專利名稱：面板檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及 一 種平板顯示器制造領(lǐng)域用的面板檢測裝置。
技術(shù)背景通常，執(zhí)行完薄膜晶體管液晶顯示器面板組裝段(TFT-LCD cell)工序后，需利用面板檢測裝置(也稱，點燈測試機)來檢驗貼 合完成的液晶顯示面板的成像顯示狀況及是否有瑕瘋。執(zhí)行這 種檢測的基本步驟為將待測的液晶顯示面板精確定位，并設(shè)置 一個背光源(如燈箱)向該待測的液晶顯示面板提供照明光源；以 精細的探針組(Probe Unit)接觸該待測的液晶顯示面板上的各個 信號傳輸點；然后將各種需測試的顯示信號傳輸至液晶顯示面 +反，此工作過程即稱之為點燈或是點亮(Light-On);再由4企測人 員目測或自動監(jiān)測系纟充(AOI， Automated Optical Inspection System)來進行結(jié)果判讀，以；險定該液晶顯示面板是否有瑕瘋， 并判定其產(chǎn)品等級。面板檢測裝置以其工作端口 (Port)來區(qū)分，可分成單端口 (One port)及雙端口 (Two ports)等設(shè)計。其中，單端口設(shè)計是一 種相對較簡單的設(shè)計方式，液晶顯示面板的取放與檢測工作在 同 一 端口進行，因此單片檢測所需時間較長，生產(chǎn)效率較差。 對于雙端口設(shè)計，是指在面板檢測裝置上設(shè)置 一 個面板取放部 及 一 個面板檢測部，也即面板取放部與面板檢測部分離。該種 雙端口設(shè)計使得取放與檢測工作可分開并同時進行，從而可將 單片檢測所需時間縮短。如圖1所示， 一 種典型的雙端口設(shè)計之面板檢測裝置1 0包 栝 一 個本體1 2 ,設(shè)置在該本體1 2上的 一 個取放部20和 一 個 檢測部30, —個設(shè)置在取放部20的輔助臺50， 一個設(shè)置在檢 測部30的檢測臺32 ,以及傳送機構(gòu)60 。在該取放部20設(shè)置有 面板編碼讀取才莫組和面板電極清潔模組，及分另'J定位該面板編 碼讀取模組和面板電極清潔模組的第 一 定位機構(gòu)和第二定位機 構(gòu)。該面板編碼讀取模組利用第 一 定位機構(gòu)以定位其在待測的 液晶顯示面板上的位置，該面板電極清潔模組利用第二定位機 構(gòu)來定位其在待測的液晶顯示面板上的位置。該種雙端口設(shè)計 之面板檢測裝置的基本操作過程為將待測的液晶顯示面板放置在輔助臺50上；利用第 一 定位機構(gòu)定位該面板編碼讀取模組，該面板編碼讀取才莫組讀取待測的液晶顯示面板上的編碼(例如二維條碼)；利用第二定位機構(gòu)定位該面板電極清潔模組，以便 對待測的液晶顯示面板的電極進行清潔；待測的液晶顯示面板 通過所述傳送機構(gòu)60送至檢測臺32位置進行點燈測試；當(dāng)檢 測臺32上的液晶顯示面板祐:檢測完畢后，可由所述傳送機構(gòu)60 將其送回至輔助臺50 。反復(fù)進行如此步驟，可連續(xù)地進行液晶 顯示面板的檢測。然而，上述雙端口 i殳計之面板檢測裝置，因其面板編碼讀 取模組和面板電極清潔模組分別需要 一 個定位機構(gòu)以對其進行 定位，使得編碼讀取及電極清潔所用時間較長，導(dǎo)致整個檢測 過程用時較長，且兩個定位機構(gòu)占用空間較大，結(jié)構(gòu)排配也較 復(fù)雜，使得該種雙端口設(shè)計之面板檢測裝置的成本較高。發(fā)明內(nèi)容下面將以實施例說明 一 種面板檢測裝置，該面板檢測裝置 具有簡化的機構(gòu)設(shè)計，有利于其設(shè)備成本之降低。