專利名稱：一種快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種印刷成膜エ藝，尤其涉及ー種將線形納米導(dǎo)電材料的懸濁液直接印刷成圖案，形成高透光性導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的エ藝。
背景技術(shù)：
隨著電子產(chǎn)品應(yīng)用范圍的不斷擴(kuò)展，高透光性導(dǎo)電材料的需求也逐漸增加，在發(fā)光、顯示、觸摸屏、隱形天線領(lǐng)域均有重要的應(yīng)用。傳統(tǒng)的高透光性導(dǎo)電材料主要是金屬氧化物類的導(dǎo)電材料如氧化銦錫(ITO)，但這類材料存在著加工處理溫度高、不容易實(shí)現(xiàn)柔性化等不足，阻礙了電子產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一歩發(fā)展。學(xué)術(shù)界與產(chǎn)業(yè)界都對(duì)研究開發(fā)新型高透光性導(dǎo)電材料投入了較大的人力和財(cái)力，其中利用線形納米導(dǎo)電材料如納米銀線、碳納米管等材料構(gòu)成高透光性導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)吸引了廣泛的關(guān)注。這類導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)具有透光性好、電導(dǎo)率高、柔性效果好的優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)有不少相關(guān)的研究報(bào)道，該領(lǐng)域的很多技術(shù)也已經(jīng)申請(qǐng)專利。然而，目前這類高透光性導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的加工主要采用整體成膜的方法，而不能直接形成圖案。在電子行業(yè)的應(yīng)用中，高透光性的導(dǎo)電材料通常需要制成電極等特定的圖案，因此需要額外的圖案化工藝如蝕刻操作來獲得理想的導(dǎo)電材料圖案，生產(chǎn)成本也相應(yīng)提高。這類含有線形納米導(dǎo)電材料的懸濁液實(shí)現(xiàn)直接印刷的難點(diǎn)主要集中在粘度低和固體顆粒大兩個(gè)方面。一方面，這類懸濁液為了獲得理想的網(wǎng)絡(luò)狀成膜效果，濃度通常較低而且不會(huì)添加樹脂等填充成分，因此很多懸濁液的粘度在20cP以下，不適合絲網(wǎng)印刷等傳統(tǒng)印刷工藝。另ー方面，為獲得理想的高透光性導(dǎo)電效果，懸濁液中線狀材料的長(zhǎng)度通常較大，噴墨打印該類材料很容易造成噴嘴堵塞。雖然也有利用聚ニ甲基硅氧烷(PDMS)轉(zhuǎn)印的方法實(shí)現(xiàn)線狀材料圖案化的報(bào)道，但生產(chǎn)效率依然低下，僅適合在實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行個(gè)別樣品的制備。其次，作為經(jīng)典的印刷工藝，凹版印刷具有速度快、粘度要求低、印刷質(zhì)量好的特點(diǎn)，在印刷法生產(chǎn)電子產(chǎn)品的研究中得到了重視。但目前凹版印刷所印刷的圖案都是實(shí)心圖案，印刷形成空心網(wǎng)絡(luò)在技術(shù)上仍然有很多挑戰(zhàn)，包括油墨中添加材料的限制、線形納米導(dǎo)電材料的分布控制，以及溶劑的揮發(fā)度等，另外，目前凹版印刷主要用于印刷IOOcP以上粘度的各種油墨。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)上述制備導(dǎo)電圖案方法上的不足，提出了一種新的快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法，采用包含線形納米材料的懸濁液作為印刷材料，通過若干次的凹版印刷技術(shù)將包含所述線形納米材料的懸濁液凹版印刷至襯底表面，形成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，其中，線形納米材料包括線形納米導(dǎo)電材料，所述線形納米導(dǎo)電材料的分散濃度為0.1-10毫克/毫升。其中，所述線形納米導(dǎo)電材料的截面直徑或者對(duì)角線小于I微米，長(zhǎng)度大于或等于其截面直徑或者對(duì)角線長(zhǎng)度的5倍。其中，所述線形納米導(dǎo)電材料包括金屬納米線或者碳納米管。
其中，添加輔助導(dǎo)電材料于所述包含線形納米導(dǎo)電材料的懸濁液中，其中，懸濁液的粘度小于lOOcP。其中，所述懸濁液的溶劑包括水、醇類、酯類中的至少ー種。其中，所述襯底為柔性襯底材料。其中，所述柔性襯底材料包括聚合物、紙、柔性玻璃及柔性金屬箔片中的至少ー種。
