專利名稱：雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于太陽能電池印刷領(lǐng)域，具體涉及一種太陽能網(wǎng)板制作新工藝，雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板。
背景技術(shù)：
隨著經(jīng)濟的快速發(fā)展，能源的消耗量越來越大，煤和石油等不可再生資源的儲存量日益減少，這促使人們對新能源(如核能、太陽能、風(fēng)能、生物質(zhì)能、地?zé)崮?、海洋能、氫能?的不斷探索。其中，作為地球上許多能量的來源，太陽能在新能源的研究中占據(jù)了重要的地位，太陽能電池就是太陽能應(yīng)用的一個核心代表。提高太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率是目前太陽能電池研究的一個主要目標，除了對電池基片材料的選擇、基片制作工藝的改善外，制作性能優(yōu)異的太陽能電池電極也能對電池的轉(zhuǎn)化效率帶來很好的效果。目前，電極印刷是采用傳統(tǒng)的絲網(wǎng)印刷，其印刷過程中采用的絲網(wǎng)為絲網(wǎng)+感光膠形式的網(wǎng)板，其存在以下問題:1、絲網(wǎng)板的絲網(wǎng)層具有編織的經(jīng)緯節(jié)點，在印刷過程中，其對印刷漿料的作用會導(dǎo)致印刷后的電池片細柵線線徑不均；2、傳統(tǒng)的絲網(wǎng)板下表面覆有感光聚合物，感光聚合物質(zhì)軟、硬度小，易損傷。這些因素都直接或間接的影響最終太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。

發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問題
本發(fā)明主要是針對傳統(tǒng)的編制型絲網(wǎng)具有經(jīng)緯節(jié)點、表面不平整、下表面覆有感光聚合物，感光聚合物質(zhì)軟、硬度小，易損傷的缺陷，而提出一種雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法。(二)技術(shù)方案
為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法，其包括以下步驟:
S1:在選定的金屬板表面雙面均勻的涂抹或壓貼一種感光干膜或者其它感光物質(zhì)；
S2:將作以上處理的金屬板兩面曝光，將需要的圖形轉(zhuǎn)移到感光干膜或者其它感光物質(zhì)上；
53:將曝光后的金屬板進行顯影處理；
54:將顯影處理后的金屬板進行雙面蝕刻。其中，步驟SI中所述選定的金屬板可以是不銹鋼板、鎳板、鎳基合金板所有合適的金屬型板料。其中，所述步驟SI前還包括步驟:將選定的金屬板進行前處理，如除油、除銹處理，使得金屬表面潔凈。其中，所述步驟S2所述的曝光轉(zhuǎn)移圖形的過程中，金屬板兩面的圖形主體形狀相同，且通過曝光機的準確對位，用于確保兩面曝光圖形的位置一致。
其中，所述步驟S3中，所述顯影過程是將曝光后的金屬板進行雙面顯影，使得兩面將要被蝕刻的部分裸露出來，而掩模部分表面被感光物質(zhì)覆蓋。其中，顯影后兩面裸露的圖形主體位置相對應(yīng)，其中一面裸露的部分為連貫型的，且裸露部分構(gòu)成的圖案與太陽能電池電極柵線圖案一致；而另外一面裸露的金屬面上存在交織的感光物質(zhì)，裸露的金屬面為非連貫型的，非連貫型的裸露金屬面構(gòu)成的圖案與太陽能電池電極柵線圖案一致。其中，步驟S4中，將曝光后的貼膜金屬板進行雙面蝕刻。其中，所述雙面蝕刻為同時進行，兩面的蝕刻液壓力參數(shù)可調(diào)，用于控制金屬板兩面的蝕刻速度，其中顯影后金屬面裸露部分為連貫型的一面在柵線主體處蝕刻為凹槽型，另一面蝕刻為網(wǎng)狀型。其中，所述太陽能網(wǎng)板由若干條主柵線與若干條細柵線垂直交錯構(gòu)成，網(wǎng)板的厚度為30unTl00um，蝕刻凹槽深度占鋼片厚度的60°/Γ70%，蝕刻凹槽的細柵線寬度為30um 100um,主柵線寬為Imm 2mm。其中，制作好的金屬網(wǎng)板還包括后續(xù)的退膜清洗、檢測及固定在網(wǎng)框上工序。(三)有益效果
上述技術(shù)方案所提供的一種雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法，其包括以下步驟:S1:在選定的金屬板表面雙面均勻的涂抹或壓貼一種感光干膜或者其它感光物質(zhì)；S2:將作以上處理的金屬板兩面曝光，將需要的圖形轉(zhuǎn)移到感光干膜或者其它感光物質(zhì)上；S3:將曝光后的金屬板進行顯影處理；S4:將顯影處理后的金屬板進行雙面蝕刻?？朔藗鹘y(tǒng)的編制型絲網(wǎng)具有經(jīng)緯節(jié)點、表面不平整、下表面覆有感光聚合物，感光聚合物質(zhì)軟、硬度小，易損傷的缺陷，可以提高印刷質(zhì)量，最終可以提高印刷成品太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。


