的其他成分均勻溶解，并且與各成分不發(fā)生反應的溶劑。作為這樣的溶劑，可以舉出與作為前述在用于制備共聚物[A]時可以使用的溶劑所示例的溶劑相同的溶劑。在這樣的溶劑當中，從各成分的溶解性、與各成分的反應性、形成涂膜的容易度等觀點考慮，優(yōu)選使用醇、二元醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、酯和二甘醇。其中，可以特別優(yōu)選使用節(jié)醇、2-苯基乙基醇、3-苯基-l-丙醇、乙二醇單丁基醚乙酸酯、二甘醇單乙基醚乙酸酯、二甘醇二乙基醚、二甘醇乙基曱基醚、二甘醇二甲醚、丙二醇單曱基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯、曱氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸乙酯。為了提高膜厚的面內(nèi)均勻性，可以進一步與上述溶劑并用高沸點溶劑。作為可以并用的高沸點溶劑，可以舉出例如有N-曱基曱酰胺、N,N-二曱基曱酰胺、N-曱基曱酰苯胺、N-曱基乙酰胺、N,N-二曱基乙酰胺、N-曱基吡咯烷酮、二曱基亞砜、千基乙基醚、二己基醚、丙酮基丙酮、異佛爾酮、己酸、辛酸、l-辛醇、l-壬醇、乙酸千酯、苯曱酸乙酯、草酸二乙酯、馬來酸二乙酯、Y-丁內(nèi)酯、碳酸亞乙酯、碳酸亞丙酯、苯基乙酸溶纖劑等。其中，優(yōu)選N-曱基吡咯烷酮、Y-丁內(nèi)酯、N,N-二甲基乙酰胺。作為本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物的溶劑，并用高沸點溶劑時，相對于溶劑總量其用量優(yōu)選50重量％以下，更優(yōu)選40重量％以下，進一步可以優(yōu)選30重量％以下。高沸點溶劑的用量如果超過該用量，則存在涂膜的膜厚均勻性、敏感度和殘膜率降低的情況。把本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物調(diào)制成溶液狀態(tài)時，溶液中除溶劑以外的成分(也就是共聚物[A]和[B]成分以及任意添加的其他成分的總量)所占的比例，可以根據(jù)使用目的和所希望的膜厚值等進行任意設定，優(yōu)選為5~50重量％，更優(yōu)選10~40重量％,進一步優(yōu)選15-35重量％。這樣制備的組合物溶液，使用孔徑為0.2)um左右的微孔過濾器等進行過濾后，可供使用。層間絕緣膜、微透鏡的形成下面對使用本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物形成本發(fā)明的層間絕緣膜、微透鏡的方法進行描述。本發(fā)明的層間絕緣膜或微透鏡的形成方法以下所述的順序包含以下工序。(1)在基板上形成本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物的涂膜的工序，(2)對該涂膜的至少一部分照射放射線的工序，(3)顯影工序，以及(4)力口熱工序。(1)在基板上形成本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物的涂膜的工序在上述(l)工序中，在基板表面上涂布本發(fā)明的組合物溶液，優(yōu)選通過進行預烘烤除去溶劑，形成放射線敏感性樹脂組合物的涂膜。作為可以使用的基板的種類，可以舉出如玻璃基板、硅晶片、和在它們的表面形成有各種金屬的基板。作為組合物溶液的涂布方法，沒有特別限定，可以采用如噴涂法、輥涂法、旋轉(zhuǎn)涂布法(旋涂法)、狹縫口模涂布法、棒涂布法、噴墨涂布法等適宜方法，特別優(yōu)選旋涂法、狹縫口模涂布法。作為預烘烤的條件，依據(jù)各成分的種類、使用比例等而不同。例如，可以是60~110。C下進行30秒~15分鐘左右。作為形成的涂膜的厚度，作為預烘烤后的值，在形成層間絕緣膜時，例如優(yōu)選為3~6fxm,形成樣i透4竟時，例如優(yōu)選為0.5~3|um。(2)對該涂膜的至少一部分照射放射線的工序在上迷(2)的工序中，對形成的涂膜通過具有規(guī)定圖案的掩模照射放射線后，使用顯影液進行顯影處理通過除去放射線的照射部分來形成圖案。作為此時使用的放射線，可以舉出例如紫外線、遠紫外線、X射線、帶電粒子射線等。作為上述紫外線可以舉出例如g線(波長436nm)、i線(波長365nm)等。作為遠紫外線可以舉出例如KrF激基激光等。作為X射線可以舉出例如同步加速器放射線等。作為帶電粒子射線可以舉出例如電子束等。