印刷用掩膜以及使用該掩膜的印刷方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在被印刷物印刷圖案的掩膜以及使用該掩膜的印刷方法，詳細(xì)而言，涉及一種通過(guò)形成掩膜基材與保持部件的層疊構(gòu)造，來(lái)抑制圖案的錯(cuò)位、變形的印刷用掩膜以及使用該掩膜的印刷方法。
【背景技術(shù)】
[0002]以往的印刷用絲網(wǎng)掩模成為例如在鋪絲于網(wǎng)板版框的網(wǎng)板篩網(wǎng)上形成抗蝕劑圖案的結(jié)構(gòu)。網(wǎng)板篩網(wǎng)的材料能夠使用絲、尼龍、聚酯等樹脂纖維、不銹鋼篩網(wǎng)等。抗蝕劑圖案在網(wǎng)板篩網(wǎng)涂覆感光乳劑并使之干燥而形成感光膜后，使光掩模密接于該感光膜，并進(jìn)行曝光、顯影而形成。
[0003]在印刷時(shí)，使拉伸設(shè)置于網(wǎng)板版框的絲網(wǎng)掩模在印刷面上分離微小的距離來(lái)設(shè)置，向該絲網(wǎng)掩模上供給墨水(或是漿)。然后，邊通過(guò)刮板的壓力將絲網(wǎng)掩模按壓于印刷面，邊從絲網(wǎng)掩模的開口部將墨水推出到印刷面上，從而將圖案轉(zhuǎn)印到印刷面上(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。
[0004]專利文獻(xiàn)1:日本特開平9-216330號(hào)公報(bào)
[0005]然而，在上述以往的印刷用掩膜以及印刷方法中，存在因通過(guò)刮板延展墨水時(shí)所施加的壓力，使抗蝕劑圖案偏移、變形而影響圖案精度的問(wèn)題。特別是，細(xì)長(zhǎng)的直線狀的配線以窄間距配置的圖案等中，抗蝕劑圖案容易在與配線的延設(shè)方向正交的橫向偏移、變形，從而圖案精度的降低變得顯著。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]因此，為應(yīng)對(duì)這樣的問(wèn)題點(diǎn)，本發(fā)明所要解決的課題在于提供一種通過(guò)形成掩膜基材與保持部件的層疊構(gòu)造，來(lái)抑制圖案的錯(cuò)位、變形的印刷用掩膜以及使用該掩膜的印刷方法。
[0007]為了解決上述課題，本發(fā)明的印刷用掩膜的特征在于，具備:掩膜基材，其具有形成于印刷面?zhèn)炔⑴c待印刷的圖案相對(duì)應(yīng)的印刷槽圖案、與貫通于該印刷槽圖案的底面且內(nèi)徑小于其底面寬度的貫通孔；以及保持部件，其層疊于上述掩膜基材并具有經(jīng)由上述掩膜基材的貫通孔而與上述印刷槽圖案內(nèi)連通以填充轉(zhuǎn)印材料的開口圖案，上述印刷槽圖案在上述貫通孔以外的周邊區(qū)域連接。
[0008]另外，上述貫通孔也可以在上述印刷槽圖案的底面設(shè)置有多個(gè)。
[0009]另外，上述掩膜基材也可以由樹脂膜構(gòu)成，上述保持部件由片狀且上述開口圖案在長(zhǎng)邊方向以及短邊方向的至少一方以規(guī)定間距形成的磁性金屬材料構(gòu)成。
[0010]再者，也可以還具備制版框，其包圍上述掩膜基材與上述保持部件的周圍而拉伸設(shè)置上述掩膜基材與上述保持部件。
[0011]為了解決上述課題，本發(fā)明的印刷方法使用印刷用掩膜來(lái)進(jìn)行印刷，上述印刷用掩膜具備:掩膜基材，其具有形成于印刷面?zhèn)炔⑴c待印刷的圖案相對(duì)應(yīng)的印刷槽圖案、與貫通于該印刷槽圖案的底面且內(nèi)徑小于其底面寬度的貫通孔；以及保持部件，其層疊于上述掩膜基材并具有經(jīng)由上述掩膜基材的貫通孔而與上述印刷槽圖案內(nèi)連通以填充轉(zhuǎn)印材料的開口圖案，上述印刷槽圖案在上述貫通孔以外的周邊區(qū)域連接，上述印刷方法包括:在被印刷物的印刷面上配置并固定上述印刷用掩膜的印刷面的工序、在上述保持部件涂覆轉(zhuǎn)印材料并從上述保持部件的開口圖案經(jīng)由上述掩膜基材的貫通孔向上述印刷槽圖案內(nèi)填充轉(zhuǎn)印材料的工序、使上述掩膜基材的印刷槽圖案內(nèi)的轉(zhuǎn)印材料覆蓋于上述被印刷物而轉(zhuǎn)印圖案的工序、以及將上述印刷用掩膜從上述被印刷物剝離的工序。
[0012]另外，上述保持部件也可以由片狀的磁性金屬材料構(gòu)成，配置并固定上述印刷用掩膜的印刷面的工序從與上述被印刷物的印刷面相反的一側(cè)由磁力吸引并固定。
[0013]另外，上述轉(zhuǎn)印材料也可以包括光致抗蝕劑，在上述被印刷物印刷形成光致抗蝕劑的圖案。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的印刷用掩膜，形成具有印刷槽圖案以及貫通孔的掩膜基材與具有開口圖案的保持部件的層疊構(gòu)造，上述印刷槽圖案在貫通孔以外的周邊區(qū)域連接，從而能夠抑制形成于掩膜基材的印刷槽圖案的錯(cuò)位、變形。