一種面板檢測裝置，用以對面板進行檢測，其包括取放部 及檢測部，該取放部設(shè)置有 一 個讀取清潔模組，該讀取清潔模 組包括 一 個讀取清潔單元，該讀取清潔單元包括 一 個編碼讀取 機構(gòu)及 一 個清潔機構(gòu)，該編碼讀取機構(gòu)用以讀取待測的面板上 的編碼，該清潔機構(gòu)用以清潔待測的面板上的金屬電極； 一 個 第 一 傳送機構(gòu)，其用以驅(qū)動該讀取清潔單元沿 一 第 一 方向運動；一個第二傳送機構(gòu)，其用以驅(qū)動該讀取清潔單元及該第 一 傳送 才幾構(gòu)沿一第二方向運動，該第二方向與該第一方向垂直。相對于現(xiàn)有技術(shù)，所述面板檢測裝置包括設(shè)置在取放部的 讀取清潔模組，該讀取清潔模組包括用以讀取待測的面板上的 編碼的編碼讀取機構(gòu)，用以清潔待測的面板的金屬電極上的臟 物的清潔機構(gòu)，用以驅(qū)動該編碼讀取 一幾構(gòu)和該清潔機構(gòu)移動的 第 一 傳送機構(gòu)和第二傳送機構(gòu)，通過該第 一 傳送機構(gòu)和該第二 傳送機構(gòu)可以驅(qū)動該編碼讀取機構(gòu)和該清潔機構(gòu)沿第 一 方向及 與該第 一 方向垂直的第二方向移動，從而該編碼讀取機構(gòu)和該 清潔才幾構(gòu)可以用同 一 組驅(qū)動機構(gòu)來移動定位。因此，該種面板 檢測裝置可達成簡化機械設(shè)計之目的，有利于其設(shè)備成本的降 低。


圖1是 一 種先前的面板檢測裝置的立體示意圖。圖2是本發(fā)明第一實施例提供的面板檢測裝置的立體示意圖。圖3是圖2中所示讀取清潔模組和定位基板的分解示意圖。 圖4及圖5是圖3中所示讀取清潔模組和定位基板的組裝 示意圖。圖6是圖2中所示面板檢測裝置收容在其取放部的機構(gòu)的 組裝示意圖。圖7是本發(fā)明第二實施例提供的面板檢測裝置中讀取清潔 模組和定位基板的組裝示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進 一 步的詳細說明。 請參見圖2 ，本發(fā)明實施例提供的面板檢測裝置100，其包 括 一 個本體1 1 0和設(shè)置在該本體1 1 0上的取放部1 20與檢測部 130。該取放部120設(shè)置有定位基板121,讀取清潔模組122， 預(yù)夾機構(gòu)123，主傳送機構(gòu)124。該檢測部130設(shè)置有檢測臺131 及檢觀'J機構(gòu)13 2。請同時參見圖3 、圖4及圖5 ,該讀取清潔模組1 22包括讀 取清潔單元1 40 ， 一用以驅(qū)動該讀取清潔單元1 40沿Y軸方向運 動的第 一 傳送機構(gòu)1 5 1 ， 一用以驅(qū)動該第 一 傳送機構(gòu)1 5 1與該讀 取清潔單元1 40沿X軸方向運動的第二傳送機構(gòu)15 2。該讀取清潔單元140包括編碼讀取機構(gòu)141，清潔機構(gòu)142， 旋轉(zhuǎn)4幾構(gòu)143及連接件144。該編碼讀取機構(gòu)141包括一組影像 傳感器(如CCD鏡頭)用以讀取待測的面板上的編碼(例如二維條 碼)。該清潔機構(gòu)142為接觸式清潔模組，該清潔機構(gòu)142包括 清潔單元1421、清潔機構(gòu)驅(qū)動器1422及清潔機構(gòu)收容器1423, 該清潔單元1421為裝設(shè)有清潔帶、清潔頭等清潔用具的模組， 該清潔機構(gòu)驅(qū)動器1422用以驅(qū)動該清潔單元142 1運動來清潔 待測的面板上的金屬電極，并將臟物收容在該清潔機構(gòu)收容器 1423。圖4中示出該清潔機構(gòu)1 42可沿X軸方向移動對待測的 面板上的金屬電極進行清潔處理。該旋轉(zhuǎn)機構(gòu) 143包括一固定 部1431和一旋轉(zhuǎn)部1432, 該旋轉(zhuǎn)才幾構(gòu)143的旋轉(zhuǎn)部1432轉(zhuǎn)動 來帶動該清潔機構(gòu)1 42轉(zhuǎn)動，例如轉(zhuǎn)動90度，改變該清潔機構(gòu) 142的移動方向使得該清潔機構(gòu)142可沿Y軸方向?qū)Υ郎y的面板 上的金屬電極進行清潔處理。