其中，所述凹版印刷技術(shù)中采用的印版類型包括平面狀或者輥狀。本發(fā)明公開的直接印刷含有線形納米材料的懸濁液形成高透光性導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)圖案的方法。利用凹版印刷エ藝將含有線形納米導(dǎo)電材料的低粘度懸濁液印刷到柔性襯底上，可以直接形成具有精確圖案的高透光性導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。凹版印刷工藝不僅可以將含有線形納米材料的懸濁液直接實(shí)現(xiàn)精確圖案化，エ藝本身還具有高速度、高質(zhì)量、厚度可控的特點(diǎn)，因此實(shí)施本發(fā)明可以改變目前這類高透光性網(wǎng)絡(luò)狀導(dǎo)電薄膜的生產(chǎn)不能直接形成圖案的現(xiàn)狀，避免了額外的后期圖案化蝕刻エ序，有利于簡(jiǎn)化電子產(chǎn)品的生產(chǎn)エ藝，降低成本。


圖I為本發(fā)明實(shí)施例I的銀納米線所組成的網(wǎng)絡(luò)狀高透光性導(dǎo)電薄膜的微觀結(jié)構(gòu)照片。圖2為本發(fā)明實(shí)施例2的凹版印刷的矩形圖案的示意圖。圖3為本發(fā)明實(shí)施例5中碳納米管所組成的網(wǎng)絡(luò)狀高透光性導(dǎo)電薄膜的微觀結(jié)構(gòu)照片。
具體實(shí)施例方式下面參照附圖，結(jié)合具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)ー步詳細(xì)說明。實(shí)施例I本實(shí)施例提供的快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法為將長(zhǎng)度為20-80微米、直徑為50-120納米的銀納米線分散到醇類溶劑中，本實(shí)施例的醇類溶劑為こ醇溶劑，配制成含有銀納米線的こ醇懸濁液，分散濃度為O. I毫克/毫升。將懸濁液超聲分散2分鐘以輔助銀納米線分散，分散均勻后的懸濁液粘度約為2cP。選取500毫米寬、125微米厚度的聚對(duì)苯ニ甲酸こニ酯(PET)透明薄膜，揭去薄膜上層的保護(hù)膜，利用凹版印刷設(shè)備在PET表面印刷銀納米線的こ醇懸濁液。其中凹版印輥為銅鉻結(jié)構(gòu)，印輥上的圖案部分為2X3厘米的矩形陣列，圖案間的間隔為2厘米。圖案由電子雕刻機(jī)加工的菱形網(wǎng)穴組成，分辨率為80-160線/厘米。凹版印刷的速度為25-80米/分鐘，高透光性導(dǎo)電圖案視情況印刷10-20層。參見圖1，為銀納米線所組成的網(wǎng)絡(luò)狀高透光性導(dǎo)電薄膜的照片圖。由于懸濁液中未添加聚合物類填充材料，凹版印刷獲得的圖案在こ醇溶劑揮發(fā)后只剩下由銀納米線組成的高透光性導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)狀薄膜。在扣除PET襯底的透光性損失后，銀納米線組成的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)狀薄膜在380-800納米波長(zhǎng)范圍內(nèi)的透光性測(cè)量結(jié)果為92% -96%，四點(diǎn)法測(cè)量換算的方塊電阻值在50-400 Ω/ ロ。實(shí)施例2
本實(shí)施例提供的快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法為將長(zhǎng)度為5-20微米的銀納米線分散到水こ醇混合溶劑中，配制成含有銀納米線的懸濁液。其中銀納米線的截面為不規(guī)則多邊形，截面的對(duì)角線范圍在40-80納米，銀納米線的分散濃度在10毫克/毫升范圍內(nèi)。將懸濁液超聲分散30分鐘以輔助銀納米線分散，分散均勻后的懸濁液粘度約為5cP。選取150毫米寬、150微米厚度的聚對(duì)苯ニ甲酸こニ酯(PET)高透光性薄膜，揭去薄膜上層的保護(hù)膜，然后利用凹版印刷設(shè)備在PC薄膜表面印刷配制好的懸濁液。參見圖2，凹印版為平面結(jié)構(gòu)，其中，21為圖案中較厚的部分，22部分為圖案中較薄的部分，版上的圖案部分為單個(gè)IOX 16厘米的矩形。凹印圖案由激光雕刻機(jī)加工的圓形網(wǎng)穴組成，分辨率為160-300線/厘米。為了在矩形圖案中獲得兩種不同的銀納米線薄膜厚度，網(wǎng)穴分為兩部分，一部分的網(wǎng)穴深度4-8微米，另一部分網(wǎng)穴的深度為12-20微米。凹版印刷的速度為25-40米/分鐘，高透光性導(dǎo)電圖案視情況印刷1-10層凹版印刷獲得的圖案化高透光性導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)狀薄膜，其中銀納米線網(wǎng)絡(luò)是導(dǎo)電的主體，分為厚、薄兩部分。