在它們中，優(yōu)選紫外線，其中特別優(yōu)選含g線和/或i線的放射線。作為曝光量，形成層間絕緣膜時，優(yōu)選50-1,500J/m2,形成微透鏡時，優(yōu)選50~2,000J/m2。(3)顯影工序作為在顯影處理中所用的顯影液，可以使用例如氬氧化鈉、氬氧化鉀、碳酸鈉、硅酸鈉、正硅酸鈉、氨、乙基胺、正丙基胺、二乙基胺、二乙氨基乙醇、二正丙基胺、三乙基胺、曱基二乙基胺、二甲基乙醇胺、三乙醇胺、氬氧化四甲銨、氬氧化四乙銨、吡咯、哌啶、1,8-二氮雜二環(huán)[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮雜二環(huán)[4.3.0]-5-壬烷等堿(堿性化合物)的水溶液。另外，在上述堿的水溶液中適量添加曱醇、乙醇等水溶性有機溶劑或表面活性劑的水溶液，或溶解本發(fā)明的組合物的各種有機溶劑可以用作顯影液。進而，作為顯影方法，可以利用例如液洼法、浸漬法、搖動浸漬法、噴淋法等適當方法。此時的顯影時間隨組合物的組成而不同，例如可以*沒為30~120秒。對于以往已知的放射線敏感性樹脂組合物而言，如果顯影時間超過最佳值20-25秒左右，則形成的圖案發(fā)生剝離，因此有必須嚴格控制顯影時間，對于本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物而言，即使超過最佳顯影時間30秒以上，也可以形成良好的圖案，有在制品的成品率方面的^尤點。(4)力口熱工序在如上所述實施的(3)顯影工序后，對形成圖案的薄膜優(yōu)選進行如用流動水進行清洗的洗滌處理，進而，還優(yōu)選通過全面照射由高壓汞燈等產(chǎn)生的放射線(后曝光)，對該涂膜中殘存的1,2-二疊氮醌化合物進行分解處理，然后通過熱板、烘箱等加熱裝置對該薄膜進行加熱處理(后烘烤處理)，從而進行該薄膜的固化處理。上述后曝光工序中的曝光量優(yōu)選為2,000~5,000J/n^左右。另外，該固化處理中的燒結(jié)溫度例如為120~250°C。加熱時間隨加熱儀器的種類不同而異，如當在熱板上進行加熱處理時可以設定為5~30分鐘；當在烘箱中進行加熱處理時，可以i殳定為30~90分鐘。這時也可以采用進行2次以上加熱工序的分段式烘烤法等。這樣在基板表面上可以形成與作為目的的層間絕緣膜或微透鏡對應的圖案狀薄膜。如后述實施例所述，如上所述形成的層間絕緣膜和微透鏡在貼合性、耐熱性、耐溶劑性、和透明性等方面是優(yōu)異的。層間絕緣膜如上所述形成的本發(fā)明的層間絕緣膜對基板的貼合性良好，耐溶劑性和耐熱性優(yōu)異，具有高透射率，介電常數(shù)低，優(yōu)選用作電子部件的層間絕緣膜。微透鏡如上所述形成的本發(fā)明的微透鏡對基板的貼合性良好，耐溶劑性和耐熱性優(yōu)異，并且具有高透射率和良好的熔體形狀，優(yōu)選用作固體攝影元件的微透鏡。另外，本發(fā)明的微透鏡的形狀如圖1(a)所示，呈半凸透鏡形狀。如上，本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物具有高放射線敏感度，具有在顯影工序中即使超過最佳顯影時間時，也具有可以形成良好的圖案形狀的顯影余量，可以容易地形成貼合性優(yōu)異的圖案狀薄膜。由上述組合物形成的本發(fā)明的層間絕緣膜，對基板的貼合性良好，耐溶劑性和耐熱性優(yōu)異，具有高透射率，介電常數(shù)低，優(yōu)選用作電子部件的層間絕緣膜。另外，由上述組合物形成的本發(fā)明的微透鏡，對基板的貼合性良好，耐溶劑性和耐熱性優(yōu)異，并且具有高透射率和良好的熔體形狀，優(yōu)選用作固體攝影元件的微透鏡。實施例以下舉出合成例、實施例和比較例，更具體地說明本發(fā)明，但本發(fā)明并不限于下述實施例。合成例1在具備冷凝管、攪拌機的燒瓶中加入2,2，-偶氮二(2,4-二曱基戊腈)7重量份和丙二醇單曱基醚乙酸酯220重量份。接著加入曱基丙烯酸22重量份、曱基丙烯酸二環(huán)戊基酯23重量份、丙烯?；鶈徇?重量份、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基曱基氧雜環(huán)丁烷50重量份和a-曱基苯乙烯二聚體3重量份，一邊進行氮置換一邊開始緩慢攪拌。使溶液溫度上升至70°C，在該溫度下加熱4小時，得到含有共聚物[A-1]的聚合物溶液。得到的聚合物溶液的固體成分濃度是31.1重量％,聚合物的重均分子量是17,200,分子量分布(重均分子量/數(shù)均分子量的比)是1.9。