該第 一 傳送機構(gòu)15 1包括 一 第 一 驅(qū)動器15 11及第 一 導(dǎo)引元 件15 12,該第一驅(qū)動器1511可為馬達，該第一導(dǎo)引元件1512 可為導(dǎo)軌。該讀取清潔單元140通過所述連接件144裝設(shè)在該 第 一 傳送機構(gòu)1 5 1上，即該連接件1 44與該第 一 驅(qū)動器1 5 11相 連，該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)1 43的固定部1 43 1及該編碼讀取機構(gòu)1 4 1與該 連4妄件144固定連接，該清潔4幾構(gòu)142與該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)143的旋 轉(zhuǎn)部143 2固定連接。該定位基板12 1 il置在該耳又》t部120并裝^:在該本體110 上，該定位基板121可作為該讀取清潔單元140的定位基準,. 該讀取清潔單元140組裝完畢后，可將該讀取清潔單元140裝 設(shè)在該第 一 傳送構(gòu)15 1上，再以該定位基板121為基準進行
校準即可直接組裝到該面板檢測裝置1 OO(見圖2)。該第二傳送機構(gòu)1 52包括第二驅(qū)動器1 52 1及第二導(dǎo)引元件 1 522,該第二驅(qū)動器1521可為馬達，該第二導(dǎo)引元件1 522可 為導(dǎo)軌。該第二導(dǎo)引元件1 522設(shè)置在該定位基板121上，該第 二驅(qū)動器1521與該第二導(dǎo)引元件1 522形成機械耦合，第 一 傳 送機構(gòu)151裝設(shè)在該第二傳送機構(gòu)152上以與該第二傳送機構(gòu) 152形成才幾才成耦合。由此可見，該讀取清潔單元140在該第 一 傳送4幾構(gòu)1 5 1和 第二傳送機構(gòu)1 52的驅(qū)動下可在該取放部1 20(見圖2)內(nèi)沿Y軸 方向及X軸方向運動從而準確定位。本發(fā)明第 一 實施例提供的讀取清潔單元140通過第 一 傳送 機構(gòu)151及第二傳送機構(gòu)15 2的移動定位將編碼讀取機構(gòu)141 設(shè)置在取放部120(見圖2)的待測的面板上的編碼處，對待測的 面板上的編碼進行讀取，再通過第一傳送機構(gòu) 151及第二傳送 機構(gòu)152將該清潔機構(gòu)142設(shè)置在待測的面板的金屬電極處， 對待測的面板的金屬電極進行清潔處理。由此可見，先通過該第 一 傳送機構(gòu) 15 1及該第二傳送機構(gòu) 1 52將該編碼讀取j幾構(gòu)1 4 1移動定4立 <吏該編碼讀耳又4幾構(gòu)141對4寺 測的面板進行編碼讀取，再通過該第 一 傳送機構(gòu) 151及第二傳 送機構(gòu)1 52將該清潔機構(gòu)1 42移動到待測的面板的金屬電極處， 由該清潔機構(gòu) 1 42對金屬電極進行清潔處理，從而使得該面板 檢測裝置100的機械結(jié)構(gòu)筒化，成本降低，縮短了對待測的面 板進行編碼讀取及電極清潔處理的時間，同時縮短整個檢測過 程的時間。另外，待測的面板的金屬電極的延伸方向可能平行于X軸 方向或Y軸方向，在本實施例中可以通過該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)143的旋 轉(zhuǎn)部1 432轉(zhuǎn)動來帶動該清潔機構(gòu)1 42轉(zhuǎn)動，以改變該清潔機構(gòu) 1 42的運動方向使該清潔單元1 40沿X軸方向或Y軸方向?qū)Υ?測的面板的金屬電極進行清潔處理。