專利名稱：：母基板的刻劃方法及分?jǐn)喾椒?br>技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種由玻璃基板等脆性材料所構(gòu)成的母基板的刻劃方法及分?jǐn)喾椒ǎ貏e是涉及一種從形成于大面積的母基板上的刻劃線裁切矩形(lath-shaped)基板，且從該矩形基板分?jǐn)鄦挝划a(chǎn)品的分?jǐn)喾椒霸摲謹(jǐn)喾椒ㄖ兴褂玫目虅澐椒ā４颂?，所謂矩形基板，是指多個(gè)單位基板(單位產(chǎn)品)排列成一行的狀態(tài)的基板。在矩形基板中，單位基板排列方向成為長(zhǎng)度方向。
背景技術(shù)：
：從玻璃基板等的母基板裁切矩形基板的情形時(shí)，已知如圖19所示，一邊相對(duì)于母基板W壓接配置于彼此正交的方向的刀輪20、21—邊使其等轉(zhuǎn)動(dòng)，借此，形成彼此交叉的縱、橫的多條刻劃線Sa、Sb(在圖19中僅顯示有I條)，繼而，借由以裂斷桿(breakbar)22從縱向刻劃線Sb將基板W裂斷而形成矩形基板Wa，使該矩形基板Wa旋轉(zhuǎn)90度，以裂斷桿23沿著刻劃線Sa進(jìn)行裂斷而取出單位產(chǎn)品Wl的方法(例如專利文獻(xiàn)I等)。在實(shí)施該分?jǐn)喾椒ǖ募庸ぱb置中，使用沿直線方向搬送基板W的搬送機(jī)構(gòu)、且使矩形基板Wa在載置平面上維持著水平姿勢(shì)的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)90度的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。又，在以上述步驟的分?jǐn)喾椒ㄖ?，?dāng)以刀輪20、21在母基板W交叉刻劃縱、橫交叉的刻劃線Sa、Sb時(shí)，存在有在刻劃線Sa、Sb的交點(diǎn)產(chǎn)生被稱為“切角”或“擠裂”的加工不良。所謂“切角”，是指如圖20所示，在最初形成橫向刻劃線Sa后，壓接轉(zhuǎn)動(dòng)刀輪21而形成縱向刻劃線時(shí)，負(fù)載有刀輪21的壓接力的側(cè)的基板(圖左側(cè)的基板)如箭頭所示般下沉，越過(guò)既設(shè)的刻劃線Sa時(shí)，爬升處于半分?jǐn)酄顟B(tài)的右側(cè)的基板時(shí)產(chǎn)生的微細(xì)的切角(圖中以α顯示)。又，所謂“擠裂”，是指如圖21所示，在最初形成橫向刻劃線Sa后形成縱向刻劃線時(shí)，當(dāng)?shù)遁?1越過(guò)既設(shè)的刻劃線Sa時(shí)，刻劃線Sa的垂直方向的裂痕K在基板的背面附近向傾斜方向延伸。圖中以β顯示該“擠裂”。此“切角”或“擠裂”當(dāng)然會(huì)損及分?jǐn)嗪蟮漠a(chǎn)品的質(zhì)量，而成為使制造正品率下降的重大原因。因此，在專利文獻(xiàn)2中揭示在交叉刻劃母基板時(shí)，以在刻劃線的交點(diǎn)附近暫時(shí)減小刀輪的刻劃壓力的方式控制按壓力，而防止“切角”或“擠裂”的產(chǎn)生的方法。[先前技術(shù)文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)I]日本特開2006-315901號(hào)公報(bào)[專利文獻(xiàn)2]日本特開2009-132614號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容在上述現(xiàn)有習(xí)知的分?jǐn)喾椒ㄖ?，必需使矩形基板Wa在載置平面上維持著水平姿勢(shì)的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)90度的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，故需設(shè)置旋轉(zhuǎn)盤(turntable)而必需有其設(shè)置的設(shè)備或空間，進(jìn)而，若矩形基板Wa旋轉(zhuǎn)則必需進(jìn)行伴隨著旋轉(zhuǎn)的角度位置的微調(diào)整作業(yè)，而存在制造設(shè)備費(fèi)增加，且生產(chǎn)線變長(zhǎng)的缺點(diǎn)。