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一種硅棒切斷夾持裝置用支撐塊的制作方法

文檔序號:12918101閱讀:418來源:國知局
一種硅棒切斷夾持裝置用支撐塊的制作方法

本實用新型屬于晶硅切割技術(shù)領(lǐng)域,更具體涉及一種硅棒切斷夾持裝置用支撐塊。



背景技術(shù):

單晶硅的制法通常是先制得多晶硅或無定形硅,然后用直拉法或懸浮區(qū)熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅。硅棒的生長形成一端平滑的球形一端尖銳的圓錐形。熔融的單質(zhì)硅在凝固時硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核,如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒,則這些晶粒平行結(jié)合起來便結(jié)晶成單晶硅。單晶硅是一種比較活潑的非金屬元素,是晶體材料的重要組成部分,處于新材料發(fā)展的前沿。其主要用途是用作半導(dǎo)體材料和利用太陽能光伏發(fā)電、供熱等。在使用的硅晶片之前需要對硅棒進行切斷和檢測,而生長成的硅棒的不規(guī)則的圓柱體,因此切斷硅棒的夾持裝置尤為重要,目前市場上的夾持裝置主要為環(huán)抱型,主要是通夾具對圓柱形的硅棒固定,但是由于硅棒室不規(guī)則的圓柱體,所以有時整根的硅棒有些部位是懸空的,切斷受力時會造成硅棒內(nèi)部的裂紋,影響硅晶片的質(zhì)量。

另外,直拉法或懸浮區(qū)熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅的過程中,受溫度、拉力等的因素會影響硅棒是否存在內(nèi)部的缺陷,因此必須要對每根硅棒進行檢測,傳統(tǒng)的夾具對前端的檢測不便利,切割下的硅片容易摔碎,在切割過程中操作人員用手接取又不安全。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

為了解決上述問題,本實用新型提供了一種夾持穩(wěn)定、能夠適應(yīng)不規(guī)則硅棒、切割距離可調(diào)、安全可靠的硅棒切斷夾持裝置用支撐塊。

根據(jù)本實用新型的一個方面,一種硅棒切斷夾持裝置用支撐塊包括安裝座以及設(shè)置在安裝座中間的凸體,凸體的一端固定設(shè)置有第一固定塊另一端固定設(shè)置有第二固定塊,凸體的兩側(cè)設(shè)有第一支撐組件和第二支撐組件,通過控制凸體的寬度能夠調(diào)整切割的距離。

在一些實施方式中,第一支撐組件和第二支撐組件結(jié)構(gòu)相同,第一支撐組件通過第一緊固件可拆卸連接有第一安裝件,第二支撐組件通過第二緊固件可拆卸連接有第二安裝件,通過第一安裝件和第二安裝件便于將硅棒固定在支撐塊上。

在一些實施方式中,第一支撐組件包括第一彈簧、第一滑座、第一定位件、第一支撐塊、第二彈簧、第二支撐塊、第二滑座、第二定位件、第三彈簧和線軌、凸體上設(shè)有線軌,第一滑座和第二滑座均套設(shè)在線軌上,第一彈簧兩端連接第一固定塊和第一滑座,第三彈簧兩端連接第二固定塊和第二滑座,第一滑座上安裝有第一支撐塊,第二滑座安裝有第二支撐塊,第二彈簧兩端連接第一支撐塊和第二支撐塊,通過彈簧與線軌、滑座的配合,便于適應(yīng)不規(guī)則硅棒的夾持。

在一些實施方式中,第一滑座上設(shè)有第一定位件,第一定位件將第一滑座固定在線軌上,便于將支撐塊緊密固定在線軌上,以便于對不規(guī)則硅棒的夾持更加穩(wěn)定。

在一些實施方式中,第二滑座上設(shè)有第二定位件,第二定位件將第二滑座固定在線軌上,便于將支撐塊緊密固定在線軌上,以便于對不規(guī)則硅棒的夾持更加穩(wěn)定。

在一些實施方式中,第一支撐塊上設(shè)有第一調(diào)整螺栓和第三緊固件,第二支撐塊上設(shè)有第二調(diào)整螺栓和第四緊固件,第二彈簧兩端連接第一調(diào)整螺栓和第二調(diào)整螺栓,第一調(diào)整螺栓和第二調(diào)整螺栓能夠調(diào)整第一支撐塊和第二支撐塊之間的距離,通過調(diào)整螺栓調(diào)整兩個支撐塊間的距離,便于適應(yīng)不同直徑的硅棒。

在一些實施方式中,第三緊固件將第一調(diào)整螺栓固定在第一支撐塊上,第四緊固件將第二調(diào)整螺栓固定在第二支撐塊上,便于對硅棒的固定。

本實用新型所述的硅棒切斷夾持裝置用支撐塊的有益效果為:本實用新型通過控制凸體的寬度能夠調(diào)整切割的距離;通過第一支撐部件和第二支撐部件使不規(guī)則的硅棒任何部位都有支撐固定,實現(xiàn)硅棒切斷夾持裝置用支撐塊夾持穩(wěn)定、能夠適應(yīng)不規(guī)則硅棒、安全可靠、切割距離可調(diào)、便于檢測的有益效果。

附圖說明

圖1是本實用新型硅棒切斷夾持裝置用支撐塊的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是本實用新型硅棒切斷夾持裝置用支撐塊的分解圖;

圖3是本實用新型硅棒切斷夾持裝置用支撐塊的第一支撐組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合具體實施方式對本實用新型作進一步的說明。