請參見圖6 ,該預(yù)夾機構(gòu)1 23包括 一 基座1 23 1用以承載面板， 及設(shè)置在該基座1231上的夾持指桿1232。該夾持指桿1232可沿 垂直于該基座123 1側(cè)邊的方向(即X軸方向或Y軸方向)移動以對 待測的面板進行夾持預(yù)定位。該預(yù)夾機構(gòu)123可沿Z軸方向作升降運動，將待測的面板輸 送至該主傳送機構(gòu)124,由該主傳送機構(gòu)124將該取放部120的待 檢測的面板傳送至該檢測部130。通常，該預(yù)夾機構(gòu)123的升降 運動的執(zhí)行可經(jīng)由設(shè)置在其基座1231底部的驅(qū)動源，如汽缸(圖 未示)來實施。該主傳送機構(gòu)124包括本體1241,第一夾持臂1242，第二夾 持臂1243，第一夾持臂滑軌1247，第二夾持臂滑軌1248及主傳 送機構(gòu)驅(qū)動器1249 。該第 一 夾持臂滑軌1247和第二夾持臂滑軌 1248設(shè)置在該本體1241上，該第 一 夾持臂1242與該第 一 夾持臂 滑軌1247滑動連接，該第二夾持臂1243與該第二夾持臂滑軌 1248滑動連接。該本體1241的兩個端部分別與相互平行的設(shè)置 在該取放部支架(圖未示)上的本體滑軌1246滑動連接，該主傳送 機構(gòu)驅(qū)動器1249可驅(qū)動該主傳送機構(gòu)124的本體1 24 l沿X軸方向 來回移動，從而可以驅(qū)動該第 一 夾持臂1242與該第二夾持臂 1243在取放部1 20與檢測部13O(見圖2)之間來回移動。該第 一 夾 持臂1242在第 一 夾持臂驅(qū)動器1244的驅(qū)動下，該第二夾持臂 1243在第二夾持臂驅(qū)動器1245的驅(qū)動下可沿Y軸方向以相互靠 近的方式對待檢測的面板進行夾持定位。該第 一 夾持臂1242 ， 該第二夾持臂1243及上述夾持指桿1232的協(xié)同作用可對面板進 行精確預(yù)夾持定位?？梢岳斫獾氖?，該主傳送4幾構(gòu)124也可為其它移送4幾構(gòu)，如 馬達與 一對移送螺桿的組合件。該本體1241的兩個端部分別與 該對移送螺桿機械耦合，經(jīng)由該移送螺桿的正反轉(zhuǎn)，可驅(qū)動該 第 一 夾持臂1242與該第二夾持臂1243在取放部120與檢測部 130(見圖2)之間來回移動。請參見圖2 ,該檢測臺13 1包括 一 基座1 3 11用以承載面板， 及設(shè)置在該基座1311上的夾持指桿1312,該夾持指桿1312用以
對待;險測的面板進行固持。所述檢測臺1 3 1可沿Z軸方向作升降運動，用以將接收該主傳送機構(gòu)1 24從取放部1 20傳送至該檢測 部1 3 0的待;險測的面板。該檢測臺1 3 1的升降運動的執(zhí)行可經(jīng)由 設(shè)置在其基座1 3 U底部的驅(qū)動源，如汽缸來實施。通常，在該檢測臺1 3 1的基座1 3 11的底部設(shè)置有 一 背光模 組，該背光模組用以在待測的面板的檢測期間向其提供照明光， 該照明光可透過所述檢測臺1 3 1的基座1 3 11照射由該檢測臺1 3 1 7fC載的待測的面板。可以理解的是，該檢測臺13 1也可采用其它方法，如真空 吸附方法對待測的面板進行固持；對應(yīng)的，可在基座1 3 1 1的頂 部設(shè)置吸附槽，可不用設(shè)置該夾持指桿1312。該檢測機構(gòu)1 3 2通常設(shè)置在檢測臺1 3 1的基座1 3 11的頂部。 該檢測機構(gòu)13 2包括 一 探針組13 21，該探針組13 21用以與待測 的面板上的金屬電極形成電接觸以向該待測的面板提供需測試 的顯示信號，來檢定該面板是否有顯示瑕瘋。請參見圖7 ，本發(fā)明第二實施例提供的面板檢測裝置，其與 上述第 一 實施例提供的面板檢測裝置1 00基本相同，不同之處如 下所述。