由于在現(xiàn)有習(xí)知的分?jǐn)喾椒ㄖ羞M(jìn)行交叉刻劃，故存在有產(chǎn)生“切角”或“擠裂”之虞，以防止該現(xiàn)象為目的，雖有時(shí)采用如專利文獻(xiàn)2記載，以在刻劃線的交點(diǎn)附近暫時(shí)減小刀輪的刻劃壓力的方式控制按壓力的方法，但為此必需有使按壓力復(fù)雜變化的專用的控制程序或機(jī)械動(dòng)作系統(tǒng)，因而花費(fèi)時(shí)間與成本。又，存在因具有厚度的基板或材料組成而較無(wú)法減小刻劃壓力，因而無(wú)法完全地防止“切角”或“擠裂”。又，若在刻劃線的交點(diǎn)附近減小刀輪的刻劃壓力，則存在產(chǎn)生被稱為“交點(diǎn)跳越”的不良現(xiàn)象之虞。該現(xiàn)象是指借由刀輪形成最初所形成的刻劃線、及與其交叉的第2刻劃線時(shí)，之后應(yīng)形成的刻劃線并未在交點(diǎn)附近形成。認(rèn)為其原因在于，在最初所形成的刻劃線的槽兩側(cè)殘存有應(yīng)力，當(dāng)?shù)遁啓M切殘存有該應(yīng)力的部位時(shí)，刀輪的按壓力被削弱。若產(chǎn)生此種“交點(diǎn)跳越”現(xiàn)象，當(dāng)然在從刻劃線分?jǐn)嗷鍟r(shí)無(wú)法獲得美觀的分?jǐn)嗝妫鵁o(wú)法制作高質(zhì)量的產(chǎn)品。因此，本發(fā)明的目的在于提供一種抑制不使用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)分?jǐn)嗑匦位鍟r(shí)的“切角”、“擠裂”、“交點(diǎn)跳越”般因交叉亥U劃所引起的不良的母基板的刻劃方法及分?jǐn)喾椒?。又，本發(fā)明的另一目的在于提供一種在從母基板取出單位產(chǎn)品時(shí)，不使用使矩形基板旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，而將矩形基板的長(zhǎng)度方向維持于一方向的狀態(tài)進(jìn)行搬送，而進(jìn)行分?jǐn)嗉庸さ哪富宓姆謹(jǐn)喾椒?。本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種母基板的刻劃方法，是借由刀輪進(jìn)行的母基板的刻劃方法，其由下述步驟構(gòu)成借由沿著母基板的第I橫刻劃預(yù)定線進(jìn)行刻劃，形成劃分從此處裁切的矩形基板的下邊的橫向的第I刻劃線的步驟；其次，以與上述矩形基板中的單位產(chǎn)品的數(shù)量相同的數(shù)量進(jìn)行縱向刻劃至與上述第I刻劃線平行且設(shè)定于形成上述矩形基板的上邊的位置的第2橫刻劃預(yù)定線為止，借此，形成縱向的第2刻劃線，該縱向的第2刻劃線分別形成上述單位產(chǎn)品的實(shí)質(zhì)上的右邊，以及以與上述矩形基板中的單位產(chǎn)品的數(shù)量相同的數(shù)量進(jìn)行縱向刻劃，借此，形成縱向的第3刻劃線，該縱向的第3刻劃線分別形成上述單位產(chǎn)品的實(shí)質(zhì)上的左邊的步驟；繼而，借由沿著上述第2橫刻劃預(yù)定線進(jìn)行刻劃，形成劃分上述矩形基板的上邊的橫向的第4刻劃線的步驟。本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。前述的母基板的刻劃方法，其中上述縱向的第2刻劃線、以及上述縱向的第3刻劃線使用與上述矩形基板中的單位產(chǎn)品的數(shù)量為相同數(shù)量的刀輪，同時(shí)地刻劃第2刻劃線彼此、第3刻劃線彼此。前述的母基板的刻劃方法，其中，在形成上述橫向的第I刻劃線的步驟與形成第4刻劃線的步驟中，借由固定上述母基板將上述刀輪橫向移動(dòng)而進(jìn)行加工；在形成上述縱向的第2刻劃線與第3刻劃線的步驟中，借由固定上述刀輪并移動(dòng)上述母基板而進(jìn)行加工。本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)。依據(jù)本發(fā)明提出的一種母基板的分?jǐn)喾椒?