在扣除PET襯底的透光性損失后，銀納米線組成的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)狀薄膜比較厚的部分在380-800納米波長(zhǎng)范圍內(nèi)的透光性測(cè)量結(jié)果為88% -94%，四點(diǎn)法測(cè)量換算的方塊電阻值在10-100 Ω/ □范圍內(nèi)；而比較薄的部分在380-800納米波長(zhǎng)范圍內(nèi)的透光性則為91% -96%，方塊電阻值在200-500 Ω/ □范圍內(nèi)。實(shí)施例3本實(shí)施例提供的快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法為將長(zhǎng)度為10-60微米、直徑為40-90納米的銀納米線分散到水中，并加入商品化的聚(3，4_こ烯ニ氧噻吩)_聚苯こ烯磺酸(Pedot:Pss)水溶液,配制成含有銀納米線以及Pedot:Pss聚合物成分的水基懸池液。其中銀納米線的分散濃度為5毫克/毫升，PedotiPss成分的濃度為2-5毫克/毫升。將懸濁液超聲分散5分鐘以輔助銀納米線分散，分散均勻后的懸濁液粘度在約5cP。選取145毫米寬、100微米厚度的柔性玻璃，并對(duì)待印的玻璃表面作大氣等離子處理使其更加親水化，然后利用凹版印刷設(shè)備在柔性玻璃表面印刷配制好的懸濁液。其中凹印版為平面結(jié)構(gòu)，版上的圖案部分為1X2厘米的矩形陣列，圖案間的間隔為I厘米。凹印圖案由激光雕刻機(jī)加工的圓形網(wǎng)穴組成，分辨率為120-300線/厘米，網(wǎng)穴深度4-10微米。凹版印刷的速度為25-40米/分鐘，高透光性導(dǎo)電圖案視情況印刷1-10層。毎次凹版印刷后的圖案在100°C的環(huán)境下烘烤2-5分鐘。凹版印刷獲得的圖案在水揮發(fā)后剩下由銀納米線和Pedot = Pss成分組成的高透光性導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)狀薄膜，其中銀納米線網(wǎng)絡(luò)是導(dǎo)電的主體。在扣除柔性玻璃襯底的透光性損失后，銀納米線和和Pedot = Pss組成的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)狀薄膜在380-800納米波長(zhǎng)范圍內(nèi)的透光性測(cè)量結(jié)果為85% -92%，四點(diǎn)法測(cè)量換算的方塊電阻值在20-100Ω/ □范圍內(nèi)。實(shí)施例4本實(shí)施例提供的快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法為將長(zhǎng)度為O. 2-8微米、直徑為20-60納米的金納米線分散到こ酸こ酯-こ醇混合溶劑中，配制成含有金納米線的懸濁液，其中金納米線的分散濃度在3暈克/暈升范圍內(nèi)。將懸池液超聲分散5-30分鐘以輔助金納米線分散，分散均勻后的懸濁液粘度在3cP之間。選取150毫米寬、150微米厚度的聚碳酸酯(PC)高透光性薄膜，揭去薄膜上層的保護(hù)膜，然后利用凹版印刷設(shè)備在PC薄膜表面印刷配制好的懸濁液。其中凹印版為平面結(jié)構(gòu)，版上的圖案部分為單個(gè)8X12厘米的矩形。凹印圖案由電子雕刻機(jī)加工的菱形網(wǎng)穴組成，分辨率為80-210線/厘米。凹版印刷的速度為32-60米/分鐘，高透光性導(dǎo)電圖案視情況印刷1-20層。凹版印刷獲得的圖案化高透光性導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)狀薄膜，其中金納米線所構(gòu)成的網(wǎng)絡(luò)是導(dǎo)電的主體。在扣除PC襯底的透光性損失后，金納米線組成的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)狀薄膜在380-800納米波長(zhǎng)范圍內(nèi)的透光性測(cè)量結(jié)果為83% -92%，四點(diǎn)法測(cè)量換算的方塊電阻值在500-4000 Ω / □范圍內(nèi)。實(shí)施例5本實(shí)施例提供的快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法為將長(zhǎng)度為O. 5-15微米、直徑為80-200納米的金屬性碳納米管分散到水こ醇混合溶劑中，配制成含有碳納米管的懸濁液，分散濃度為2毫克/毫升，并加入約2-6毫克/毫升的十二烷基硫酸鈉作為穩(wěn)定劑。將懸濁液超聲分散20分鐘以輔助碳納米管分散，分散均勻后的懸濁液粘度約為3cP。 選取500毫米寬、150微米厚度的聚碳酸酯(PC)高透光性薄膜，揭去薄膜上層的保護(hù)膜，利用凹版印刷設(shè)備在PC表面印刷含有碳納米管的懸濁液。其中凹版印輥為銅鉻結(jié)構(gòu)，印輥上的圖案部分為2X3厘米的矩形陣列，圖案間的間隔為2厘米。