圖1為本發(fā)明實施例金屬板表面雙面貼膜的截面示意 圖2為本發(fā)明實施例貼膜的金屬板曝光顯影后的截面示意 圖3為本發(fā)明實施例曝光的一種圖案花樣；
圖4A為本發(fā)明實施例貼膜金屬板一面曝光區(qū)域的局部示意 圖4B為本發(fā)明實施例貼膜金屬板另一面曝光區(qū)域的局部示意 圖5為本發(fā)明實施例蝕刻完畢貼膜后的網(wǎng)板示意圖。其中，10:金屬板；11:干膜；12:干膜；31:主柵線；32:細柵線；101:網(wǎng)格；102:蝕刻凹槽；110:曝光后的干膜；120:曝光后的干膜。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和實施例，對本發(fā)明的具體實施方式

作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。結(jié)合圖1至圖5所示，本發(fā)明實施例提供了一種雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法，其包括以下步驟:S1:在選定的金屬板表面雙面均勻的涂抹或壓貼一種感光干膜或者其它感光物質(zhì)；S2:將作以上處理的金屬板兩面曝光，將需要的圖形轉(zhuǎn)移到感光干膜或者其它感光物質(zhì)上；S3:將曝光后的金屬板進行顯影處理；S4:將顯影處理后的金屬板進行雙面蝕刻?？朔藗鹘y(tǒng)的編制型絲網(wǎng)具有經(jīng)緯節(jié)點、表面不平整、下表面覆有感光聚合物，感光聚合物質(zhì)軟、硬度小，易損傷的缺陷，可以提高印刷質(zhì)量，最終可以提高印刷成品太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。具體的結(jié)合圖1所示為將處理潔凈后的金屬基材10兩面通過壓膜機貼上干膜11、12的示意圖；圖2所示是將貼好膜的金屬板置于曝光機中曝光后顯影得到的示意圖，曝光后的干膜110及曝光后的干膜120，所述曝光圖案主體如圖3所示，其由若干主柵線31及若干細柵線32垂直構(gòu)成。曝光時，金屬板10兩面干膜11、12的曝光圖案主體位置相同，實際操作中，要求兩面曝光圖形對位偏差在5um以內(nèi)。本實施例中的步驟SI中所述選定的金屬板可以是不銹鋼板、鎳板、鎳基合金板所有合適的金屬型板料。所述步驟SI前還包括步驟:將選定的金屬板進行前處理，如除油、除銹處理，使得金屬表面潔凈。所述步驟S2所述的曝光轉(zhuǎn)移圖形的過程中，金屬板兩面的圖形主體形狀相同，且通過曝光機的準確對位，用于確保兩面曝光圖形的位置一致。所述步驟S3中，所述顯影過程是將曝光后的金屬板進行雙面顯影，使得兩面將要被蝕刻的部分裸露出來，而掩模部分表面被感光物質(zhì)覆蓋。顯影后兩面裸露的圖形主體位置相對應(yīng)，其中一面裸露的部分為連貫型的，且裸露部分構(gòu)成的圖案與太陽能電池電極柵線圖案一致；而另外一面裸露的金屬面上存在交織的感光物質(zhì)，裸露的金屬面為非連貫型的，非連貫型的裸露金屬面構(gòu)成的圖案與太陽能電池電極柵線圖案一致。步驟S4中，將曝光后的貼膜金屬板進行雙面蝕刻。進一步，兩面曝光圖形的細節(jié)部分有區(qū)別，其具體如圖4A及4B所示，圖中黑色區(qū)域所示的是曝光的區(qū)域，圖4A所示為金屬板其中一面曝光的局部示意圖(即圖3中主柵線31、細柵線32交錯位置的對應(yīng)部分)，圖4B是其對應(yīng)的另一面曝光示意圖。經(jīng)曝光后，黑色區(qū)域的膜因聚合形成高分子聚合物而不與顯影時的顯影液反應(yīng)，顯影后，曝光區(qū)域的膜覆蓋在金屬板表面，未曝光區(qū)域(即圖4中白色區(qū)域)的膜被顯影液反應(yīng)使得未曝光區(qū)域的金屬板板面裸露。所述雙面蝕刻為同時進行，兩面的蝕刻液壓力參數(shù)可調(diào)，用于控制金屬板兩面的蝕刻速度，其中顯影后金屬面裸露部分為連貫型的一面在柵線主體處蝕刻為凹槽型，另一面蝕刻為網(wǎng)狀型。所述太陽能網(wǎng)板由若干條主柵線與若干條細柵線垂直交錯構(gòu)成，網(wǎng)板的厚度為30unTl00um,蝕刻凹槽的細柵線寬度為30unTl00um,主柵線寬為lmnT2mm。將顯影后的貼膜金屬板置于蝕刻機中蝕刻，由于金屬板表面干膜的存在，在有干膜的金屬表面處蝕刻液無法透過，而裸露的金屬面可以被蝕刻液反應(yīng)，從而在金屬板一面形成條形凹槽結(jié)構(gòu)，另一面在條形凹槽對應(yīng)的區(qū)域形成網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，其具體結(jié)構(gòu)與曝光顯影后的金屬板表面圖案相符，即金屬板兩面的圖案如圖4所示，白色區(qū)域為被蝕刻的部分。通過調(diào)整金屬板兩面的蝕刻相關(guān)參數(shù)來控制金屬板兩面的蝕刻深度比，如圖5所示，即控制網(wǎng)格101的深度hi與蝕刻凹槽102的深度h2的比，可以得到不同網(wǎng)板，作為優(yōu)選，蝕刻凹槽102的深度h2占鋼片厚度的60% 70%。制作好的金屬網(wǎng)板還包括后續(xù)的退膜清洗、檢測及固定在網(wǎng)框上工序。