，其中借由使刀輪沿著母基板的第I橫刻劃預(yù)定線進(jìn)行刻劃，而形成劃分母基板的下邊部分的端材區(qū)域的橫向的第I刻劃線；其次，借由第I裂斷部將該端材區(qū)域從第I刻劃線分?jǐn)喽鴹壋瞬膮^(qū)域；其次，使用與應(yīng)形成的矩形基板中的單位產(chǎn)品的數(shù)量相同的數(shù)量的刀輪，從母基板被分?jǐn)嗟南逻呏僚c其平行的第2橫刻劃預(yù)定線為止進(jìn)行縱向刻劃，借此，形成縱向的第2刻劃線與第3刻劃線，該第2劃線形成單位產(chǎn)品的實(shí)質(zhì)上的右邊，該第3劃線形成左邊；其次，借由使刀輪沿著上述第2橫刻劃預(yù)定線進(jìn)行刻劃而形成橫向的第4刻劃線；繼而，借由以第I裂斷部從第4刻劃線分?jǐn)嗄富?，而裁切借由縱向刻劃線所劃分的多個(gè)單位產(chǎn)品沿著長(zhǎng)度方向排列為一行的矩形基板；借由搬送部將該裁切后的矩形基板以維持著其姿勢(shì)的狀態(tài)沿著基板長(zhǎng)度方向搬送至第2裂斷部而從縱向刻劃線依序分?jǐn)?，借此裁切單位產(chǎn)品。本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。前述的母基板的分?jǐn)喾椒ǎ渲?，以第I裂斷部裁切上述矩形基板的加工之前，以沿與該矩形基板的長(zhǎng)度方向正交的方向搬送的方式進(jìn)行加工；將上述所裁切后的矩形基板以第2裂斷部從矩形基板分?jǐn)酁閱挝划a(chǎn)品的加工，其是以沿與上述矩形基板的長(zhǎng)度方向相同的方向搬送的方式進(jìn)行加工。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明母基板的刻劃方法及分?jǐn)喾椒蛇_(dá)到相當(dāng)?shù)募夹g(shù)進(jìn)步性及實(shí)用性，并具有產(chǎn)業(yè)上的廣泛利用價(jià)值，其至少具有下列優(yōu)點(diǎn)(I)根據(jù)本發(fā)明的刻劃方法，在矩形基板上，劃分各單位產(chǎn)品的縱向刻劃線(第2刻劃線、第3刻劃線)形成于橫向刻劃線(第I刻劃線、第4刻劃線)之間，故不存在因越過(guò)橫向刻劃線交叉而形成的交點(diǎn)，借此，可顯著地減少于上述交點(diǎn)的“切角”或“擠裂”的產(chǎn)生，并且亦可消除“交點(diǎn)跳越”現(xiàn)象，而可獲得分?jǐn)嗝婷烙^的高質(zhì)量的矩形基板。(2)由于劃分所形成的矩形基板的各單位產(chǎn)品的縱向刻劃線使用與矩形基板的單位產(chǎn)品的數(shù)量相同的數(shù)量的刀輪進(jìn)行，故具有可在短時(shí)間有效率地進(jìn)行刻劃作業(yè)的效果。(3)在形成橫向的第I刻劃線的步驟與形成第4刻劃線的步驟中，借由固定母基板并將刀輪橫向移動(dòng)而進(jìn)行加工；在形成縱向的第2刻劃線與第3刻劃線的步驟中，借由固定刀輪并移動(dòng)母基板而進(jìn)行加工。借此，可不使基板旋轉(zhuǎn)90度而有效地形成縱向與橫向的刻劃線。(4)根據(jù)本發(fā)明的母基板的分?jǐn)喾椒?，由于從母基板裁切的矩形基板以維持著其姿勢(shì)的狀態(tài)沿著基板長(zhǎng)度方向搬送至裂斷部為止而分?jǐn)酁閱挝划a(chǎn)品，故而可省略用以如現(xiàn)有習(xí)知的般使矩形基板旋轉(zhuǎn)90度的機(jī)構(gòu)，借此，可實(shí)現(xiàn)設(shè)備的省力化、及成本的降低化，并且可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)線的精簡(jiǎn)化。此外，由于劃分各單位產(chǎn)品的縱向刻劃線形成于橫向刻劃線之間，故而不存在越過(guò)橫向刻劃線而形成的交點(diǎn)，借此，可顯著地減少于上述交點(diǎn)的“切角”或“擠裂”的產(chǎn)生，并且亦可消除“交點(diǎn)跳越”的現(xiàn)象，而可獲得分?jǐn)嗝婷烙^的高質(zhì)量的矩形基板。進(jìn)而，由于劃分所形成的矩形基板的各單位產(chǎn)品的縱向刻劃線使用與矩形基板的單位產(chǎn)品的數(shù)量相同的數(shù)量的刀輪進(jìn)行，故具有可在短時(shí)間有效率地進(jìn)行刻劃作業(yè)的效果。上述說(shuō)明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說(shuō)明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說(shuō)明如下。