[0015]另外，根據(jù)本發(fā)明的印刷方法，在涂覆、填充轉(zhuǎn)印材料的工序中，印刷槽圖案在貫通孔以外的周邊區(qū)域連接，從而能夠抑制因通過(guò)刮板延展轉(zhuǎn)印材料時(shí)所施加的壓力，使形成于掩膜基材的印刷槽圖案錯(cuò)位、變形。因此，即使是細(xì)微接近的圖案，也能夠減少印刷后的圖案的錯(cuò)位、變形，而進(jìn)行圖案精度較高的印刷。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是表示本發(fā)明的印刷用掩膜的實(shí)施方式的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0017]圖2A放大顯示圖1所示的印刷用掩膜的一部分的區(qū)域，是一部分區(qū)域的俯視圖。
[0018]圖2B放大顯示圖1所示的印刷用掩膜的一部分的區(qū)域，是沿著圖2A的Χ1-ΧΓ線的剖視圖。
[0019]圖2C放大顯示圖1所示的印刷用掩膜的一部分的區(qū)域，是沿著圖2A的X2-X2’線的剖視圖。
[0020]圖3A表示使用本發(fā)明的印刷用掩膜的印刷方法，是表示墨水的涂覆工序的立體圖。
[0021]圖3B表示使用本發(fā)明的印刷用掩膜的印刷方法，是沿著圖3A的Y-Y’線的放大剖視圖。
[0022]圖4A表示使用本發(fā)明的印刷用掩膜的印刷方法，是表示將印刷用掩膜從被印刷物剝離的工序的立體圖。
[0023]圖4B表示使用本發(fā)明的印刷用掩膜的印刷方法，是沿著圖4A的Ζ1-ΖΓ線的印刷用掩膜的放大剖視圖。
[0024]圖4C表示使用本發(fā)明的印刷用掩膜的印刷方法，是沿著圖4A的Z2-Z2’線的被印刷物的放大剖視圖。
[0025]圖5是表示保持部件的開口圖案的其他構(gòu)成例的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0026]以下，基于附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
[0027]圖1是表示本發(fā)明的印刷用掩膜的實(shí)施方式的圖。該印刷用掩膜在印刷面轉(zhuǎn)印并印刷作為轉(zhuǎn)印材料的墨水(或者漿、光致抗蝕劑等)的圖案，構(gòu)成為具備復(fù)合掩膜1與金屬框(制版框)2。復(fù)合掩膜1拉伸設(shè)置于方形的金屬框2的內(nèi)側(cè)，以施加張力的狀態(tài)被保持。
[0028]在圖2A、圖2B以及圖2C中，上述復(fù)合掩膜1如放大表示由圖1的點(diǎn)劃線包圍的區(qū)域100那樣，成為層疊了作為掩膜基材的樹脂膜4與保持部件3的復(fù)合構(gòu)造。在樹脂膜4的印刷面(下表面)側(cè)形成有與待印刷的圖案相對(duì)應(yīng)的印刷槽圖案4a。另外，在印刷槽圖案4a的底面形成有貫通孔4b。該樹脂膜4的厚度例如為12μπι?24μπι左右。另外，在本例子中，多個(gè)直線狀的印刷槽圖案4a鄰接配置。
[0029]在上述樹脂膜4的印刷面的上表面?zhèn)仍O(shè)置有由片狀的磁性金屬材料構(gòu)成的保持部件3，其具有在短邊方向以恒定間距配置的狹縫狀的開口圖案3a。該保持部件3在印刷時(shí)用于通過(guò)磁力保持并固定復(fù)合掩膜1，能夠通過(guò)磁力保持的厚度例如為30μπι左右。保持部件3的開口圖案3a經(jīng)由貫通孔4b與印刷槽圖案4a連通。該貫通孔4b的內(nèi)徑小于印刷槽圖案4a的底面寬度以及開口圖案3a的內(nèi)徑，開口圖案3a與印刷槽圖案4a之間經(jīng)由一個(gè)或者多個(gè)貫通孔4b連通。
[0030]這里，如圖2C所示，在本發(fā)明中，上述復(fù)合掩膜1在與圖2B不同的區(qū)域中，在印刷槽圖案4a的底面的貫通孔4b以外的周邊區(qū)域(鄰接的貫通孔4b之間的區(qū)域)4c連接。
[0031]g卩，掩膜基材4的貫通孔4b使開口圖案3a與印刷槽圖案4a連通，從而供涂覆于保持部件3的墨水從開口圖案3a經(jīng)由貫通孔4b填充于印刷槽圖案4a內(nèi)的方式發(fā)揮作用。另外，通過(guò)貫通孔4b以外的周邊區(qū)域4c連接，以抑制鄰接的印刷槽圖案4a的偏移、變形的方式發(fā)揮作用。
[0032]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的印刷用掩膜，由于鄰接的印刷槽圖案4a在印刷槽圖案4a的底面的貫通孔4b以外的周邊區(qū)域4c連接，因此能夠抑制印刷槽圖案4a的錯(cuò)位、變形。例如，即使是直線狀的較長(zhǎng)的配線等