專利名稱：：襯底劃分設(shè)備和使用其的襯底劃分方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種襯底劃分設(shè)備(substratedividingapparatus)和使用其的襯底劃分方法，且更明確地說(shuō)涉及一種用于劃分由兩個(gè)結(jié)合的(bonded)襯底薄片(substratesheet)形成的結(jié)合襯底的襯底劃分設(shè)備和使用其的襯底劃分方法。
背景技術(shù)：
：一般來(lái)說(shuō)，用于平板顯示器(flatpaneldisplay)等的面板是使用易碎襯底來(lái)制造，且面板可主要分類為由一個(gè)薄片形成的單一薄片襯底和具有2個(gè)結(jié)合在一起的襯底的結(jié)合襯底。因?yàn)榻Y(jié)合襯底經(jīng)制造并用于廣范圍尺寸的應(yīng)用，從用于便攜式電話的液晶顯示器的小面板到用于TV或顯示器的大面板，所以其是從大規(guī)模的母襯底(mothersubstrate)劃分為具有某一尺寸且用于不同面板的單位襯底。劃分母襯底的方法包含使用激光束來(lái)劃分襯底，以及使用內(nèi)嵌有小金剛石的劃線輪(scribewheel)來(lái)劃分襯底。使用劃線輪來(lái)劃分母襯底的方法包含執(zhí)行劃線工藝，其中將劃線輪放置成與母襯底上的待切割的線接觸，且接著沿著所述待切割的線移動(dòng)劃線輪以切割具有某一深度的切劃線(scribeline)；以及執(zhí)行分裂工藝(breakingprocess)，其中將物理力施加到母襯底以沿著切劃線使其破裂，并將母襯底劃分為單位襯底。圖1是說(shuō)明使用劃線輪的現(xiàn)有技術(shù)襯底劃分方法的工藝圖。如圖IA所示，在具有與第二襯底22結(jié)合的第一襯底21的母襯底20定位在臺(tái)(table)4上的情況下，使用劃線輪2在第一襯底21中形成第一切劃線21a。如圖IB所示，將母襯底20翻轉(zhuǎn)180°，且如圖IC所示，使用分裂桿(breakbar)3來(lái)按壓第二襯底22以沿著第一襯底21中形成的第一切劃線21a產(chǎn)生第一裂縫(crack)21b，并劃分第一襯底21。接下來(lái)，如圖ID所示，再次使用劃線輪2以在第二襯底22中形成第二切劃線22a。如圖IE所示，將母襯底20翻轉(zhuǎn)180°，且如圖IF所示，使用分裂桿3按壓第一襯底21以沿著第二襯底22中形成的第二切劃線22a產(chǎn)生第二裂縫22b，并劃分第二襯底22，借此將母襯底20劃分為多個(gè)單位襯底。然而，利用現(xiàn)有技術(shù)方法，在母襯底中形成切劃線之后翻轉(zhuǎn)(flipping)母襯底的過(guò)程期間，在母襯底中產(chǎn)生異常裂縫，從而增加所劃分的單位襯底中的缺陷率(rateofdefects)0并且，因?yàn)槟敢r底在劃分工藝期間必須翻轉(zhuǎn)許多次，所以襯底的翻轉(zhuǎn)較麻煩，且處理速度減慢，借此減小生產(chǎn)率。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供一種能夠通過(guò)在劃分一結(jié)合襯底的工藝期間當(dāng)在母襯底中形成切劃線之后不翻轉(zhuǎn)母襯底的情況下分裂母襯底而防止對(duì)母襯底的損壞的襯底劃分設(shè)備和方法。本發(fā)明還提供一種能夠通過(guò)在分裂母襯底期間按壓切劃線的兩側(cè)而容易且平滑地劃分母襯底的襯底劃分設(shè)備和方法。本發(fā)明進(jìn)一步提供一種能夠通過(guò)在母襯底的分裂工藝期間在分裂輥施加壓力的區(qū)處的臺(tái)中形成分裂凹進(jìn)部分而在不損壞母襯底的情況下平滑地分裂母襯底的襯底劃分設(shè)備和方法。