圖1概略地顯示實(shí)施本發(fā)明的分?jǐn)喾椒〞r(shí)所使用的分?jǐn)嘌b置的一例的俯視圖。圖2概略地顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置中刻劃部的前視圖。圖3是本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置中裂斷部的概略圖。圖4顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的第I步驟的與圖1相同的說(shuō)明圖。圖5顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的第2步驟的說(shuō)明圖。圖6顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的第3步驟的說(shuō)明圖。圖7顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的第4步驟的說(shuō)明圖。圖8顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的第5步驟的說(shuō)明圖。圖9顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的第6步驟的說(shuō)明圖。圖10顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的第7步驟的說(shuō)明圖。圖11顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的第8步驟的說(shuō)明圖。圖12顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的第9步驟的說(shuō)明圖。圖13顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的第10步驟的說(shuō)明圖。圖14顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的第11步驟的說(shuō)明圖。圖15顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的第12步驟的說(shuō)明圖。圖16顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的第13步驟的說(shuō)明圖。圖17顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的第14步驟的說(shuō)明圖。圖18顯示本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置的第15步驟的說(shuō)明圖。圖19顯示現(xiàn)有習(xí)知的矩形基板的裁切方法的說(shuō)明圖。圖20說(shuō)明現(xiàn)有習(xí)知的交叉刻劃時(shí)產(chǎn)生的“切角”現(xiàn)象的圖。圖21說(shuō)明現(xiàn)有習(xí)知的交叉刻劃時(shí)產(chǎn)生的“擠裂”現(xiàn)象的圖。1:分?jǐn)嘌b置4:刻劃頭6:刀輪7:平臺(tái)13、14:端材區(qū)域A:刻劃部B:第I裂斷部C:第2裂斷部D:搬送部LI第I橫刻劃預(yù)定線L2:第2橫刻劃預(yù)定線L3:第3橫刻劃預(yù)定線L4:第4橫刻劃預(yù)定線S1:第I刻劃線S2:第2刻劃線S3:第3刻劃線S4:第4刻劃線W:母基板Wa:矩形基板Wl:單位產(chǎn)品具體實(shí)施方式為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的母基板的刻劃方法及分?jǐn)喾椒ㄆ渚唧w實(shí)施方式、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說(shuō)明如后。以下，以圖1圖18為基準(zhǔn)對(duì)本發(fā)明的刻劃方法及分?jǐn)喾椒ㄟM(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖1概略地顯示實(shí)施本發(fā)明的分?jǐn)喾椒〞r(shí)所使用的分?jǐn)嘌b置I的一例的俯視圖。