由以上實施例可以看出，本發(fā)明實施例提供了一種雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法，其包括以下步驟:S1:在選定的金屬板表面雙面均勻的涂抹或壓貼一種感光干膜或者其它感光物質(zhì)；S2:將作以上處理的金屬板兩面曝光，將需要的圖形轉(zhuǎn)移到感光干膜或者其它感光物質(zhì)上；S3:將曝光后的金屬板進行顯影處理；S4:將顯影處理后的金屬板進行雙面蝕刻?？朔藗鹘y(tǒng)的編制型絲網(wǎng)具有經(jīng)緯節(jié)點、表面不平整、下表面覆有感光聚合物，感光聚合物質(zhì)軟、硬度小，易損傷的缺陷，可以提高印刷質(zhì)量，最終可以提高印刷成品太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改進和替換也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法，其特征在于，其包括以下步驟: 51:在選定的金屬板表面雙面均勻的涂抹或壓貼一種感光干膜或者其它感光物質(zhì)； 52:將作以上處理的金屬板兩面曝光，將需要的圖形轉(zhuǎn)移到感光干膜或者其它感光物質(zhì)上； 53:將曝光后的金屬板進行顯影處理； 54:將顯影處理后的金屬板進行雙面蝕刻。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法，其特征在于，步驟SI中所述選定的金屬板可以是不銹鋼板、鎳板、鎳基合金板所有合適的金屬型板料。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法，其特征在于，所述步驟SI前還包括步驟:將選定的金屬板進行前處理，如除油、除銹處理，使得金屬表面潔凈。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法，其特征在于，所述步驟S2所述的曝光轉(zhuǎn)移圖形的過程中，金屬板兩面的圖形主體形狀相同，且通過曝光機的準確對位，用于確保兩面曝光圖形的位置一致。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法，其特征在于，所述步驟S3中，所述顯影過程是將曝光后的金屬板進行雙面顯影，使得兩面將要被蝕刻的部分裸露出來,而掩模部分表面被感光物質(zhì)覆蓋。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法，其特征在于，顯影后兩面裸露的圖形主體位置相對應(yīng)，其中一面裸露的部分為連貫型的，且裸露部分構(gòu)成的圖案與太陽能電池電極柵線圖案一致；而另外一面裸露的金屬面上存在交織的感光物質(zhì)，裸露的金屬面為非連貫型的，非連貫型的裸露金屬面構(gòu)成的圖案與太陽能電池電極柵線圖案一致。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法，其特征在于，步驟S4中，將曝光后的貼膜金屬板進行雙面蝕刻。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法，其特征在于，所述雙面蝕刻為同時進行，兩面的蝕刻液壓力參數(shù)可調(diào)，用于控制金屬板兩面的蝕刻速度，其中顯影后金屬面裸露部分為連貫型的一面在柵線主體處蝕刻為凹槽型，另一面蝕刻為網(wǎng)狀型。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法，其特征在于，所述太陽能網(wǎng)板由若干條主柵線與若干條細柵線垂直交錯構(gòu)成，網(wǎng)板的厚度為30unTl00Um，蝕刻凹槽深度占鋼片厚度的60% 70%，蝕刻凹槽的細柵線寬度為30unTl00um，主柵線寬為lmnT2mm0
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法，其特征在于，制作好的金屬網(wǎng)板還包括后續(xù)的退膜清洗、檢測及固定在網(wǎng)框上工序。
全文摘要
本發(fā)明涉及太陽能光伏制造領(lǐng)域，公開了一種雙面蝕刻制作金屬型太陽能網(wǎng)板的方法，其包括以下步驟S1在選定的金屬板表面雙面均勻的涂抹或壓貼一種感光干膜或者其它感光物質(zhì)；S2將作以上處理的金屬板兩面曝光，將需要的圖形轉(zhuǎn)移到感光干膜或者其它感光物質(zhì)上；S3將曝光后的金屬板進行顯影處理；S4將顯影處理后的金屬板進行雙面蝕刻?？朔藗鹘y(tǒng)的編制型絲網(wǎng)具有經(jīng)緯節(jié)點、表面不平整、下表面覆有感光聚合物，感光聚合物質(zhì)軟、硬度小，易損傷的缺陷，可以提高印刷質(zhì)量，最終可以提高印刷成品太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。
文檔編號B41C1/14GK103192589SQ20121000450
公開日2013年7月10日 申請日期2012年1月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月9日
發(fā)明者魏志凌, 高小平, 楊志龍, 趙錄軍 申請人:昆山允升吉光電科技有限公司