圖案由電子雕刻機(jī)加工的菱形網(wǎng)穴組成，分辨率為80-160線/厘米。凹版印刷的速度為25-60米/分鐘，高透光性導(dǎo)電圖案視情況印刷1-20層。參見圖3，碳納米管所組成的網(wǎng)絡(luò)狀高透光性導(dǎo)電薄膜的微觀結(jié)構(gòu)照片。凹版印刷獲得的圖案在溶劑干燥后用去離子水清洗，去除大部分SDS后獲得由碳納米管組成的高透光性導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)狀薄膜。在扣除PC襯底的透光性損失后，碳納米管組成的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)狀薄膜在380-800納米波長(zhǎng)范圍內(nèi)的透光性測(cè)量結(jié)果為89% -95%，四點(diǎn)法測(cè)量換算的方塊電阻值在50-1000 Ω/ □范圍內(nèi)。實(shí)施例6本實(shí)施例提供的快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法為將金屬性碳納米管和銀納米線分散到水こ醇混合溶劑中，其中，金屬性碳納米管的長(zhǎng)度為O. 5-10微米、直徑為80-160納米、濃度2毫克/毫升，銀納米線的長(zhǎng)度為2-30微米、不規(guī)則多邊形截面的對(duì)角線范圍在120-200納米、濃度I毫克/毫升，配制成含有碳納米管和銀納米線的懸濁液，并加入約4-6毫克/毫升的十二烷基硫酸鈉(SDS)作為穩(wěn)定劑。將懸濁液超聲分散30分鐘以輔助其中的導(dǎo)電材料分散，分散均勻后的懸濁液粘度約為5cP。選取500毫米寬、150微米厚度的聚碳酸酯(PC)高透光性薄膜，先在薄膜上均勻涂覆200納米厚的聚甲基苯甲酸甲酯(PMMA)，并進(jìn)行大氣等離子處理3-5分鐘使其親水化。然后利用凹版印刷設(shè)備在該雙層襯底的表面上印刷含有碳納米管的懸濁液。其中凹版印輥為銅鉻結(jié)構(gòu)，印輥上的圖案部分為15X30毫米的矩形陣列，圖案間的間隔為15毫米。圖案由電子雕刻機(jī)加工的菱形網(wǎng)穴組成，分辨率為80-140線/厘米。凹版印刷的速度為40-60米/分鐘，高透光性導(dǎo)電圖案視情況印刷1-20層。凹版印刷獲得的圖案在溶劑干燥后用去離子水浸泡O. 5-3分鐘后取出，去除大部分SDS后獲得由碳納米管和銀納米線聯(lián)合組成的高透光性導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)狀薄膜。在扣除雙層襯底的透光性損失后，碳納米管組成的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)狀薄膜在380-800納米波長(zhǎng)范圍內(nèi)的透光性測(cè)量結(jié)果為89% -93%，四點(diǎn)法測(cè)量換算的方塊電阻值在50-200Ω/ □范圍內(nèi)。
實(shí)施例7本實(shí)施例提供的快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法為將長(zhǎng)度為20-80微米、直徑為50-120納米的銀納米線分散到こ醇溶劑中，配制成含有銀納米線的こ醇懸濁液，分散濃度為I毫克/毫升。將懸濁液超聲分散2分鐘以輔助銀納米線分散，分散均勻后的懸濁液粘度約為lcP。取210毫米長(zhǎng)、120毫米寬、100微米厚度的聚酰亞胺(PI)高耐熱薄膜，預(yù)先在薄膜上沉積銀電極、聚(3，4_こ烯ニ氧噻吩)_聚苯こ烯磺酸(Pedot = Pss)、以及聚三己烷基噻吩_(6，6)_苯基-C61 丁酸甲酯(P3HT:PCBM)雜化材料層，然后利用凹版印刷設(shè)備在PET表面印刷配制好的懸濁液。其中凹印版為平面結(jié)構(gòu)，版上的圖案部分為40X110毫米的矩形陣列，圖案間的間隔為10毫米。凹印圖案由電子雕刻機(jī)加工的菱形網(wǎng)穴組成，分辨率為80-160線/厘米。凹版印刷的速度為32-60米/分鐘，高透光性導(dǎo)電圖案視情況印刷5_20層。所得器件可作為聚合物太陽能電池，凹版印刷獲得的圖案在其中承擔(dān)陰極(低功 函數(shù)電極)的作用。實(shí)驗(yàn)獲得的太陽能電池轉(zhuǎn)換效率在1.0%-I. 5%之間。綜上所述，制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法中，所述襯底的材料不僅可為聚對(duì)苯ニ甲酸こニ酯(PET)透明薄膜、柔性玻璃、聚碳酸酯(PC)高透光性薄膜、聚酰亞胺(PI)高耐熱薄膜，還可為紙、柔性金屬箔片，也可為聚合物、紙、柔性玻璃及柔性金屬箔片中的至少兩種材料的混合物，但方法步驟類似，實(shí)施的技術(shù)效果基本相同，在此不再贅述。本發(fā)明公開的直接印刷含有線形納米材料的懸濁液形成高透光性導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)圖案的方法。