該分?jǐn)嘌b置I是由下述構(gòu)件構(gòu)成刻劃部A，用以在母基板W上加工刻劃線；第I裂斷部B，從刻劃線將母基板W分?jǐn)酁榫匦?；?裂斷部C，將所分?jǐn)嗟木匦位錡a(參閱圖11)分?jǐn)酁閱挝划a(chǎn)品Wl；以及搬送部D，接收以上述第I裂斷部B所分?jǐn)嗟木匦位錡a并沿著基板長(zhǎng)度方向搬送至第2裂斷部C?？虅澆緼(參閱圖2)具備左右一對(duì)支柱2、2、與架橋(crosslinking)于所述支柱2、2的橫梁(亦稱為梁(beam))3，橫梁3沿著X方向配置。在橫梁3以可沿著導(dǎo)引件5在X方向移動(dòng)的方式設(shè)置有多個(gè)、在本實(shí)施例中為4個(gè)刻劃頭4。該刻劃頭4的個(gè)數(shù)是與形成于下述矩形基板Wa的單位產(chǎn)品Wl的數(shù)量一致而設(shè)定。在刻劃頭4的下端安裝有用以在母基板W加工縱、橫刻劃線的刀輪6。刀輪6是以借由內(nèi)設(shè)于刻劃頭4的切換機(jī)構(gòu)(未圖示)，可將其轉(zhuǎn)動(dòng)方向切換為X方向、以及在平面上與X方向正交的Y方向的兩者的方式安裝。在刻劃頭4的下方配置有平臺(tái)7，該平臺(tái)7支持所載置的母基板W，并且附有自平臺(tái)7上沿Y方向搬送所載置的基板W的Y方向搬送輥。再者，為了準(zhǔn)確地進(jìn)行直線搬送，亦可在平臺(tái)7的單側(cè)(搬出基板的第I裂斷部B側(cè)的相反側(cè))設(shè)置夾頭機(jī)構(gòu)(未圖示)，該夾頭機(jī)構(gòu)，保持母基板W的上端邊并且與平臺(tái)7的Y方向搬送輥的搬送運(yùn)動(dòng)連動(dòng)，沿Y方向搬送母基板W。可借由所述搬送機(jī)構(gòu)使母基板W沿Y方向前后移動(dòng)。第I裂斷部B及第2裂斷部C(參閱圖3)，利用借由沿著刻劃線施加外力使基板彎曲而分?jǐn)嗷宓囊话懔褦鄼C(jī)構(gòu)。雖省略詳細(xì)的機(jī)構(gòu)說(shuō)明，但在基板W的設(shè)置有刻劃線S的面的相反面(在本實(shí)施例中為下表面)的下方設(shè)置有沿著刻劃線S較長(zhǎng)地延伸的板狀的裂斷桿10，且在基板W的上表面?zhèn)鹊目虅澗€S的左右兩側(cè)部分設(shè)置有一對(duì)按壓桿或輥11。而且，以使裂斷桿10上升將基板W以倒V字狀略微彎曲，借此，使刻劃線(裂痕)沿深度方向滲透且分?jǐn)嗟姆绞叫纬?。第I裂斷部B的裂斷桿，是以可從下述橫向(X方向)的刻劃線分?jǐn)嗄富錡的方式沿著X方向延伸，且設(shè)置于刻劃部A與搬送部D之間。第2裂斷部C的裂斷桿，是以可從縱向(Y方向)的刻劃線將所分?jǐn)嗟木匦位錡a分?jǐn)嗟姆绞窖豗方向延伸，且設(shè)置于搬送部D的搬出側(cè)。搬送部D是由平臺(tái)所構(gòu)成，該平臺(tái)具備Y方向搬送輥(未圖示)，以第I裂斷部B所分?jǐn)嗟木匦位錡a沿Y方向(與矩形基板的長(zhǎng)度方向正交的方向)移動(dòng)；以及X方向搬送輥(未圖示)，以第I裂斷部B所分?jǐn)嗟木匦位錡a沿X方向(與矩形基板的長(zhǎng)度方向相同的方向)移動(dòng)；首先，使Y方向搬送輥動(dòng)作而接收以第I裂斷部B所分?jǐn)嗟木匦位錡a，在即定的固定位置停止后，繼而使X方向搬送輥動(dòng)作而搬出至第2裂斷部C側(cè)。因此，如圖1所示，以下述方式進(jìn)行配置刻劃部A、第I裂斷部B、以及搬送部D的接收矩形基板Wa的部分是以依此順序搬送基板的方式在Y方向排列，搬送部D與第2裂斷部C是以依此順序搬送基板的方式在X方向排列。再者，搬送機(jī)構(gòu)并不限定于上述搬送輥，亦可例如以可吸附的機(jī)械臂等使基板移動(dòng)。又，為了避免圖式的復(fù)雜化，在圖4圖18中省略第I裂斷部B及平臺(tái)7。其次，對(duì)使用上述分?jǐn)嘌b置I的本發(fā)明的刻劃方法及其后的分?jǐn)喾椒ㄟM(jìn)行說(shuō)明。如圖1及圖2所示，預(yù)先在刻劃部A的平臺(tái)7上配置母基板W。