根據(jù)示范性實(shí)施例，一種用于將母襯底劃分為多個(gè)單位襯底的襯底劃分設(shè)備包含臺(tái)，其上安置母襯底，所述臺(tái)包含一在對(duì)應(yīng)于所安置的母襯底的既定切割線的位置處的切割線支撐部分，以及在切割線支撐部分的兩側(cè)并排形成的凹面形分裂凹進(jìn)部分；劃線構(gòu)件，其經(jīng)配置以按壓安置在臺(tái)上的母襯底的頂部表面的對(duì)應(yīng)于臺(tái)的切割線支撐部分的區(qū)，且在母襯底中形成切劃線；以及分裂構(gòu)件，其經(jīng)配置以按壓安置在臺(tái)上的母襯底的頂部表面的對(duì)應(yīng)于臺(tái)的分裂凹進(jìn)部分的區(qū)，且劃分母襯底。所述劃線構(gòu)件可包含劃線輪，其上下移動(dòng)以在母襯底中形成切劃線。切割線支撐部分的寬度可形成為與劃線輪的寬度相同或比劃線輪的寬度寬。所述分裂構(gòu)件可包含分裂輥，其上下移動(dòng)以按壓母襯底中形成的切劃線的兩側(cè)的區(qū)來(lái)劃分母襯底。一對(duì)凸緣輪可形成在分裂輥的外周邊上以對(duì)應(yīng)于分裂凹進(jìn)部分。凸緣輪的寬度可小于分裂凹進(jìn)部分的寬度。根據(jù)另一示范性實(shí)施例，一種用于將母襯底劃分為多個(gè)單位襯底的襯底劃分設(shè)備包含平臺(tái)單元，其上安置母襯底；Y軸驅(qū)動(dòng)單元，其提供在所述平臺(tái)單元上且在Y軸方向上移動(dòng)；至少兩個(gè)Z軸驅(qū)動(dòng)單元，其提供在Y軸驅(qū)動(dòng)單元上且在Z軸方向上移動(dòng)；劃線單元，其安裝在Z軸驅(qū)動(dòng)單元中的至少一者上以在母襯底中形成切劃線；以及分裂單元，其安裝在Z軸驅(qū)動(dòng)單元中的至少一者上以劃分母襯底，其中由劃線單元形成切劃線，其中平臺(tái)單元和Y軸驅(qū)動(dòng)單元中的至少一者在X軸方向上移動(dòng)。平臺(tái)單元可包含一安置著母襯底的臺(tái)，以及在X軸方向上移動(dòng)該臺(tái)的X軸驅(qū)動(dòng)單兀。平臺(tái)單元可進(jìn)一步包含一在XY平面上旋轉(zhuǎn)該臺(tái)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元。可在臺(tái)的頂部表面中在對(duì)應(yīng)于所安置的母襯底的既定切割線的位置處形成切割線支撐部分，且在切割線支撐部分的兩側(cè)并排地形成凹面形分裂凹進(jìn)部分。所述劃線單元可包含一在母襯底中形成切劃線的劃線輪，以及一將劃線輪固定到Z軸驅(qū)動(dòng)單元的輪固定主體。所述分裂單元可包含按壓母襯底中形成的切劃線的兩側(cè)的部分來(lái)劃分母襯底的分裂輥，以及將分裂輥固定到Z軸驅(qū)動(dòng)單元的輥固定主體。一對(duì)凸緣輪可形成在分裂輥的外周邊上以對(duì)應(yīng)于分裂凹進(jìn)部分。劃線單元和分裂單元可交替地設(shè)置在所述多個(gè)Z軸驅(qū)動(dòng)單元上。根據(jù)又一示范性實(shí)施例，一種用于將具有與第二襯底結(jié)合的第一襯底的母襯底劃分為多個(gè)單位襯底的襯底劃分方法，所述襯底劃分方法包含將母襯底安置在臺(tái)上以使得第一襯底設(shè)置在頂部；在第一襯底中形成切劃線；通過(guò)按壓第一襯底中形成的切劃線的兩側(cè)而沿著第一襯底中形成的切劃線來(lái)劃分第一襯底；在臺(tái)上翻轉(zhuǎn)并安置母襯底以使得第二襯底設(shè)置在頂部；在第二襯底中形成切劃線；以及通過(guò)按壓第二襯底中形成的切劃線的兩側(cè)而沿著第二襯底中形成的切劃線來(lái)劃分第二襯底。在分別劃分第一襯底和劃分第二襯底期間，切劃線的兩側(cè)被按壓的方向可與當(dāng)形成切劃線時(shí)母襯底被按壓的方向相同。在第一襯底中形成切劃線以及在第二襯底中形成切劃線可分別包含在臺(tái)中形成切割線支撐部分以對(duì)應(yīng)于所安置的母襯底中的既定切割線；以及在母襯底的底部處以該臺(tái)的切割線支撐部分來(lái)支撐母襯底。劃分第一襯底和劃分第二襯底可包含在臺(tái)中的切割線支撐部分的兩側(cè)并排形成凹面形分裂凹進(jìn)部分；以及通過(guò)按壓第一襯底和第二襯底的上表面上的對(duì)應(yīng)于分裂凹進(jìn)部分的區(qū)而劃分第一襯底和第二襯底。