如圖1所示,本實用新型所述的一種硅棒切斷夾持裝置用支撐塊包括安裝座1以及設(shè)置在安裝座中間的凸體2,凸體2最優(yōu)是設(shè)置在安裝座1的正中間,同時凸體2長度以與安裝座1長度相同為宜。凸體2可以以直接焊接、螺栓固定或者鑄造加工時直接設(shè)置在安裝座1上。凸體2一端固定設(shè)置有第一固定塊3另一端固定設(shè)置有第二固定塊4,第一固定塊3和第二固定塊4通過螺栓固定安裝在凸體2的兩端,凸體2的兩側(cè)設(shè)有第一支撐組件5和第二支撐組件6,通過設(shè)置不同寬度的凸體2能夠調(diào)整切割的距離。

第一支撐組件5和第二支撐組件6結(jié)構(gòu)相同,第一支撐組件5通過第一緊固件701可拆卸連接有第一安裝件7,第二支撐組件6通過第二緊固件801可拆卸連接有第二安裝件8,通過第一安裝件7和第二安裝件8便于將硅棒固定在支撐塊上,第一安裝件7和第二安裝件8可以是彈簧或者彈性材料制成,第一緊固件701和第二緊固件801最優(yōu)的方案設(shè)置成螺栓和螺母的配合,直接固定在支撐組件上即可。

如圖2所示,第一支撐部件5包括第一彈簧501、第一滑座502、第一定位件503、第一支撐塊504、第二彈簧505、第二支撐塊506、第二滑座507、第二定位件508、第三彈簧509和線軌510、凸體2上設(shè)有線軌510,第二滑座502和第三滑座507均套設(shè)在線軌510上,第一彈簧501兩端連接第一固定塊3和第一滑座502,第三彈簧509兩端連接第二固定塊4和第二滑座507,第一滑座502上安裝有第一支撐塊504,第二滑座507安裝有第二支撐塊506,第二彈簧505兩端連接第一支撐塊504和第二支撐塊506,通過彈簧與線軌2、滑座的配合,便于適應(yīng)不規(guī)則硅棒的夾持,便于實現(xiàn)對不規(guī)則硅棒的支撐。

第一滑座502上設(shè)有第一定位件503,第一定位件503將第一滑座502固定在線軌510上,第二滑座507上設(shè)有第二定位件508,第二定位件508將第二滑座507固定在線軌510上,便于將支撐塊緊密固定在線軌510上,以便于對不規(guī)則硅棒的夾持更加穩(wěn)定。

具體使用時,將硅棒放置到第一支撐部件5和第二支撐部件6上,由于硅棒自身重力的作用,將第二彈簧505拉伸,同時第一彈簧501將第一滑座502拉回,第三彈簧509將第二滑座507拉回,鎖緊第一定位件503和第二定位件508使第一滑座502和第二滑座507固定在線軌510上,這樣就能夠使不規(guī)則的硅棒都有支撐,切斷時不會因為架空而發(fā)生受力斷裂。最后將第一安裝件7環(huán)繞硅棒通過第一緊固件701固定在第一支撐塊504上,將第二安裝件8環(huán)繞硅棒通過第二緊固件801固定在第二支撐塊506上,將硅棒再作固定。

如圖3所示,第一支撐塊502上設(shè)有第一調(diào)整螺栓511和第三緊固件512,第二支撐塊506上設(shè)有第二調(diào)整螺栓513和第四緊固件514,第二彈簧505兩端連接第一調(diào)整螺栓511和第二調(diào)整螺栓513,第一調(diào)整螺栓511和第二調(diào)整螺栓513能夠調(diào)整第一支撐塊502和第二支撐塊506之間的距離,通過調(diào)整螺栓調(diào)整兩個支撐塊間的距離,便于適應(yīng)不同直徑的硅棒。

第一支撐塊502和第二支撐塊5066上設(shè)置對稱的通孔,第一調(diào)整螺栓511和第二調(diào)整螺栓513安裝在通孔內(nèi),第一調(diào)整螺栓511前端安裝在通孔內(nèi)末端露出在通孔外,第一調(diào)整螺栓511前端與第二彈簧505連接,第三緊固件512為螺栓頂緊通孔內(nèi)的第一調(diào)整螺栓511,通過孔和螺栓的配合第三緊固件512將第一調(diào)整螺栓511固定在通孔內(nèi)。第二調(diào)整螺栓513和第四緊固件514的結(jié)構(gòu)與第一調(diào)整螺栓511和第三緊固件512接聽相同。第二彈簧505分別連接第一調(diào)整螺栓511和第二調(diào)整螺栓513,當(dāng)硅棒放置在第一支撐塊502和第二支撐塊506上時由于重力作用,將第二彈簧505伸長,同時第一彈簧501將第一滑座502拉回,第三彈簧509將第二滑座507拉回,這樣就能夠使不規(guī)則的硅棒都有支撐,切斷時不會因為架空而發(fā)生受力斷裂。同時在支撐直徑較大的硅棒時,超出了第二彈簧505的拉伸極限,可以將第一調(diào)整螺栓511和第二調(diào)整螺栓513向外側(cè)旋轉(zhuǎn),并且通過第一固定螺栓632第三緊固件512和第四緊固件514固定,便于使第一支撐部件5適應(yīng)不同直徑的硅棒的裝夾。

以上所述的僅是本實用新型的一些實施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實用新型的創(chuàng)造構(gòu)思的前提下,還可以做出其它變形和改進,這些都屬于本實用新型的保護范圍。

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