對(duì)載置于平臺(tái)7之前的前置步驟并無(wú)特別限定，但例如亦可預(yù)先在平臺(tái)7本身設(shè)置用以沿X方向、Y方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖2的滾珠螺桿9、軌道8等)，使平臺(tái)7沿X方向或Y方向移動(dòng)，借此使母基板移動(dòng)至用以開始本發(fā)明的刻劃加工或分?jǐn)嗉庸さ脑c(diǎn)位置。在圖1中，在母基板W以2點(diǎn)鏈線描繪的假想線顯示欲從此處裁切的矩形基板及包含于該矩形基板的單位產(chǎn)品的刻劃預(yù)定線，Wl顯示最終從刻劃預(yù)定線分?jǐn)嗳〕龅膯挝划a(chǎn)品的區(qū)域。如圖4所示，使母基板W移動(dòng)至刻劃頭4的下方為止，一邊沿著在母基板W的下邊(圖2中的母基板W的前側(cè)的邊)附近橫向(X方向)延伸的第I刻劃預(yù)定線LI上(參閱圖1)按壓位于右端的I個(gè)刻劃頭4的刀輪一邊使其轉(zhuǎn)動(dòng)而進(jìn)行刻劃。借此，加工劃分母基板W的下邊部分的端材區(qū)域13的橫向的第I刻劃線S1。其后，如圖5所示，以第I裂斷部B(因在圖5中省略，故參閱圖1)將該端材區(qū)域13從第I刻劃線SI分?jǐn)?，將端材區(qū)域13棄除于外部。此時(shí)，亦可以機(jī)械臂等握取而棄除，亦可借由壓縮空氣以吹除(blow)而去除。其次，將所有刻劃頭4的刀輪的轉(zhuǎn)動(dòng)方向切換為Y方向之后，如圖6及圖7所示，使用所有的4個(gè)刻劃頭4，從母基板W的所分?jǐn)嗟南逻呇乜v向(Y方向)同時(shí)進(jìn)行刻劃，至分?jǐn)嗪笮纬裳刂匦位錡a的長(zhǎng)度方向的一邊(上邊)的橫向第2刻劃預(yù)定線L2為止。此時(shí)，停止刀輪4，借由平臺(tái)7的Y方向搬送輥將母基板W沿Y方向移動(dòng)，借此進(jìn)行刻劃。借此，加工形成單位產(chǎn)品的實(shí)質(zhì)上的右邊的縱向的第2刻劃線S2。繼而，如圖8及圖9所示，以相同的方法，以4個(gè)刻劃頭4從母基板W的下邊進(jìn)行縱向刻劃至第2橫刻劃預(yù)定線L2為止，借此，加工形成單位產(chǎn)品的實(shí)質(zhì)上的左邊的縱向的第3刻劃線S3。再者，亦可以相反步驟加工第2刻劃線S2與第3刻劃線S3。其次，如圖10所示，沿著第2橫刻劃預(yù)定線L2上(參閱圖9)，借由使位于右端的刻劃頭4的刀輪沿X方向移動(dòng)而進(jìn)行刻劃，形成橫向的第4刻劃線S4。其后，如圖11所示，借由平臺(tái)7的Y方向搬送輥及搬送部D的Y方向搬送輥使母基板W沿Y方向移動(dòng)，且以第I裂斷部B(參閱圖1)從第4刻劃線S4的背面?zhèn)葘⒛富錡沿X方向分?jǐn)?，借此，完全分?jǐn)嗖⒉们凶畛醯木匦位錡a。所裁切的矩形基板Wa具備借由縱向(Y方向)刻劃線S2、S3所劃分的4個(gè)單位產(chǎn)品Wl沿長(zhǎng)度方向排列為一行的長(zhǎng)方形的形狀，以使其長(zhǎng)度方向朝向X方向的姿勢(shì)被裁切。所裁切的矩形基板Wa，是以使其長(zhǎng)度方向朝向X方向的姿勢(shì)的狀態(tài)中，借由搬送部D的Y方向搬送輥沿與基板長(zhǎng)度方向正交的方向(-Y方向)搬送至搬送部D的即定的固定位置為止。移送至搬送部D的固定位置的矩形基板Wa系，繼而以維持著使其長(zhǎng)度方向朝向X方向的姿勢(shì)的狀態(tài)沿X方向搬送，搬送至第2刻劃部C為止依序分?jǐn)酁閱挝划a(chǎn)品Wl。又，于裁切最初的矩形基板Wa之后，經(jīng)由與上述步驟相同的步驟，而自母基板W分?jǐn)嘞乱粋€(gè)矩形基板Wa。即，于裁切最初的矩形基板Wa之后，如圖11所示，位于右端的刻劃頭4的刀輪沿著第3橫刻劃預(yù)定線L3上(參閱圖1)進(jìn)行刻劃，借此加工橫向的第5刻劃線S5。其后，如圖12所示，自第5刻劃線S5分?jǐn)喽瞬膮^(qū)域14將其棄除于外部。再者，亦可借由使第3橫刻劃預(yù)定線L3、與所加工的前I個(gè)矩形基板Wa中的第2橫刻劃預(yù)定線L2—致而不設(shè)置端材區(qū)域14。在此情形時(shí)，已形成有第5刻劃線S5。其次，如圖13及圖14所示，使用所有的4個(gè)刻劃頭4，從母基板W的已分?jǐn)嗟南逻呥M(jìn)行縱向刻劃至第4橫刻劃預(yù)定線L4為止，借此，形成縱向的第6刻劃線S6，該縱向的第6刻劃線S6形成單位產(chǎn)品Wl的實(shí)質(zhì)上的右邊。