重均分子量和數(shù)均分子量是使用GPC(凝膠滲透色鐠(東V—(抹)制HLC-8020)測定得到的聚苯乙烯換算的平均分子量。合成例2在具備冷凝管、攪拌機的燒瓶中加入2,2，-偶氮二(2,4-二曱基戊腈)7重量份和二甘醇乙基甲基醚220重量份。接著加入曱基丙烯酸13重量份、曱基丙烯酸縮水甘油酯50重量份、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷10重量份、環(huán)己基馬來酰亞胺10重量份、丙烯?；鶈徇?0重量份和丙烯酸四氫糠基酯7重量份，一邊進行氮置換一邊開始緩慢攪拌。使溶液溫度上升至70°C,在該溫度下加熱4小時，得到含有共聚物[A-2]的聚合物溶液。得到的聚合物溶液的固體成分濃度是32.1重量％,聚合物的重均分子量是18,200,分子量分布是1.8。合成例3在具備冷凝管、攪拌機的燒瓶中加入2,2，-偶氮二(2,4-二曱基戊腈)7重量份和二甘醇乙基曱基醚200重量份。接著加入曱基丙烯酸11重量份、環(huán)己基馬來酰亞胺12重量份、a-曱基-對羥基苯乙烯9重量份、曱基丙烯酸縮水甘油酯50重量份、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基曱基氧雜環(huán)丁烷10重量份、丙烯酰基嗎啉5重量份、曱基丙烯酸四氫糠基酯3重量份和a-曱基苯乙烯二聚體3重量份，一邊進行氮置換一邊開始緩慢攪拌。使溶液溫度上升至70°C，在該溫度下加熱5小時，得到含有共聚物[A-3]的聚合物溶液。得到的聚合物溶液的固體成分濃度是32.4重量％,聚合物的重均分子量是21,200,分子量分布是2.1。合成例4在具備冷凝管、攪拌機的燒瓶中加入2,2，-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)8重量份和二甘醇乙基曱基醚220重量份。接著加入苯乙烯10重量份、曱基丙烯酸20重量份、3-乙基-3-曱基丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷20重量份、甲基丙烯酸縮水甘油酯30重量份、丙烯?；鶈徇?重量份、丙烯酸四氬糠基酯12重量份和a-甲基苯乙烯二聚體4.0重量份，一邊進行氮置換一邊開始緩慢攪拌。使溶液溫度上升至70°C,在該溫度下加熱5小時，得到含有共聚物[A-4]的聚合物溶液。得到的聚合物溶液的固體成分濃度是32.0重量％,聚合物的重均分子量是20,100,分子量分布是1.9。比較合成例1在具備冷凝管、攪拌機的燒瓶中加入2,2，-偶氮二(2,4-二曱基戊腈)7重量份和二甘醇甲基乙基醚220重量份。接著加入曱基丙烯酸23重量份、甲基丙烯酸二環(huán)戊基酯47重量份、甲基丙烯酸縮水甘油酯20重量份、a-曱基苯乙烯二聚體2.0重量份，一邊進行氮置換，一邊開始緩慢攪拌。使溶液溫度上升至70°C,保持該溫度5小時，得到含有共聚物[A-1R]的聚合物溶液。得到的聚合物溶液的固體成分濃度是32.8重量％,聚合物的重均分子量是24,000,分子量分布是2.3。比4交合成例2在具備冷凝管、攪拌機的燒瓶中加入2,2，-偶氮二(2,4-二曱基戊腈)7重量份和二甘醇甲基乙基醚220重量份。接著加入甲基丙烯酸25重量份、曱基丙烯酸二環(huán)戊基酯35重量份、曱基丙烯酸2-羥基乙基酯40重量份和a-曱基苯乙烯二聚體2.0重量份，并一邊進行氮置換，一邊開始緩慢攪拌。使溶液溫度上升至7(TC,保持該溫度5小時，得到含有共聚物[A-2R]的聚合物溶液。得到的聚合物溶液的固體成分濃度是32.8重量％,聚合物的重均分子量是25,000,分子量分布是2.4。實施例1放射線敏感性樹脂組合物的制備將含有由合成例1得到的共聚物[A-1]的聚合物溶液(相當于共聚物[A-l]lOO重量份(固體成分))、作為成分[B]的4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-l-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚(1摩爾)與1,2-萘醌二疊氮-5-磺酰氯(2摩爾)的縮合物(4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-曱基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-l,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯)20重量份和"曱基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷5重量份混合，溶解至丙二醇單曱基醚乙酸酯以使固體成分濃度是30重量％后，用孔徑0.5nm的微孔過濾器過濾，調(diào)制放射性敏感性組合物的溶液(S-l)。