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扁平截面鋸齒形切割鋼絲的制作方法

文檔序號:1885436閱讀:236來源:國知局
扁平截面鋸齒形切割鋼絲的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了扁平截面鋸齒形切割鋼絲,包括:切割鋼絲,切割鋼絲的橫截面呈扁平狀設置,切割鋼絲沿其軸向方向呈連續(xù)的鋸齒形分布,切割鋼絲中鋸齒的鋸齒短邊的長度為鋸齒長邊的長度的1/3~1/2倍,鋸齒的高度為切割鋼絲扁平狀橫截面的高度的0.15~0.3倍,切割鋼絲扁平狀橫截面的寬度與高度之比為0.7~0.9。本發(fā)明的優(yōu)點是:通過切割鋼絲橫截面的扁平狀設置,避免了切割鋼絲切割過程中在主輥導槽內(nèi)發(fā)生自身旋轉,減少了硅晶體切割面的尾部線痕,提高了硅晶體切割面的表面光潔度,進一步增加了切割鋼絲的切割穩(wěn)定性,而且通過切割鋼絲沿其軸向方向的連續(xù)均勻鋸齒形設置,提高了切割鋼絲的硅棒給進速度,提高了切割效率。
【專利說明】扁平截面鋸齒形切割鋼絲
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及用于切割硅晶體等硬脆材料的扁平截面鋸齒形切割鋼絲。
【背景技術】
[0002]在電子和太陽能領域中的硅晶體等硬脆材料的分割切片工藝中,一般都是通過將金屬單絲一俗稱切割鋼絲順次繞設在若干主輥的導槽中,再使主輥轉動帶動切割鋼絲做往復運動,從而通過切割鋼絲的往復運動將硬度極高的研磨劑帶入切割口,研磨劑在金屬單絲的往復運動下不斷研磨硅晶體,進而實現(xiàn)對硅晶體的切割分片。目前硅晶片切割面的光潔度性能主要由硅棒給進速度、單片厚度變化TTV、最大鋸痕深度與可視線痕比例等性能指標決定。
[0003]在申請?zhí)枮?01020643955.6、申請日為2010年12月6日的中國實用新型專利申請中公開了“一種異形切割鋼絲”,這種切割鋼絲的截面為橢圓形或多邊體結構,解決了切割鋼絲硬度及抗拉強度低的問題,但是這種切割鋼絲沿軸向方向是呈平直線型,不僅在切割硅晶體的過程中打滑嚴重,這種平直線型的切割鋼絲在切割硅晶體過程中的攜帶研磨劑的能力差,導致鋼絲切割效率低。
[0004]在申請?zhí)枮?01020644391.8、申請日為2010年12月6日的中國實用新型專利申請中公開了 “一種波狀異形切割鋼絲”,由于這種切割鋼絲的橫截面被加工呈圓形或近似圓形,這樣切割鋼絲在對硅晶體進行切割的過程中,切割鋼絲易沿自身軸向在主輥導槽中發(fā)生旋轉,在主輥導槽中發(fā)生自身旋轉的切割鋼絲會帶動研磨劑對硅晶體的切割面進行刮擦,從而在硅晶體的切割面上留下刮痕或線痕,導致硅晶體切割面的表面光潔度差,進而降低了經(jīng)切割后的硅晶片的光電轉換效率;而且,由于這種波狀異形切割鋼絲沿軸向方向被加工成波形平滑過渡的波狀結構,這種波形平滑過渡的切割鋼絲對硅晶體的切割效率較低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是提供一種切割效率高、且經(jīng)切割后的硅晶體切割面的表面光潔度高的扁平截面鋸齒形切割鋼絲。
[0006]為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用了如下技術方案:所述的扁平截面鋸齒形切割鋼絲,包括:切割鋼絲,切割鋼絲的橫截面呈扁平狀設置,切割鋼絲沿其軸向方向呈連續(xù)的鋸齒形分布,切割鋼絲中鋸齒的鋸齒短邊的長度為鋸齒長邊的長度的1/3?1/2倍,鋸齒的高度為切割鋼絲扁平狀橫截面的高度的0.15?0.3倍,切割鋼絲扁平狀橫截面的寬度與高度之比為 0.7 ?0.9。
[0007]進一步地,前述的扁平截面鋸齒形切割鋼絲,其中:所述的切割鋼絲沿其軸向方向呈連續(xù)均勻的鋸齒形分布。