從結(jié)合附圖進(jìn)行的以下描述中將更詳細(xì)了解示范性實(shí)施例，附圖中圖1是說(shuō)明使用劃線輪的先前技術(shù)襯底劃分方法的工藝圖。圖2是根據(jù)一示范性實(shí)施例的襯底劃分設(shè)備的示意透視圖。圖3是說(shuō)明另一示范性實(shí)施例的襯底劃分設(shè)備的主要元件的透視圖。圖4是說(shuō)明又一示范性實(shí)施例的襯底劃分設(shè)備的主要元件的前視圖。圖5A和5B是根據(jù)另外其它示范性實(shí)施例的臺(tái)的平面圖和截面圖。圖6是說(shuō)明再一示范性實(shí)施例的襯底劃分方法的工藝圖。具體實(shí)施例方式下文中，將參看附圖詳細(xì)描述特定實(shí)施例。然而，本發(fā)明可以不同形式來(lái)實(shí)施且不應(yīng)解釋為限于本文陳述的實(shí)施例。事實(shí)上，提供這些實(shí)施例以使得本發(fā)明將是詳盡且完整的，且將把本發(fā)明的范圍完全傳達(dá)給所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員。相同參考標(biāo)號(hào)始終表示相同元件。首先，實(shí)施例中描述的結(jié)合襯底是用于平板顯示器等中的例如玻璃襯底、陶瓷和半導(dǎo)體晶片等易碎襯底，且為了提供適宜的描述，下文將描述用于將具有用于液晶顯示器中的玻璃襯底的兩個(gè)結(jié)合薄片的母襯底切割成多個(gè)單位襯底的設(shè)備和方法的實(shí)例。圖2是根據(jù)一示范性實(shí)施例的襯底劃分設(shè)備的示意透視圖，圖3是說(shuō)明另一示范性實(shí)施例的襯底劃分設(shè)備的主要元件的透視圖，圖4是說(shuō)明又一示范性實(shí)施例的襯底劃分設(shè)備的主要元件的前視圖，且圖5A和5B是根據(jù)另外其它示范性實(shí)施例的臺(tái)的平面圖和截面圖。如圖1到圖5B中所說(shuō)明，根據(jù)一實(shí)施例的襯底劃分設(shè)備包含平臺(tái)單元(stageunit)100，其上安置母襯底10；Y軸驅(qū)動(dòng)單元200，其提供在所述平臺(tái)單元100上以在Y軸方向上移動(dòng)；至少兩個(gè)Z軸驅(qū)動(dòng)單元300，其提供在Y軸驅(qū)動(dòng)單元200上以在Z軸方向上移動(dòng)；劃線單元400，其安裝在Z軸驅(qū)動(dòng)單元300中的至少一者上以在母襯底10中形成切劃線；以及分裂單元500，其安裝在Z軸驅(qū)動(dòng)單元300中的至少一者上以劃分母襯底10，其中由劃線單元400形成切劃線。平臺(tái)單元100是用于當(dāng)安置時(shí)在X軸方向上移動(dòng)母襯底10的構(gòu)件且包含形成平坦表面的表面板(surfaceplate)110、提供在表面板110上方且安置有母襯底10的臺(tái)120，以及在X軸方向上移動(dòng)該臺(tái)120的X軸驅(qū)動(dòng)單元130。此處，如圖2所示，“X軸方向”是指該臺(tái)120的向前或向后移動(dòng)。表面板110具有某一寬度，且形成具有受控平面性的平面頂部表面。表面板110不限于所描述的實(shí)施例，且可在配置方面經(jīng)不同地修改以提供用于該臺(tái)120和X軸驅(qū)動(dòng)單元130的安裝空間。臺(tái)120具有安置在其上的母襯底10，且是用于在劃線和分裂工藝期間支撐母襯底10的構(gòu)件。在圖5A和圖5B所示的狀態(tài)中，臺(tái)120筆直地界定延伸的切割線支撐部分121以對(duì)應(yīng)于用于在母襯底10上切割的線，且界定多個(gè)在切割線支撐部分121中的每一者的兩側(cè)處并排的分裂凹進(jìn)部分(breakingrecessportion)123。切割線支撐部分121是用于當(dāng)母襯底10在劃線期間被劃線輪420(待描述)按壓時(shí)支撐母襯底10的部分，且是用于當(dāng)母襯底10在分裂期間變形時(shí)支撐母襯底10的構(gòu)件。