本發(fā)明第二實施例提供的面板檢測裝置包括讀取清潔模組 222，該讀取清潔模組222包括讀取清潔單元240，第一傳送機構(gòu) 2 51，第二傳送機構(gòu)2 5 2 。該讀取清潔單元240包括編碼讀取機構(gòu)1 4 1 , 清潔機構(gòu)242及 連接件244 ，該編碼讀取機構(gòu)1 4 1及清潔機構(gòu)242均裝設(shè)在該連接 件244上，該清潔機構(gòu)242為非接觸式清潔機構(gòu)，例如采用吹氣、 超聲波等方式進行清潔的清潔機構(gòu)。該第 一 傳送機構(gòu)25 1包括第 一 驅(qū)動器25 11及第 一 導(dǎo)引元件 2512，該第 一驅(qū)動器251 1為 一 馬達，該第 一導(dǎo)引元件25 12為移 送螺桿，該第 一 傳送機構(gòu)25 1裝設(shè)在定位基板1 2 1上。該第二傳送機構(gòu)252包括承載板2525,第二驅(qū)動器252 l及第 二導(dǎo)引元件2522，該第二驅(qū)動器252 1為 一 馬達，該第二導(dǎo)引元 件2522為移送螺桿，該第二驅(qū)動器2521及第二導(dǎo)引元件2522裝 設(shè)在該承載板2525上，該承載板2525與該第 一 導(dǎo)引元件2512機 械耦合，該讀取清潔單元240的連接件244與該第二導(dǎo)引元件 2522機械耦合。該第 一 驅(qū)動器25 11可以驅(qū)動該第 一 導(dǎo)引元件25 1 2正反轉(zhuǎn)以 使該第二傳送機構(gòu)252及該讀取清潔單元240沿X軸方向運動，該 第二驅(qū)動器252 1可以驅(qū)動該第二導(dǎo)引元件2522正反轉(zhuǎn)以使該讀 取清潔單元240沿Y軸方向運動。本發(fā)明第二實施例提供的讀取清潔單元240可通過該第 一 傳 送才幾構(gòu)251和該第二傳送^L構(gòu)252在該取》丈部120(見圖2)沿X軸方 向及Y軸方向準確定位，先由該編碼讀取機構(gòu)141對待測的面板 進行編碼讀取，再由該清潔4幾構(gòu)242來清潔待測的面板的金屬電 極，從而使得本發(fā)明第二實施例提供的面板檢測裝置機械結(jié)構(gòu) 簡化。另外，本領(lǐng)域技術(shù)人員還可于本發(fā)明精神內(nèi)做其它變化，如 適當(dāng)改變第一傳送機構(gòu)，第二傳送機構(gòu)或讀取清潔單元中各元 件的機械結(jié)構(gòu)以用以本發(fā)明的設(shè)計，只要其不偏離本發(fā)明的技 術(shù)效果均可。這些依據(jù)本發(fā)明精神所做的變化，都應(yīng)包含在本 發(fā)明所要求保護的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1. 一種面板檢測裝置，用以對面板進行檢測，其包括取放部及檢測部，該取放部內(nèi)設(shè)置有一個讀取清潔模組，其特征在于該讀取清潔模組包括一個讀取清潔單元，該讀取清潔單元包括一個編碼讀取機構(gòu)及一個清潔機構(gòu)，該編碼讀取機構(gòu)用以讀取待測的面板上的編碼，該清潔機構(gòu)用以清潔待測的面板上的金屬電極；一個第一傳送機構(gòu)，其用以驅(qū)動該讀取清潔單元沿一第一方向運動；一個第二傳送機構(gòu)，其用以驅(qū)動該讀取清潔單元及該第一傳送機構(gòu)沿一第二方向運動，該第二方向與該第一方向垂直。
2. 如權(quán)利要求1所述的面板檢測裝置，其特征在于該第一傳送 機構(gòu)包括第 一 驅(qū)動器及第 一 導(dǎo)引元件，該第 一 導(dǎo)引元件沿所述第 一方向延伸，該讀取清潔單元與該第一導(dǎo)引元件機械耦合，該第 一驅(qū)動器用以驅(qū)動該讀取清潔單元沿該第一導(dǎo)引元件的延伸方向 運動。