利用凹版印刷エ藝將含有線形納米導(dǎo)電材料的低粘度懸濁液印刷到柔性襯底上，可以直接形成具有精確圖案的高透光性導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。凹版印刷工藝不僅可以將含有線形納米材料的懸濁液直接實(shí)現(xiàn)精確圖案化，エ藝本身還具有高速度、高質(zhì)量、厚度可控的特點(diǎn)，因此實(shí)施本發(fā)明可以改變目前這類高透光性網(wǎng)絡(luò)狀導(dǎo)電薄膜的生產(chǎn)不能直接形成圖案的現(xiàn)狀，避免了額外的后期圖案化蝕刻エ序，有利于簡(jiǎn)化電子產(chǎn)品的生產(chǎn)エ藝，降低成本。上述實(shí)施例僅為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本發(fā)明精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.ー種快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法，其特征在于，采用包含線形納米材料的懸濁液作為印刷材料，通過若干次的凹版印刷技術(shù)將包含所述線形納米材料的懸濁液凹版印刷至襯底表面，形成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，其中，線形納米材料包括線形納米導(dǎo)電材料，所述線形納米導(dǎo)電材料的分散濃度為O. 1-10暈克/暈升。
2.如權(quán)利要求I所述的快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法，其特征在于，所述線形納米導(dǎo)電材料的截面直徑或者對(duì)角線小于I微米，長(zhǎng)度大于或等于其截面直徑或者對(duì)角線長(zhǎng)度的5倍。
3.如權(quán)利要求2所述的快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法，其特征在于，所述線形納米導(dǎo)電材料包括金屬納米線或者碳納米管。
4.如權(quán)利要求3所述的快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法，其特征在于，添加輔助導(dǎo)電材料于所述包含線形納米導(dǎo)電材料的懸濁液中，其中，懸濁液的粘度小于lOOcP。
5.如權(quán)利要求4所述的快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法，其特征在于，所述懸濁液的溶劑包括水、醇類、酯類中的至少ー種。
6.如權(quán)利要求4所述的快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法，其特征在于，所述襯底為柔性襯底材料。
7.如權(quán)利要求5所述的快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法，其特征在于，所述柔性襯底材料包括聚合物、紙、柔性玻璃及柔性金屬箔片中的至少ー種。
8.如權(quán)利要求I至6其中任一所述的快速制備高透光性導(dǎo)電圖案的方法，其特征在干，所述凹版印刷技術(shù)中采用的印版類型包括平面狀或者輥狀。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種直接印刷含有線形納米材料的懸濁液形成高透光性導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)圖案的方法。利用凹版印刷工藝將含有線形納米材料的低粘度懸濁液印刷到柔性襯底上，可以直接形成具有精確圖案的高透光性導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。凹版印刷工藝不僅可以將含有線形納米材料的懸濁液直接實(shí)現(xiàn)精確圖案化，工藝本身還具有高速度、高質(zhì)量、厚度可控的特點(diǎn)，因此實(shí)施本發(fā)明可以改變目前這類高透光性網(wǎng)絡(luò)狀導(dǎo)電薄膜的生產(chǎn)不能直接形成圖案的現(xiàn)狀，避免了額外的后期圖案化蝕刻工序，有利于簡(jiǎn)化電子產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝，降低成本。
文檔編號(hào)B41M1/10GK102616033SQ201210108
公開日2012年8月1日 申請(qǐng)日期2012年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月13日
發(fā)明者崔錚, 林劍 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所