因此，可使切割線支撐部分121的寬度等于或稍大于劃線輪420的寬度。如果使切割線支撐部分121的寬度小于劃線輪420的寬度，那么母襯底10在劃線期間將不被良好地支撐，使得將不如所想要的那樣地形成切劃線，且如果使切割線支撐部分121的寬度過(guò)分大于劃線輪420的寬度，那么將由于在分裂期間支撐母襯底10的變形的過(guò)寬表面的緣故而發(fā)生不想要的裂縫。并且，切割線支撐部分121可經(jīng)形成以具有與上面安置有母襯底10的臺(tái)120的其它區(qū)不同的最高高度。分裂凹進(jìn)部分123是用于提供在分裂期間母襯底10被分裂輥(breakroller)520(待描述)按壓時(shí)母襯底10可在其中變形的空間的構(gòu)件，且可形成為凹進(jìn)的形式，以使得其最上部分低于上面安置有母襯底10的臺(tái)120的其它區(qū)。此處，分裂凹進(jìn)部分123的寬度可經(jīng)設(shè)定以允許當(dāng)母襯底10被分裂輥520按壓時(shí)母襯底10變形且分裂。多個(gè)吸收孔(suctionhole)125形成在臺(tái)120的頂部表面中，以當(dāng)安置母襯底10時(shí)通過(guò)吸收空氣而將母襯底10固定到臺(tái)120。此處，所述多個(gè)吸收孔125可充分地形成以將母襯底10牢固地固定到臺(tái)120，且可經(jīng)形成以能夠當(dāng)母襯底10已被劃分為若干單位襯底時(shí)將每一單位襯底牢固地固定到臺(tái)120。并且，可進(jìn)一步包含旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元(未圖示)以在XY平面上旋轉(zhuǎn)該臺(tái)120。雖然圖中未繪示，但旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元是可在XY平面上在向前和相反方向上以90°旋轉(zhuǎn)該臺(tái)120的構(gòu)件，且可涉及例如馬達(dá)驅(qū)動(dòng)方法。X軸驅(qū)動(dòng)單元130是用于在表面板110上沿著X軸移動(dòng)該臺(tái)120的構(gòu)件，且可包含一對(duì)在表面板110上沿著X軸延伸的第一導(dǎo)引軌道(guiderail)131，以及安裝在第一導(dǎo)引軌道131上以支撐該臺(tái)120的多個(gè)X軸移動(dòng)塊133。廣范圍的方法中的任一者可由X軸移動(dòng)塊133采用以在第一導(dǎo)引軌道131上沿著X軸移動(dòng)，例如線性驅(qū)動(dòng)方法、滾珠-螺桿(ball-screw)驅(qū)動(dòng)方法、汽缸(cylinder)驅(qū)動(dòng)方法等。Y軸驅(qū)動(dòng)單元200是用于在Y軸方向上移動(dòng)劃線單元400和分裂單元500的構(gòu)件。此處，如圖2所示，“Y軸方向”是指在橫向方向上移動(dòng)劃線單元400和分裂單元500。Y軸驅(qū)動(dòng)單元200可包含一在臺(tái)120的上部部分上沿著Y軸延伸的第二導(dǎo)引軌道210，以及在第二導(dǎo)引軌道210上沿著Y軸移動(dòng)的至少一個(gè)Y軸移動(dòng)塊220。此處，Y軸移動(dòng)塊220如同X軸移動(dòng)塊133—樣可采用各種用于在第二導(dǎo)引軌道210上沿著Y軸移動(dòng)的方法中的任一者，且可采用線性移動(dòng)方法、滾珠-螺桿移動(dòng)方法、汽缸移動(dòng)方法等。雖然在當(dāng)前實(shí)施例中，Y軸驅(qū)動(dòng)單元200描述為不沿著X軸移動(dòng)，但其不限于此，且或者可經(jīng)配置以允許該臺(tái)120沿著與X軸相反的軸移動(dòng)，而不管該臺(tái)是否確實(shí)沿著X軸移動(dòng)。Z軸驅(qū)動(dòng)單元300是提供在Y軸移動(dòng)塊220上以在Z軸方向上移動(dòng)劃線單元400和分裂單元500的構(gòu)件。