3. 如權(quán)利要求2所述的面板檢測裝置，其特征在于該第二傳送 機構(gòu)包括第二驅(qū)動器及第二導(dǎo)引元件，該第二導(dǎo)引元件沿所述第 二方向延伸，該第 一傳送機構(gòu)的兩端與該第二導(dǎo)引元件機械耦合， 該第二驅(qū)動器用以驅(qū)動該第一傳送機構(gòu)沿該第二導(dǎo)引元件的延伸 方向運動。
4. 如權(quán)利要求3所述的面板檢測裝置，其特征在于該第一驅(qū)動 器和該第二驅(qū)動器為馬達。
5. 如權(quán)利要求3所述的面板檢測裝置，其特征在于該第一導(dǎo)引 元件和該第二導(dǎo)引元件為導(dǎo)軌或螺桿。
6. 如權(quán)利要求1至3任意一項所述的面板檢測裝置，其特征在于 該清潔機構(gòu)為非接觸式清潔模組，其用以利用吹氣或超聲波的方 式對待測的面板上的金屬電極進行清潔。
7. 如權(quán)利要求1至3 4壬意一項所述的面^反;險測裝置，其特4正在于該讀取清潔單元還包括 一 連接件及 一 旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，該讀取清潔單元 通過該連接件裝設(shè)在該第一傳送機構(gòu)上，該編碼讀取機構(gòu)裝設(shè)在 該連接件上，該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括一固定部和一旋轉(zhuǎn)部，該固定部與 該連接件相連接，該旋轉(zhuǎn)部與該清潔機構(gòu)相連接，該旋轉(zhuǎn)部用以 帶動該清潔機構(gòu)轉(zhuǎn)動。
8. 如權(quán)利要求7所述的面板檢測裝置，其特征在于該清潔機構(gòu) 為接觸式清潔模組，該清潔機構(gòu)包括清潔單元、清潔機構(gòu)驅(qū)動器 及清潔機構(gòu)收容器，該清潔機構(gòu)驅(qū)動器用以驅(qū)動該清潔單元運動 以清潔待測的面板上的金屬電極，該清潔機構(gòu)收容器用以收容金 屬電極上的臟物。
9. 如權(quán)利要求1所述的面板檢測裝置，其特征在于該編碼讀取 機構(gòu)包括影像傳感器。
10. 如權(quán)利要求1所述的面板檢測裝置，其特征在于該面板檢測 裝置還包括設(shè)置在該取放部的預(yù)夾機構(gòu)、主傳送機構(gòu)，設(shè)置在檢 測部的4企測臺、4全測機構(gòu)，該預(yù)夾機構(gòu)用以對裝載在該取放部的 待測的面板進行夾持定位，該主傳送機構(gòu)用以將該預(yù)夾機構(gòu)上的 待檢測的面板傳送至該檢測部，該檢測臺用以接收由該主傳送機 構(gòu)傳送至該檢測部的待檢測的面板，該檢測機構(gòu)用以檢測該檢測 臺上的待檢測的面板。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種平板顯示器制造領(lǐng)域用的面板檢測裝置。該面板檢測裝置包括取放部及檢測部，該取放部設(shè)置有一個讀取清潔模組，該讀取清潔模組包括一個讀取清潔單元，該讀取清潔單元包括一個編碼讀取機構(gòu)及一個清潔機構(gòu)，該編碼讀取機構(gòu)用以讀取待測的面板上的編碼，該清潔機構(gòu)用以清潔待測的面板上的金屬電極；一個第一傳送機構(gòu)，其用以驅(qū)動該讀取清潔單元沿一第一方向運動；一個第二傳送機構(gòu)，其用以驅(qū)動該讀取清潔單元及該第一傳送機構(gòu)沿一第二方向運動，該第二方向與該第一方向垂直。
文檔編號G02F1/13GK101211021SQ20061015777
公開日2008年7月2日 申請日期2006年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月27日
發(fā)明者伍家賢, 蔡升富, 邱義君, 黃俊凱 申請人:富士邁半導(dǎo)體精密工業(yè)(上海)有限公司;沛鑫半導(dǎo)體工業(yè)股份有限公司