一種用于石英外套管安裝的夾具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于HVPE設(shè)備安裝輔助工具領(lǐng)域，具體涉及一種用于石英外套管安裝的夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]用于氮化鎵研究和生產(chǎn)的HVPE設(shè)備中，以小型的單片機(jī)或三片機(jī)為主，這種設(shè)備反應(yīng)腔的尺寸較小，其石英外套管直徑小于200_，重量小于25kg，高度或者長度小于1.2米。進(jìn)行維護(hù)時，安裝人員安裝整個石英外套管，只需要兩人協(xié)同搬運(yùn)安裝，即可保證安裝精度和準(zhǔn)確度，安裝過程簡單方便。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，使用HVPE法制備氮化鎵襯底取得極大的進(jìn)展，HVPE設(shè)備由單片機(jī)向多片機(jī)發(fā)展，反應(yīng)腔的尺寸也相應(yīng)增大，其石英外套管直徑突破200mm以上，重量超過25kg，高度或長度大于1.2米，安裝時，僅靠少量的安裝人員顯然不夠，需要多人協(xié)同安裝，可控性很差，安裝精度不易保證，安裝效率低；且石英材質(zhì)易碎、表面光滑，存在一定的安全隱患。顯然，小型HVPE設(shè)備外套管的安裝方法，已經(jīng)難于滿足多片機(jī)外套管的日常安裝維護(hù)。如何能保證這種大型設(shè)備安裝維護(hù)的精度，提高效率，降低風(fēng)險，是亟待解決的問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對上述問題，本實(shí)用新型提供一種用于石英外套管安裝的夾具。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種用于石英外套管安裝的夾具，包括導(dǎo)軌承重框架、由滑動夾板和固定夾板組成的一對夾板、緩沖墊、定位桿等部件。通過調(diào)節(jié)定位桿可調(diào)整滑動夾板的位置，以達(dá)到牢靠夾持石英外套管的作用，緩沖墊貼合于滑動夾板和固定夾板的內(nèi)側(cè)U型弧面上，它能提供足夠的摩擦力，當(dāng)調(diào)節(jié)定位桿調(diào)整滑動夾板所處的位置，以夾持石英外套管時，即能牢靠夾持石英外套管，又能保護(hù)石英外套管防止其碎裂。
[0004]本實(shí)用新型所述夾具需配合叉車等載重運(yùn)輸工具使用。
[0005]所述導(dǎo)軌承重框架，為四方體結(jié)構(gòu)，在其框架內(nèi)，以其定位孔為中軸線，兩側(cè)設(shè)置有凸型導(dǎo)軌，該凸型導(dǎo)軌用于與滑動夾板的凹型導(dǎo)槽相貼合，其定位桿孔用于穿過定位桿；導(dǎo)軌承重框架的鄰近拐角處設(shè)有4個固定孔，用于把本實(shí)用新型夾具固定在載重運(yùn)輸工具上。其材質(zhì)是不銹鋼或鋁合金。
[0006]所述夾板，在其滑動夾板和固定夾板的兩側(cè)面，設(shè)有凹型導(dǎo)槽，用于與導(dǎo)軌承重框架的凸型導(dǎo)軌相貼合，使滑動夾板沿凸型導(dǎo)軌滑動自如；滑動夾板后端與定位桿固定連接，用于調(diào)節(jié)滑動夾板與固定夾板間的相對位置；滑動夾板和固定夾板的內(nèi)側(cè)面為U型弧面，該面牢靠貼合有緩沖墊。其材質(zhì)是不銹鋼或鋁合金。
[0007]所述定位桿，為圓柱體結(jié)構(gòu)，其表面有調(diào)位螺紋，并裝有兩顆定位螺母；定位桿穿過導(dǎo)軌承重框架上的無凸型導(dǎo)軌側(cè)邊中心處的定位桿孔，與滑動夾板一端固定連接，通過調(diào)節(jié)調(diào)位螺紋，可以調(diào)整滑動夾板的所處位置，通過鎖住定位螺母，可以固定滑動夾板位置。定位桿其材質(zhì)是不銹鋼或鋁合金。
[0008]所述緩沖墊，為軟性材質(zhì)材料，牢靠貼合于滑動夾板和固定夾板的內(nèi)側(cè)U型弧面上，它提供足夠的摩擦力，以便兩個夾板在夾持石英外套管時，起到既能加持穩(wěn)定又可緩沖保護(hù)作用。緩沖墊其材質(zhì)是橡膠或硅膠。
[0009]本實(shí)用新型，其結(jié)構(gòu)簡單、實(shí)施方便，需要與載重運(yùn)輸工具靈活配合使用，免去人力搬運(yùn)，提高了安裝效率，以及安裝過程的安全性?；瑒訆A板可更換不同尺寸，可提高夾具使用的靈活性，具有一定的實(shí)用價值。
【附圖說明】
[0010]圖1為一種用于石英外套管安裝的夾具結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖中，1:導(dǎo)軌承重框架2:夾板21:滑動夾板22:固定夾板3:緩沖墊4:定位桿。
【具體實(shí)施方式】
[0012]實(shí)施例1
[0013]如圖1所示，一種用于圓柱體外套管安裝的夾具，包括1個導(dǎo)軌承重框架(1)，1對夾板(2)，2個緩沖墊(3)，1根定位桿(4)，其中夾板(2)包含滑動夾板(21)和固定夾板