此處，如圖2所示，“Z軸方向”是指垂直向上或向下移動(dòng)劃線單元400和分裂單元500。Z軸驅(qū)動(dòng)單元300可包含一在Y軸移動(dòng)塊220上沿著Z軸延伸的第三導(dǎo)引軌道310，以及在第三導(dǎo)引軌道310上沿著Z軸移動(dòng)的Z軸移動(dòng)塊320。此處，Z軸移動(dòng)塊320如同X軸移動(dòng)塊133和Y軸移動(dòng)塊220—樣可采用各種用于在第三導(dǎo)引軌道310上沿著Z軸移動(dòng)的方法中的任一者，且可采用線性移動(dòng)方法、滾珠-螺桿移動(dòng)方法、汽缸移動(dòng)方法等。Z軸驅(qū)動(dòng)單元300提供有多個(gè)，其中每一者具有所安裝的劃線單元400或分裂單元500。Z軸驅(qū)動(dòng)單元300可以偶數(shù)數(shù)目提供，且具有交替安裝的劃線單元400和分裂單元500。因此，當(dāng)母襯底10具有10條線待切割時(shí)，在劃線和分裂工藝期間，劃線單元400和分裂單元500可定位在奇數(shù)編號(hào)的待切割線上以處理奇數(shù)編號(hào)的待切割線。接著，Y軸驅(qū)動(dòng)單元可移動(dòng)以將劃線單元400和分裂單元500定位在偶數(shù)編號(hào)的待切割線上以處理偶數(shù)編號(hào)的待切割線。因此，可使Y軸驅(qū)動(dòng)單元200在各工藝之間的移動(dòng)距離最小。劃線單元400是用于通過(guò)按壓母襯底10而在母襯底10中形成切劃線Ila和1的構(gòu)件，且包含一安裝在Z軸移動(dòng)塊320上的輪固定主體(wheelfixingbody)410以及一安裝在輪固定主體410上的劃線輪420。劃線輪420可采用金剛石輪。此處，可使劃線輪420的邊緣尖銳以形成切劃線。分裂單元500是用于在切劃線的兩側(cè)處按壓用來(lái)形成切劃線的母襯底10以沿著切劃線產(chǎn)生裂縫并劃分母襯底10的構(gòu)件，且包含安裝在Z軸移動(dòng)塊320上的輥固定主體510以及安裝在輥固定主體510上的分裂輥520。分裂輥520可具有形成在其外周邊上以對(duì)應(yīng)于分裂凹進(jìn)部分123的一對(duì)凸緣輪(ridgewheel)521.因此，當(dāng)分裂輥520沿著Z軸下降時(shí)，所述一對(duì)凸緣輪521中的每一者按壓切劃線的兩側(cè)以確保在母襯底10中產(chǎn)生所需裂縫。因此，凸緣輪521的寬度可小于分裂凹進(jìn)部分123的寬度。如果凸緣輪521應(yīng)在寬度上大于分裂凹進(jìn)部分123，那么即使通過(guò)分裂輥520的按壓，母襯底10也不會(huì)變形且不會(huì)在切劃線中產(chǎn)生裂縫。將參看圖式提供一種使用如以上實(shí)施例中配置的襯底劃分設(shè)備來(lái)劃分襯底的方法。圖6是說(shuō)明再一示范性實(shí)施例的襯底劃分方法的工藝圖。如圖6A所示，將具有與第二襯底12結(jié)合的第一襯底11的母襯底10安置在臺(tái)120上。此處，通過(guò)經(jīng)由吸收孔125來(lái)提供吸力，將母襯底10固定到臺(tái)120。在第一襯底11設(shè)置在固定于臺(tái)120上的第二襯底12的頂部和底部表面處的情況下，在第一襯底11上執(zhí)行劃線。此處，將待切割線劃分為奇數(shù)編號(hào)和偶數(shù)編號(hào)的線，且首先移動(dòng)Y軸移動(dòng)塊220以將劃線單元400定位在奇數(shù)編號(hào)的線上。接下來(lái)，具備劃線單元400的Z軸移動(dòng)塊320沿著Z軸下降，且通過(guò)劃線輪420而在奇數(shù)編號(hào)的待切割線上形成第一切劃線11a。接著，下降的Z軸移動(dòng)塊320上升，其后移動(dòng)Y軸移動(dòng)塊220以將劃線輪420定位在偶數(shù)編號(hào)的線上。隨后，具備劃線單元400的Z軸移動(dòng)塊320下降以用劃線輪420而在偶數(shù)編號(hào)的待切割線上形成第一切劃線11a。