一種具有改進的油路系統(tǒng)的線切機的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于單晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及到一種具有改進的油路系統(tǒng)的線切機。
【背景技術(shù)】
[0002]線切機是生產(chǎn)單晶硅過程中必不可少的一種設(shè)備，油路系統(tǒng)是線切機上必不可少的部件，現(xiàn)有的線切機上每個用油裝置都有一個單獨的供油裝置和供油管路，這樣就使得一個線切機內(nèi)就得同時裝有多個供油裝置，占用空間大不說，同時也提高了線切機的生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，設(shè)計了一種具有改進的油路系統(tǒng)的線切機，節(jié)省了線切機的內(nèi)部空間，降低了線切機的生產(chǎn)成本。
[0004]本實用新型所采取的具體技術(shù)方案是:一種具有改進的油路系統(tǒng)的線切機，包括線切機本體和設(shè)置在線切機本體上的油路系統(tǒng)，油路系統(tǒng)的出口與用油裝置連通，關(guān)鍵是:所述的油路系統(tǒng)包括總供油裝置和多個分油管路，所有分油管路的進口都與總供油裝置的出口連通，所有分油管路的出口分別與不同的用油裝置連通。
[0005]所述的油路系統(tǒng)還包括壓力表，壓力表與總供油裝置連接。
[0006]所述的每個分油管路上都設(shè)置有閥門。
[0007]所述的閥門為電磁閥。
[0008]所述的總供油裝置上設(shè)置有放氣閥和電磁閥。
[0009]所述的總供油裝置為油泵。
[0010]本實用新型的有益效果是:利用一個總供油裝置給所有的用油裝置供油，與用多個供油裝置分別給不同的用油裝置供油相比，大大減小了油路系統(tǒng)在線切機內(nèi)部所占的空間，同時省去了多個供油裝置，降低了線切機的生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]附圖中，I代表線切機本體，2代表總供油裝置，3代表分油管路，4代表壓力表，5代表閥門，6代表放氣閥，7代表電磁閥。
【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型做詳細(xì)說明:
[0014]具體實施例，如圖1所示，一種具有改進的油路系統(tǒng)的線切機，包括線切機本體I和設(shè)置在線切機本體I上的油路系統(tǒng)，油路系統(tǒng)的出口與用油裝置連通，所述的油路系統(tǒng)包括總供油裝置2和多個分油管路3，總供油裝置2優(yōu)選為油泵，總供油裝置2上設(shè)置有放氣閥6和電磁閥7，可以調(diào)整總供油裝置2內(nèi)氣壓的大小，防止分油管路3被堵塞，利用電磁閥7可以同時將所有的分油管路3關(guān)閉，利用放氣閥6所有分油管路3的進口都與總供油裝置2的出口連通，所有分油管路3的出口分別與不同的用油裝置連通。為了方便單獨控制每個用油裝置的工作狀態(tài)，在每個分油管路3上都設(shè)置有閥門5，閥門5優(yōu)選為電磁閥。油路系統(tǒng)還包括壓力表4，壓力表4與總供油裝置2連接，利用壓力表4可以實時監(jiān)測總供油裝置2內(nèi)的壓力大小，防止總供油裝置2壓力過大或過小而影響它的正常使用。
【主權(quán)項】
1.一種具有改進的油路系統(tǒng)的線切機，包括線切機本體(I)和設(shè)置在線切機本體(I)上的油路系統(tǒng)，油路系統(tǒng)的出口與用油裝置連通，其特征在于:所述的油路系統(tǒng)包括總供油裝置⑵和多個分油管路(3)，所有分油管路(3)的進口都與總供油裝置(2)的出口連通，所有分油管路(3)的出口分別與不同的用油裝置連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有改進的油路系統(tǒng)的線切機，其特征在于:所述的油路系統(tǒng)還包括壓力表(4)，壓力表(4)與總供油裝置(2)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有改進的油路系統(tǒng)的線切機，其特征在于:所述的每個分油管路(3)上都設(shè)置有閥門(5)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種具有改進的油路系統(tǒng)的線切機，其特征在于:所述的閥門(5)為電磁閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有改進的油路系統(tǒng)的線切機，其特征在于:所述的總供油裝置⑵上設(shè)置有放氣閥(6)和電磁閥(7)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有改進的油路系統(tǒng)的線切機，其特征在于:所述的總供油裝置(2)為油泵。
【專利摘要】一種具有改進的油路系統(tǒng)的線切機，包括線切機本體和設(shè)置在線切機本體上的油路系統(tǒng)，油路系統(tǒng)的出口與用油裝置連通，關(guān)鍵是：所述的油路系統(tǒng)包括總供油裝置和多個分油管路，所有分油管路的進口都與總供油裝置的出口連通，所有分油管路的出口分別與不同的用油裝置連通。利用一個總供油裝置給所有的用油裝置供油，與用多個供油裝置分別給不同的用油裝置供油相比，大大減小了油路系統(tǒng)在線切機內(nèi)部所占的空間，同時省去了多個供油裝置，降低了線切機的生產(chǎn)成本。
【IPC分類】B28D7-00, F17D1-08
【公開號】CN204566426
【申請?zhí)枴緾N201520169379
【發(fā)明人】朱琛浩, 陳世杰, 李世杰, 李其甲, 田會藏, 武哲
【申請人】寧晉賽美港龍電子材料有限公司
【公開日】2015年8月19日
【申請日】2015年3月25日