層間絕緣膜的評價(I)圖案狀薄膜的形成在玻璃基板上使用旋涂器涂布上述組合物溶液(S-l)之后，在80。C在熱板上預烘烤3分鐘，形成涂膜。對上述得到的涂膜用規(guī)定圖案掩模照射在365nm處強度為10mW/cn^的紫外線15秒鐘。之后用0.5重量％氫氧化四曱銨水溶液在25。C下顯影1分鐘后，用純水洗滌1分鐘。通過這些操作，除去不要的部分。對上述形成的圖案照射在365nm處強度為10mW/cn^的紫外線30秒鐘之后，通過在220。C的烘箱中加熱固化60分鐘，得到膜厚3pm的圖案狀薄膜。另外，除了將預烘烤溫度改為90°C、100。C以外，進行與上述相同的操作，形成預烘烤溫度不同的3種圖案狀薄膜。(II)分辨率的評價對由上述(I)得到的圖案狀薄膜，以沖壓圖案(5iumx5^im孔)可以分辨的情況為"0"、不能分辨的情況為"x"。結(jié)果示于表l。(III)耐熱尺寸穩(wěn)定性的評價在上述(I)中，將在預烘烤溫度80。C下形成的薄膜圖案在烘箱中在220。C下加熱60分鐘。加熱前后的膜厚的變化率示于表2。此時的尺寸變化率是加熱前后的5%以內(nèi)時，可以說耐熱尺寸穩(wěn)定性良好，尺寸變化率超過5%時，可以說不好。(IV)透明性的評價在上述(I)中，使用分光光度計(150-20型雙光束(日立制作所(林)制))測定在預烘烤溫度80。C下形成的圖案狀薄膜的400nm的透射率，進行透明性的評價。結(jié)果示于表2中。此時透射率為90%以上的情況可以說透明性良好，小于90%的情況可以說不好。(V)耐熱變色性的評價在上述(I)中，將具有在預烘烤溫度8(TC下形成的圖案狀薄膜的基板在250。C的烘箱中加熱1小時，通過加熱前后的圖案狀薄膜的透射率的變化來評價耐熱變色性。此時的評價結(jié)果示于表2中。變化率小于5%時，可以說耐熱變色性良好，超過5%時可以說不好。透射率與(IV)透明性的評價同樣地求出。(VI)貼合性的評價在上述(I)中，通過加壓蒸煮器試驗U20。C,濕度100%,4小時)后的棋盤格剝離試驗評價在預烘烤溫度80。C下形成的圖案狀薄膜的貼合性。此時的評價結(jié)果示于表2。評價結(jié)果表示棋盤格IOO個之中剩余的棋盤格數(shù)目。(VII)保存穩(wěn)定性的評價將上述組合物溶液用40。C的烘箱加熱1周，通過加熱前后粘度的變化評價保存穩(wěn)定性。此時的粘度變化率示于表1中。變化率小于5%時可以說保存穩(wěn)定性良好，5%以上時可以說保存穩(wěn)定性不好。微透鏡的評價(I)微透鏡的形成在6英寸硅基板上旋涂上述組合物溶液(S-l)以使達到2.5ium的膜厚，在70。C下在熱板上預烘烤3分鐘，形成涂膜。對如上述得到的涂膜用規(guī)定圖案掩模照射在436nm處強度為10mW/cm2的紫外線。之后利用2.38重量％氫氧化四曱銨水溶液在25°C下進行1分鐘顯影后，通過純水洗滌1分鐘。通過這些操作，除去不要的部分，形成圖案。對上述形成的圖案以200mJ/cm2照射在436nm處強度為10mW/cm2的紫外線之后，通過在160。C下加熱10分鐘后，進而在230。C下加熱10分鐘，使圖案熔體流動來形成微透鏡。(II)敏感度的評價可以分辯由上述(I)得到的熔體流動后的微透鏡圖案的0.8nm線條和間隔圖案(10比1)的間隔線寬的最低照射量示于表3。該值為100mJ/cm2以下時，可以說分辨率良好，敏感度超過100mJ/cm2時，可以說分辨率不好。(III)透明性的評價在玻璃基板上與上述(I)同樣地形成圖案狀薄膜。對形成熔體流動后的微透鏡圖案的玻璃基板，使用分光光度計(150-20型雙光束(日立制作所(株)制)測定400nm的透射率，進行透明性評價。此時的400nm下的透射率示于表3。透射率為90~100%時，可以說透射率良好，小于90%時，可以說透射率不好。(IV)耐熱透明性的評價將上述(III)中形成的具有圖案狀薄膜的玻璃基板用25(TC的烘箱加熱1小時，通過加熱前后的圖案狀薄膜的透射率變化來評價耐熱透明性。此時的透射率變化率示于表3。變化率小于5%時可以說耐熱透明性良好，超過5%時，可以說不好。透射率與(m)透明性的評價同樣地求出。(V)貼合性的評價通過加壓蒸煮器試驗(120。C,濕度100%，4小時)后的棋盤格剝離試驗評價在上述(I)中形成的圖案狀薄膜的貼合性。此時的評價結(jié)果示于表3。