以此方式，當(dāng)在第一襯底11上的待切割線上形成所有的第一切劃線Ila時(shí)，如圖6B所示，劃線輪420上升，且具備分裂單元500的Z軸移動(dòng)塊320下降以用分裂輥520按壓奇數(shù)編號(hào)的待切割線上形成的第一切劃線Ila的兩側(cè)。此處，因?yàn)榕c相關(guān)技術(shù)中不同，不執(zhí)行母襯底10的翻轉(zhuǎn)，所以第一切劃線Ila的兩側(cè)被按壓的方向可以是與當(dāng)形成第一切劃線Ila時(shí)第一襯底11被按壓的方向相同的方向，使得可防止在第一襯底11中產(chǎn)生不想要的裂縫。當(dāng)用分裂輥520按壓第一切劃線Ila的兩側(cè)時(shí)，分裂輥520的凸緣輪521按壓第一襯底11，同時(shí)第一切劃線Ila形成在第一襯底11上的點(diǎn)被臺(tái)120的切割線支撐部分121支撐，使得兩側(cè)變形且在奇數(shù)編號(hào)的線上沿著第一切劃線Ila形成第一裂縫lib。接著，下降的分裂輥520上升，其后移動(dòng)Y軸移動(dòng)塊220以將分裂輥520定位在偶數(shù)編號(hào)的待切割線上。接著，分裂輥520再次下降以沿著偶數(shù)編號(hào)的第一切劃線Ila而在第一襯底11上產(chǎn)生第一裂縫11b，并切割第一襯底11。當(dāng)以此方式切割第一襯底11時(shí)，母襯底10翻轉(zhuǎn)180°，如圖6C所示，以將第二襯底12設(shè)置在固定到臺(tái)120的第一襯底11的頂部和底部表面處。因?yàn)槟敢r底10在此狀態(tài)中在第一襯底11的切割完成的情況下翻轉(zhuǎn)，所以與其中母襯底10在僅形成第一切劃線的情況下翻轉(zhuǎn)的相關(guān)技術(shù)方法相比，可防止在母襯底10中形成不想要的裂縫。接下來(lái)，參看圖6D，劃線輪420下降以在第二襯底12中形成第二切劃線12a。當(dāng)然，可以與第一襯底11的劃線工藝(其中奇數(shù)編號(hào)的線與偶數(shù)編號(hào)的線分離)相同的方式執(zhí)行劃線。當(dāng)已在第二襯底12上的待切割線上形成所有的第二切劃線12a時(shí)，如圖6E所示，使用分裂輥520在第二襯底12中沿著第二切劃線1形成第二裂縫12b，以切割第二襯底12。當(dāng)然，與第一襯底11的分裂工藝中一樣，可通過(guò)劃分奇數(shù)編號(hào)的線與偶數(shù)編號(hào)的線來(lái)執(zhí)行分裂。各實(shí)施例不限于基于如上所述的奇數(shù)編號(hào)的線與偶數(shù)編號(hào)的線的區(qū)分而在兩個(gè)階段中執(zhí)行劃線和分裂，且處理可根據(jù)母襯底10上的待切割線的數(shù)目而以許多方式變化。根據(jù)實(shí)施例，在上面定位有一結(jié)合襯底的臺(tái)中形成分裂凹進(jìn)部分，且在劃分母襯底的工藝期間，在母襯底中形成切劃線之后，在不翻轉(zhuǎn)母襯底的情況下執(zhí)行母襯底的分裂，因此防止由于翻轉(zhuǎn)母襯底而形成異常裂縫。并且，通過(guò)用分裂輥而在一結(jié)合襯底上沿著分裂凹進(jìn)部分來(lái)按壓切劃線的兩側(cè)，可快速劃分該結(jié)合襯底，且可形成整潔的切割線。此外，通過(guò)與相關(guān)技術(shù)相比而減少襯底劃分工藝中的操作的數(shù)目，可增加將母襯底劃分為若干單位襯底時(shí)的制造速度和生產(chǎn)率。盡管已參考特定實(shí)施例描述襯底劃分設(shè)備和使用所述設(shè)備的襯底劃分方法，但其不限于此。因此，本領(lǐng)域的技術(shù)人員將容易了解，可在不脫離所附權(quán)利要求書界定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下對(duì)其作出各種修改和改變。權(quán)利要求1.