[0008]進一步地,前述的扁平截面鋸齒形切割鋼絲,其中:所述切割鋼絲扁平狀橫截面的上下兩側呈圓弧形設置、左右兩側呈平直切面設置。[0009]通過上述技術方案的實施,本發(fā)明的有益效果是:通過切割鋼絲橫截面的扁平狀設置,不僅避免了切割鋼絲在對硅晶體的切割過程中在主輥導槽內(nèi)發(fā)生自身旋轉,進而減少了經(jīng)切割后的硅晶體切割面的尾部線痕,提高了經(jīng)切割后的硅晶體切割面的表面光潔度,進一步增加了切割鋼絲在切割硅晶體過程中的切割穩(wěn)定性,而且通過切割鋼絲沿其軸向方向的連續(xù)均勻鋸齒形設置,提高了切割鋼絲的硅棒給進速度,提高了切割效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本發(fā)明所述的扁平截面鋸齒形切割鋼絲的結構示意圖。
[0011]圖2為圖1中A-A剖面的結構示意圖。
[0012]圖3為圖1中所示的扁平截面鋸齒形切割鋼絲與主輥導槽的位置關系示意圖?!揪唧w實施方式】
[0013]下面結合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步說明。
[0014]如圖1、圖2、圖3所示,所述的扁平截面鋸齒形切割鋼絲,包括:切割鋼絲1,切割鋼絲I的橫截面呈扁平狀設置,切割鋼絲I沿其軸向方向呈連續(xù)的鋸齒形分布,切割鋼絲I中鋸齒的鋸齒短邊m的長度為鋸齒長邊L的長度的1/3~1/2倍,鋸齒的高度d為切割鋼絲I扁平狀橫截面的高度D的0.15~0.3倍,這種鋸齒的設置可以有效地提高切割鋼絲I切割硅晶體時的硅棒給進速度, 進一步提高了切割鋼絲I對硅晶體的切割效率;切割鋼絲I扁平狀橫截面的寬度S與高度D之比為0.7~0.9,這種橫截面寬度與高度之比不僅能使切割鋼絲I的抗拉強度滿足切割要求,而且能使切割鋼絲I對硅晶體進行切割的過程在主輥2的導槽3中始終保持線性穩(wěn)定,提高了切割鋼絲的切割穩(wěn)定性;在本實施例中,所述的切割鋼絲I沿其軸向方向呈連續(xù)均勻的鋸齒形分布,這樣可以進一步提高切割鋼絲I對硅晶體的切割效率;在本實施例中,所述切割鋼絲I扁平狀橫截面的上下兩側呈圓弧形設置、左右兩側呈平直切面設置,這樣可以使切割鋼絲I更好地與主輥2的導槽3相配合,使切割鋼絲I在切割過程中能始終保持線性穩(wěn)定,進而提高了切割效率。本發(fā)明的優(yōu)點是:通過切割鋼絲I橫截面的扁平狀設置,可以有效地固定切割鋼絲I的切割路徑,避免切割鋼絲I在對硅晶體的切割過程中在主輥2的導槽3內(nèi)發(fā)生自身旋轉,使切割鋼絲I在切割過程不會再粘帶研磨劑對硅晶體的切割面進行刮擦,進而減少了經(jīng)切割后的硅晶體切割面的刮痕與線痕的廣生,從而提聞了經(jīng)切割后的娃晶體切割面的表面光潔度,從而提聞了切割后的娃晶片的光電轉換效率;并且由于切割鋼絲I沿其軸向方向呈連續(xù)均勻的鋸齒形設置,提高了切割鋼絲I的硅棒給進速度,提高了切割效率。
[0015]下表為使用本發(fā)明所述的切割鋼絲切割硅晶體得到的硅晶片切割面與傳統(tǒng)的如【背景技術】中所述的切割鋼絲切割得到的硅晶片切割面的性能指標對比:
【權利要求】
1.扁平截面鋸齒形切割鋼絲,包括:切割鋼絲,其特征在于:切割鋼絲的橫截面呈扁平狀設置,切割鋼絲沿其軸向方向呈連續(xù)的鋸齒形分布,切割鋼絲中鋸齒的鋸齒短邊的長度為鋸齒長邊的長度的1/3?1/2倍,鋸齒的高度為切割鋼絲扁平狀橫截面的高度的0.15?0.3倍,切割鋼絲扁平狀橫截面的寬度與高度之比為0.7?0.9。
2.根據(jù)權利要求1所述的扁平截面鋸齒形切割鋼絲,其特征在于:所述的切割鋼絲沿其軸向方向呈連續(xù)均勻的鋸齒形分布。
3.根據(jù)權利要求1所述的扁平截面鋸齒形切割鋼絲,其特征在于:所述切割鋼絲扁平狀橫截面的上下兩側呈圓弧形設置、左右兩側呈平直切面設置。
【文檔編號】B28D5/04GK103692567SQ201310689486
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年12月17日 優(yōu)先權日:2013年12月17日
【發(fā)明者】吳曉玲 申請人:蘇閩(張家港)新型金屬材料科技有限公司
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