評價結(jié)果表示棋盤格100個之中剩余的棋盤格數(shù)目。(VII)耐溶劑性的評價將與上述(III)同樣地形成的具有圖案狀薄膜的玻璃基板浸漬于50。C的異丙醇中IO分鐘，評價膜厚變化。此時的變化率示于表3。變化率是0~5%時，可以說耐溶劑性良好，超過5%時和由于溶解膜厚降低時，可以說耐溶劑性不好。實施例2混合含有合成例2中得到的共聚物[A-2]的聚合物溶液(相當于共聚物[A-2]100重量份(固體成分))、和作為成分[B]的4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-l-曱基乙基]苯基]亞乙基]雙酚(1摩爾)與1,2-萘醌二疊氮-5-磺酰氯(2摩爾)的縮合物(4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-曱基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯)20重量份、和Y-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷5重量份，溶解至丙二醇單曱基醚乙酸酯以使固體成分濃度是31重量％后，用孔徑0.5|Lim的微孔過濾器過濾，調(diào)制放射性敏感性組合物的溶液(S-2),進行評價，結(jié)果示于表1~3。實施例3混合含有合成例3中得到的共聚物[A-3]的聚合物溶液(相當于共聚物[A-3]100重量份(固體成分))、和作為成分[B]的4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-l-曱基乙基]苯基]亞乙基]雙酚(1摩爾)與1,2-萘醌二疊氮-5-磺酰氯(2摩爾)的縮合物(4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-曱基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-l,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯)18重量份、和丫-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷5重量份，溶解至丙二醇單曱基醚乙酸酯以使固體成分濃度是30重量％后，用孔徑0.5iam的微孔過濾器過濾，調(diào)制放射性敏感性組合物的溶液(S-3),進行評價，結(jié)果示于表1-3。實施例4混合含有合成例4中得到的共聚物[A-4]的聚合物溶液(相當于共聚物[A誦4]100重量份(固體成分))、和作為成分[B]的4,4，誦[l誦[4畫[l畫[4-羥基苯基]-l-曱基乙基]苯基]亞乙基]雙酚(1摩爾)與1,2-萘醌二疊氮-5-磺酰氯(2摩爾)的縮合物(4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-l,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯)30重量份、4,4，-[l-[4-[l-[4誦羥基苯基]-l-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚5重量份和Y-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷5重量份，溶解至丙二醇單曱基醚乙酸酯以使固體成分濃度是31重量％后，用孔徑0.5jam的微孔過濾器過濾，調(diào)制放射性敏感性組合物的溶液(S-4),進行評價，結(jié)果示于表1~3。比凈交例1混合含有比較例合成1中得到的共聚物[A-1R]的聚合物溶液(相當于共聚物[A-IR]IOO重量份(固體成分))、和作為成分[B]的4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚(1摩爾)與1,2-萘醌二疊氮-5-磺酰氯(2摩爾)的縮合物(4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-l-曱基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-l,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯)30重量份、和Y-曱基丙烯氧基丙基三曱氧基硅烷5重量份，溶解至丙二醇單甲基醚乙酸酯以使固體成分濃度是31重量％后，用孔徑0.5ium的微孔過濾器過濾，調(diào)制放射性敏感性組合物的溶液(S-1R),并進行評價。