繼而，如圖15及圖16所示，以4個(gè)刻劃頭4從母基板W的已分?jǐn)嗟南逻呥M(jìn)行縱向刻劃至第4橫刻劃預(yù)定線L4為止，借此，加工形成單位產(chǎn)品的實(shí)質(zhì)上的左邊的第7刻劃線S7。在此情形時(shí)，亦可以相反步驟形成第6刻劃線S6與第7刻劃線S7。其后，如圖17所示，借由位于右端的刻劃頭4的刀輪沿著第4橫刻劃預(yù)定線L4(參閱圖1)進(jìn)行刻劃，而形成橫向的第8刻劃線S8。其次，如圖18所示，以第I裂斷部B(參閱圖1)從上述第8刻劃線分?jǐn)嗄富錡，借此完全分?jǐn)嗖⒉们邢乱粋€(gè)矩形基板Wa。經(jīng)由上述步驟而獲得的矩形基板Wa中，由于劃分各單位產(chǎn)品Wl的縱向的第2、第3刻劃線S2、S3(或第6、第7刻劃線S6、S7)形成于橫向的第I及第4刻劃線S1、S4(或第5、第8刻劃線S5、S8)之間，故不存在因越過(guò)橫向刻劃線交叉而導(dǎo)致形成的交點(diǎn)。借此，可顯著地抑制于上述交點(diǎn)的“切角”或“擠裂”的產(chǎn)生，并且亦可消除“交點(diǎn)跳越”的現(xiàn)象。又，由于不改變從母基板W裁切的矩形基板Wa的方向，以維持著其姿勢(shì)的狀態(tài)沿-Y方向搬送，繼而借由搬送部D朝向第2裂斷部C沿X方向搬送而依序分?jǐn)鄦挝划a(chǎn)品W1，故僅進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的搬送?？墒÷杂靡匀绗F(xiàn)有習(xí)知的般使矩形基板旋轉(zhuǎn)90度的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(旋轉(zhuǎn)盤)，借此，可實(shí)現(xiàn)設(shè)備成本的降低，并且可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)線的精簡(jiǎn)化。進(jìn)而，亦無(wú)需進(jìn)行伴隨著矩形基板的旋轉(zhuǎn)的角度的微調(diào)整作業(yè)。在上述實(shí)施例中，使母基板W沿Y方向移動(dòng)而加工縱向刻劃線，但亦可相反地以可移動(dòng)支持刻劃頭4的橫梁3或支柱2的方式進(jìn)行刻劃。又，以右端的I個(gè)刀輪加工橫向刻劃線，但亦可使用其它刀輪進(jìn)行加工。在上述實(shí)施例中，準(zhǔn)備與矩形基板Wa中的單位產(chǎn)品Wl為相同數(shù)量的刻劃頭4，但若生產(chǎn)速度無(wú)問(wèn)題，則亦可設(shè)刻劃頭為I個(gè)，而逐一地形成縱向刻劃線。而且，在本實(shí)施例的分?jǐn)喾椒ㄖ?，借由第I裂斷部從母基板裁切借由刻劃線所劃分的多個(gè)單位產(chǎn)品沿著長(zhǎng)度方向排列為一行的矩形基板，且不改變?cè)撍们械木匦位宓姆较蚨跃S持著其姿勢(shì)的狀態(tài)沿著基板長(zhǎng)度方向借由搬送部搬送至第2裂斷部，而從上述刻劃線依序分?jǐn)啵璐瞬们袉挝划a(chǎn)品。借由以此方式，由于從母基板所裁切的矩形基板以維持著其姿勢(shì)的狀態(tài)不旋轉(zhuǎn)地沿著基板長(zhǎng)度方向搬送至裂斷部為止分?jǐn)酁閱挝划a(chǎn)品，故可省略用以如現(xiàn)有習(xí)知的般使矩形基板旋轉(zhuǎn)90度的機(jī)構(gòu)，借此，亦具有可實(shí)現(xiàn)設(shè)備成本的降低，并且可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)線的精簡(jiǎn)化的效果。本發(fā)明的分?jǐn)喾椒ㄊ抢糜谟刹ＡЩ宓却嘈圆牧纤鶚?gòu)成的母基板所形成矩形基板，進(jìn)而分?jǐn)酁閱挝划a(chǎn)品的分?jǐn)喾椒āＲ陨纤?，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。權(quán)利要求1.