(22) ο
[0014]在所述導(dǎo)軌承重框架(1)兩側(cè)邊內(nèi)側(cè)設(shè)有凸型導(dǎo)軌，與此相對應(yīng)的夾板(2)兩側(cè)邊設(shè)有凹型導(dǎo)槽，所述凸型導(dǎo)軌與凹型導(dǎo)槽緊密貼合，使滑動夾板(21)沿導(dǎo)軌滑動自如；所述定位桿(4)穿過導(dǎo)軌承重框架(1)的無凸型導(dǎo)軌側(cè)邊中心處的定位桿孔，定位桿(4)頂端與滑動夾板(21) —端為固定連接；所述定位桿(4)為圓柱結(jié)構(gòu)，在其表面有調(diào)位螺紋并裝有兩顆定位螺母，通過調(diào)節(jié)調(diào)位螺紋可調(diào)整滑動夾板(21)所處位置，通過鎖緊定位螺母可固定滑動夾板(21)所處位置；所述緩沖墊(3)牢靠貼合于滑動夾板(21)、固定夾板
(22)內(nèi)側(cè)的U型弧面上。
[0015]本實(shí)用新型一種用于石英外套管安裝的夾具，所述導(dǎo)軌承重框架(1)為四方體結(jié)構(gòu)，在其4個鄰近拐角處設(shè)有4個固定孔，可用于把本實(shí)用新型夾具與載重運(yùn)輸工具互相固定。
[0016]本實(shí)用新型一種用于石英外套管安裝的夾具，所述導(dǎo)軌承重框架(1)、夾板(2)、定位桿(4)，其材質(zhì)是不銹鋼或鋁合金；所述緩沖墊(3)，其材質(zhì)是橡膠或硅膠。
[0017]安裝時，安裝人員使用4顆固定螺釘穿過固定孔，把夾具牢靠固定在叉車的車臂上，移動叉車把夾具搬運(yùn)到外套管中部位置，擰動定位螺母調(diào)節(jié)滑動夾板牢靠夾持外套管。移動叉車把外套管夾持到合適位置。安裝人員完成整個安裝過程，只需要擰動定位螺母調(diào)節(jié)滑動夾板，控制叉車夾持外套管搬運(yùn)到合適位置。
【主權(quán)項】
1.一種用于石英外套管安裝的夾具，包括導(dǎo)軌承重框架(1)、夾板(2)、緩沖墊(3)、定位桿(4)，所述夾板(2)包含滑動夾板(21)和固定夾板(22);其特征在于，在所述導(dǎo)軌承重框架(1)兩側(cè)邊內(nèi)側(cè)設(shè)有凸型導(dǎo)軌，與此相對應(yīng)的夾板(2)兩側(cè)邊設(shè)有凹型導(dǎo)槽，所述凸型導(dǎo)軌與凹型導(dǎo)槽緊密貼合，使滑動夾板(21)沿導(dǎo)軌滑動自如；所述定位桿(4)穿過導(dǎo)軌承重框架(1)的無凸型導(dǎo)軌側(cè)邊中心處的定位桿孔，定位桿(4)頂端與滑動夾板(21) —端為固定連接；所述定位桿(4)為圓柱結(jié)構(gòu)，在其表面有調(diào)位螺紋并裝有兩顆定位螺母，通過調(diào)節(jié)調(diào)位螺紋可調(diào)整滑動夾板(21)所處位置，通過鎖緊定位螺母可固定滑動夾板(21)所處位置；所述緩沖墊(3)牢靠貼合于滑動夾板(21)、固定夾板(22)內(nèi)側(cè)的U型弧面上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于石英外套管安裝的夾具，其特征在于，所述導(dǎo)軌承重框架(1)為四方體結(jié)構(gòu)，在其4個鄰近拐角處設(shè)有4個固定孔。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于石英外套管安裝的夾具，其特征在于，所述導(dǎo)軌承重框架(1)、夾板(2)、定位桿(4)，其材質(zhì)是不銹鋼或鋁合金；所述緩沖墊(3)，其材質(zhì)是橡膠或硅膠。
【專利摘要】本實(shí)用新型一種用于石英外套管安裝的夾具，包括導(dǎo)軌承重框架、夾板、緩沖墊、定位桿，所述夾板包含滑動夾板和固定夾板；在所述導(dǎo)軌承重框架兩側(cè)邊內(nèi)側(cè)設(shè)有凸型導(dǎo)軌，與此相對應(yīng)的夾板兩側(cè)邊設(shè)有凹型導(dǎo)槽，所述凸型導(dǎo)軌與凹型導(dǎo)槽緊密貼合，使滑動夾板沿導(dǎo)軌滑動自如；所述定位桿穿過導(dǎo)軌承重框架的無凸型導(dǎo)軌側(cè)邊中心處的定位桿孔，定位桿頂端與滑動夾板一端為固定連接；所述定位桿為圓柱結(jié)構(gòu)，在其表面有調(diào)位螺紋并裝有兩顆定位螺母，通過調(diào)節(jié)調(diào)位螺紋可調(diào)整滑動夾板所處位置，通過鎖緊定位螺母可固定滑動夾板所處位置；所述緩沖墊牢靠貼合于滑動夾板、固定夾板內(nèi)側(cè)的U型弧面上。本實(shí)用新型的夾具可提高安裝的準(zhǔn)確度和便利性。
【IPC分類】B25B11/02
【公開號】CN205057874
【申請?zhí)枴緾N201520798181
【發(fā)明人】莫國杰, 王健輝, 劉鵬, 童玉珍, 張國義
【申請人】東莞市中鎵半導(dǎo)體科技有限公司
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年10月15日