結(jié)果示于表1~3。比舉交例2混合含有比較例合成2中得到的共聚物[A-2R]的聚合物溶液(相當于共聚物[A-2R]100重量份(固體成分))、和作為成分[B]的4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-曱基乙基]苯基]亞乙基]雙酚(1摩爾)與1,2-萘醌二疊氮-5-磺酰氯(2摩爾)的縮合物(4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-l-曱基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-l,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯)18重量份、和Y-曱基丙烯氧基丙基三曱氧基硅烷5重量份，溶解至丙二醇單甲基醚乙酸酯以使固體成分濃度是31重量％后，用孔徑0.5pm的微孔過濾器過濾，制備放射性敏感性組合物的溶液(S-2R),并進行評價。結(jié)果示于表1~3。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table>表2<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table>表3<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table>權(quán)利要求1.一種放射線敏感性樹脂組合物，其特征在于，含有(a1)、(a2)、(a3)和(a4)的共聚物[A]，以及1，2-二疊氮醌化合物[B]，所述(a1)選自不飽和羧酸和不飽和羧酸酐的至少一種，所述(a2)含有環(huán)氧基和氧雜環(huán)丁烷基的至少任意一個的不飽和化合物，所述(a3)選自丙烯酰基嗎啉和甲基丙烯?；鶈徇闹辽僖环N，所述(a4)與上述化合物(a1)、(a2)和(a3)的任意一個都不同且選自甲基丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸環(huán)烷基酯、丙烯酸烷基酯、丙烯酸環(huán)烷基酯、丙烯酸芳基酯、甲基丙烯酸芳基酯、不飽和二羧酸二酯、羥基甲基丙烯酸酯、羥基丙烯酸酯、二環(huán)不飽和化合物、馬來酰亞胺化合物、不飽和芳香族化合物、共軛二烯、具有四氫呋喃骨架的不飽和化合物、具有呋喃骨架的不飽和化合物、具有四氫吡喃骨架的不飽和化合物、具有吡喃骨架的不飽和化合物、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺和乙酸乙烯酯的至少一種其他不飽和化合物。2.權(quán)利要求1所述的放射線敏感性樹脂組合物，其用于形成層間絕緣膜。3.—種層間絕緣膜的形成方法，其特征在于，按照以下所述的順序包含以下工序(1)在基板上形成權(quán)利要求1所述的放射線敏感性樹脂組合物的涂膜的工序，(2)對該涂膜的至少一部分照射放射線的工序，(3)顯影工序，以及(4)力口熱工序。4.一種層間絕緣膜，其由權(quán)利要求3所述的方法形成。5.權(quán)利要求1所述的放射線敏感性樹脂組合物，其用于形成微透鏡。6.—種微透鏡的形成方法，其特征在于，按照以下所述的順序包含以下工序(1)在基板上形成權(quán)利要求1所述的放射線敏感性樹脂組合物的涂膜的工序，(2)對該涂膜的至少一部分照射放射線的工序,(3)顯影工序，以及(4)加熱工序。7.—種微透鏡，其由權(quán)利要求6的方法形成。全文摘要一種放射線敏感性樹脂組合物，其含有下述共聚物、和1，2-二疊氮醌化合物，所述共聚物是不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐、含有環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的至少一個的不飽和化合物、(甲基)丙烯?；鶈徇推渌伙柡突衔锏墓簿畚?。本發(fā)明提供放射線敏感性樹脂組合物，其具有高放射線敏感度，具有在顯影工序中即使超過最佳顯影時間仍可以形成良好的圖案形狀的顯影余量，可以容易地形成貼合性優(yōu)異的圖案狀薄膜。文檔編號G03F7/00GK101256360SQ20081008214公開日2008年9月3日申請日期2008年3月3日優(yōu)先權(quán)日2007年3月1日發(fā)明者濱田謙一,花村政曉,飯島孝浩申請人:Jsr株式會社