一種用于將母襯底劃分為多個(gè)單位襯底的襯底劃分設(shè)備，所述襯底劃分設(shè)備包括臺(tái)，其上安置母襯底，所述臺(tái)包含一在對(duì)應(yīng)于安置的所述母襯底的既定切割線的位置處形成的切割線支撐部分，以及在所述切割線支撐部分的兩側(cè)并排形成的凹面形分裂凹進(jìn)部分；劃線構(gòu)件，其經(jīng)配置以按壓安置在所述臺(tái)上的所述母襯底的頂部表面的對(duì)應(yīng)于所述臺(tái)的所述切割線支撐部分的區(qū)，且在所述母襯底中形成切劃線；以及分裂構(gòu)件，其經(jīng)配置以按壓安置在所述臺(tái)上的所述母襯底的所述頂部表面的對(duì)應(yīng)于所述臺(tái)的所述分裂凹進(jìn)部分的區(qū)，且劃分所述母襯底。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底劃分設(shè)備，其中所述劃線構(gòu)件包括劃線輪，所述劃線輪上下移動(dòng)以在所述母襯底中形成所述切劃線。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的襯底劃分設(shè)備，其中所述切割線支撐部分的寬度形成為與所述劃線輪的寬度相同或比所述劃線輪的寬度寬。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底劃分設(shè)備，其中所述分裂構(gòu)件包括分裂輥，所述分裂輥上下移動(dòng)以按壓所述母襯底中形成的所述切劃線的兩側(cè)的區(qū)來(lái)劃分所述母襯底。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的襯底劃分設(shè)備，其中一對(duì)凸緣輪形成在所述分裂輥的外周邊上以對(duì)應(yīng)于所述分裂凹進(jìn)部分。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的襯底劃分設(shè)備，其中所述凸緣輪的寬度小于所述分裂凹進(jìn)部分的寬度。7.一種用于將母襯底劃分為多個(gè)單位襯底的襯底劃分設(shè)備，所述襯底劃分設(shè)備包括平臺(tái)單元，其上安置母襯底；Y軸驅(qū)動(dòng)單元，其提供在所述平臺(tái)單元上且在Y軸方向上移動(dòng)；至少兩個(gè)Z軸驅(qū)動(dòng)單元，其提供在所述Y軸驅(qū)動(dòng)單元上且在Z軸方向上移動(dòng)；劃線單元，其安裝在所述Z軸驅(qū)動(dòng)單元中的至少一者上以在所述母襯底中形成切劃線；以及分裂單元，其安裝在所述Z軸驅(qū)動(dòng)單元中的至少一者上以劃分所述母襯底，其中由所述劃線單元形成所述切劃線，其中所述平臺(tái)單元和所述Y軸驅(qū)動(dòng)單元中的至少一者在X軸方向上移動(dòng)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的襯底劃分設(shè)備，其中所述平臺(tái)單元包括臺(tái)，其上安置所述母襯底；以及X軸驅(qū)動(dòng)單元，其經(jīng)配置以在X軸方向上移動(dòng)所述臺(tái)。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯底劃分設(shè)備，其中所述平臺(tái)單元進(jìn)一步包括經(jīng)配置以在XY平面上旋轉(zhuǎn)所述臺(tái)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元。10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的襯底劃分設(shè)備，其中在所述臺(tái)的頂部表面中在對(duì)應(yīng)于安置的所述母襯底的既定切割線的位置處形成切割線支撐部分，且在所述切割線支撐部分的兩側(cè)并排地形成凹面形分裂凹進(jìn)部分。11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的襯底劃分設(shè)備，其中所述劃線單元包括劃線輪，其經(jīng)配置以在所述母襯底中形成所述切劃線；以及輪固定主體，其經(jīng)配置以將所述劃線輪固定到所述Z軸驅(qū)動(dòng)單元。