一種母基板的刻劃方法，是借由刀輪進(jìn)行的母基板的刻劃方法，其特征在于其由下述步驟構(gòu)成借由沿著母基板的第I橫刻劃預(yù)定線進(jìn)行刻劃，形成劃分從此處裁切的矩形基板的下邊的橫向的第I刻劃線的步驟；其次，以與上述矩形基板中的單位產(chǎn)品的數(shù)量相同的數(shù)量進(jìn)行縱向刻劃至與上述第I刻劃線平行且設(shè)定于形成上述矩形基板的上邊的位置的第2橫刻劃預(yù)定線為止，借此，形成縱向的第2刻劃線，該縱向的第2刻劃線分別形成上述單位產(chǎn)品的實(shí)質(zhì)上的右邊，以及以與上述矩形基板中的單位產(chǎn)品的數(shù)量相同的數(shù)量進(jìn)行縱向刻劃，借此，形成縱向的第3刻劃線，該縱向的第3刻劃線分別形成上述單位產(chǎn)品的實(shí)質(zhì)上的左邊的步驟；繼而，借由沿著上述第2橫刻劃預(yù)定線進(jìn)行刻劃，形成劃分上述矩形基板的上邊的橫向的第4刻劃線的步驟。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的母基板的刻劃方法，其特征在于上述縱向的第2刻劃線、以及上述縱向的第3刻劃線使用與上述矩形基板中的單位產(chǎn)品的數(shù)量為相同數(shù)量的刀輪，同時(shí)地刻劃第2刻劃線彼此、第3刻劃線彼此。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的母基板的刻劃方法，其特征在于在形成上述橫向的第I刻劃線的步驟與形成第4刻劃線的步驟中，借由固定上述母基板將上述刀輪橫向移動(dòng)而進(jìn)行加工；在形成上述縱向的第2刻劃線與第3刻劃線的步驟中，借由固定上述刀輪并移動(dòng)上述母基板而進(jìn)行加工。4.一種母基板的分?jǐn)喾椒?，其特征在于借由使刀輪沿著母基板的第I橫刻劃預(yù)定線進(jìn)行刻劃，而形成劃分母基板的下邊部分的端材區(qū)域的橫向的第I刻劃線；其次，借由第I裂斷部將該端材區(qū)域從第I刻劃線分?jǐn)喽鴹壋瞬膮^(qū)域；其次，使用與應(yīng)形成的矩形基板中的單位產(chǎn)品的數(shù)量相同的數(shù)量的刀輪，從母基板被分?jǐn)嗟南逻呏僚c其平行的第2橫刻劃預(yù)定線為止進(jìn)行縱向刻劃，借此，形成縱向的第2刻劃線與第3刻劃線，該第2劃線形成單位產(chǎn)品的實(shí)質(zhì)上的右邊，該第3劃線形成左邊；其次，借由使刀輪沿著上述第2橫刻劃預(yù)定線進(jìn)行刻劃而形成橫向的第4刻劃線；繼而，借由以第I裂斷部從第4刻劃線分?jǐn)嗄富?，而裁切借由縱向刻劃線所劃分的多個(gè)單位產(chǎn)品沿著長(zhǎng)度方向排列為一行的矩形基板；借由搬送部將該裁切后的矩形基板以維持著其姿勢(shì)的狀態(tài)沿著基板長(zhǎng)度方向搬送至第2裂斷部而從縱向刻劃線依序分?jǐn)?，借此裁切單位產(chǎn)品。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的母基板的分?jǐn)喾椒?，其特征在于以第I裂斷部裁切上述矩形基板的加工之前，以沿與該矩形基板的長(zhǎng)度方向正交的方向搬送的方式進(jìn)行加工；將上述所裁切后的矩形基板以第2裂斷部從矩形基板分?jǐn)酁閱挝划a(chǎn)品的加工，其是以沿與上述矩形基板的長(zhǎng)度方向相同的方向搬送的方式進(jìn)行加工。全文摘要本發(fā)明是有關(guān)于一種抑制分?jǐn)嗷鍟r(shí)的“缺角”、“擠裂”、“交點(diǎn)跳越”等不良的母基板的刻劃方法。本發(fā)明的母基板的刻劃方法是由下述步驟構(gòu)成(a)借由沿著母基板的第1橫刻劃預(yù)定線進(jìn)行刻劃，而形成劃分從此處裁切的矩形基板的下邊的橫向的第1刻劃線的步驟；(b)以與矩形基板中的單位產(chǎn)品的數(shù)量相同的數(shù)量進(jìn)行縱向刻劃至設(shè)定于形成矩形基板的上邊的位置的第2橫刻劃預(yù)定線為止，借此，形成縱向的第2、第3刻劃線，該縱向的第2、第3刻劃線分別形成單位產(chǎn)品的實(shí)質(zhì)上的右邊及左邊的步驟；以及(c)借由沿著第2橫刻劃預(yù)定線進(jìn)行刻劃，形成劃分矩形基板的上邊的橫向的第4刻劃線的步驟。文檔編號(hào)C03B33/02GK103030264SQ201210337810公開日2013年4月10日申請(qǐng)日期2012年9月5日優(yōu)先權(quán)日2011年10月4日發(fā)明者酒井敏行申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司