12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的襯底劃分設(shè)備，其中所述分裂單元包括分裂輥，其經(jīng)配置以按壓所述母襯底中形成的所述切劃線的兩側(cè)的部分來(lái)劃分所述母襯底；以及輥固定主體，其經(jīng)配置以將所述分裂輥固定到所述Z軸驅(qū)動(dòng)單元。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的襯底劃分設(shè)備，其中一對(duì)凸緣輪形成在所述分裂輥的外周邊上以對(duì)應(yīng)于分裂凹進(jìn)部分。14.根據(jù)權(quán)利要求7所述的襯底劃分設(shè)備，其中所述劃線單元和所述分裂單元交替地設(shè)置在所述多個(gè)Z軸驅(qū)動(dòng)單元上。15.一種用于將具有與第二襯底結(jié)合的第一襯底的母襯底劃分為多個(gè)單位襯底的襯底劃分方法，所述襯底劃分方法包括將所述母襯底安置在臺(tái)上以使得所述第一襯底設(shè)置在頂部；在所述第一襯底中形成切劃線；通過(guò)按壓所述第一襯底中形成的所述切劃線的兩側(cè)而沿著所述第一襯底中形成的所述切劃線來(lái)劃分所述第一襯底；在所述臺(tái)上翻轉(zhuǎn)并安置所述母襯底以使得所述第二襯底設(shè)置在所述頂部；在所述第二襯底中形成切劃線；以及通過(guò)按壓所述第二襯底中形成的所述切劃線的兩側(cè)而沿著所述第二襯底中形成的所述切劃線來(lái)劃分所述第二襯底。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的襯底劃分方法，其中在分別劃分所述第一襯底和劃分所述第二襯底期間，所述切劃線的兩側(cè)被按壓的方向是與當(dāng)形成所述切劃線時(shí)所述母襯底被按壓的方向相同。17.根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的襯底劃分方法，其中在所述第一襯底中形成所述切劃線以及在所述第二襯底中形成所述切劃線分別包括在所述臺(tái)中形成切割線支撐部分以對(duì)應(yīng)于安置的所述母襯底中的既定切割線；以及在所述母襯底的底部處以所述臺(tái)的所述切割線支撐部分來(lái)支撐所述母襯底。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的襯底劃分方法，其中劃分所述第一襯底和劃分所述第二襯底包括在所述臺(tái)中的所述切割線支撐部分的兩側(cè)并排形成凹面形分裂凹進(jìn)部分；以及通過(guò)按壓所述第一襯底和所述第二襯底的上表面上的對(duì)應(yīng)于所述分裂凹進(jìn)部分的區(qū)而劃分所述第一襯底和所述第二襯底。全文摘要本發(fā)明提供一種用于劃分具有2個(gè)結(jié)合在一起的襯底薄片的結(jié)合襯底的襯底劃分設(shè)備和使用所述設(shè)備的襯底劃分方法。襯底劃分設(shè)備包含臺(tái)，其上安置母襯底，所述臺(tái)包含一在對(duì)應(yīng)于安置的所述母襯底的既定切割線的位置處形成的切割線支撐部分，以及在所述切割線支撐部分的兩側(cè)并排形成的凹面形分裂凹進(jìn)部分；劃線構(gòu)件，其經(jīng)配置以按壓安置在所述臺(tái)上的所述母襯底的頂部表面的對(duì)應(yīng)于所述臺(tái)的所述切割線支撐部分的區(qū)，且在所述母襯底中形成切劃線；以及分裂構(gòu)件，其經(jīng)配置以按壓安置在所述臺(tái)上的所述母襯底的所述頂部表面的對(duì)應(yīng)于所述臺(tái)的所述分裂凹進(jìn)部分的區(qū)，且劃分所述母襯底。文檔編號(hào)B28D5/00GK102097371SQ20101015170公開日2011年6月15日申請(qǐng)日期2010年4月14日優(yōu)先權(quán)日2009年12月14日發(fā)明者崔成宇,樸緡圭,林宗燮申請(qǐng)人:亞威科股份有限公司