專利名稱：一種石英坩堝用石英砂的制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種石英砂的制備方法，特別是一種石英坩堝用石英砂的制 備方法。
背景技術(shù)：
坩堝主要用于冶煉行業(yè)，其原料有金屬和非金屬兩種，是冶煉業(yè)的消耗 器材。當(dāng)今坩堝的頂尖產(chǎn)品，是半導(dǎo)體級(jí)高純石英玻璃坩堝。石英玻璃坩堝 是單晶硅生產(chǎn)中的關(guān)鍵必需品，沒(méi)有其它材料可以代替，是拉制大直徑單晶 硅的消耗性器皿，每生產(chǎn)1爐單晶硅就要用掉1只坩堝。
由于單晶硅是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的原材料，它對(duì)坩堝的要求十分苛刻， 因此對(duì)坩堝的制造原料也提出了更高的要求。所以研發(fā)出雜質(zhì)含量低的石英 坩堝用石英砂的制造方法具有重要的現(xiàn)實(shí)意義。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種新的可操 作性強(qiáng)、所得石英砂產(chǎn)品質(zhì)量?jī)?yōu)良的石英坩堝用石英砂的制備方法。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是通過(guò)以下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明是 一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其特點(diǎn)是，其步驟如下，
(1)選取鋁元素含量不大于ll卯m，鐵、鈣、鎂、鈦、鎳、錳、銅、鋰、鈉、 鉀、鈷和硼12種金屬元素含量之和不高于40ppm， 二氧化硅含量在 99.95%以上的石英石作原料，對(duì)該原料進(jìn)行清洗除雜處理，然后將其進(jìn) 行初級(jí)破碎至直徑4至5厘米，得一級(jí)石英料；
(2) 將一級(jí)石英料再進(jìn)行精選分級(jí)，作進(jìn)一步除雜處理，然后將分揀出的精 選石英料投入電爐，加熱至950。C一97(TC進(jìn)行高溫處理3—5小時(shí)，冷 卻得二級(jí)石英料；
(3) 對(duì)二級(jí)石英料進(jìn)行再一次分揀除雜處理，然后對(duì)其進(jìn)行二級(jí)破碎至直徑 不超過(guò)2厘米，再用高錳鋼對(duì)輥和電動(dòng)篩對(duì)其進(jìn)行三級(jí)粉碎和旋流分級(jí) 篩選，篩選出直徑為425ixm—88um的石英砂，然后用強(qiáng)磁選機(jī)對(duì)石英 砂進(jìn)行磁選處理，得三級(jí)石英料；
(4) 向三級(jí)石英料中加入濃度為28—32%的鹽酸和33—36%的氫氟酸，每噸 三級(jí)石英料中加入鹽酸145—155公斤、氫氟酸45—55公斤，再加入純 水浸沒(méi)三級(jí)石英料，1(TC一37。C酸洗24—72小時(shí)；然后濾除酸洗液， 用水沖洗直至完全去除酸洗液，得四級(jí)石英料；
(5) 向四級(jí)石英料中加入濃度為1一1.5°/。的碳酸鈉溶液，碳酸鈉溶液與四級(jí) 石英料的重量比為33—36: 1000，再加入純水浸沒(méi)四級(jí)石英料，42"C— 46。C堿洗50—70分鐘；然后濾除堿洗液，用水沖洗直至完全去除堿洗 液，得五級(jí)石英料；
(6) 用超聲波設(shè)備對(duì)五級(jí)石英料進(jìn)行超聲波震動(dòng)處理；然后向五級(jí)石英料中 加入濃度為28—32%的鹽酸溶液，每噸五級(jí)石英料中加入鹽酸80—120 公斤，再加入純水浸沒(méi)五級(jí)石英料，45"C—55。C酸洗60—100分鐘，然 后濾除酸洗液，用水沖洗直至完全去除酸洗液，得六級(jí)石英料；
(7) 將六級(jí)石英料投入浮選機(jī)，用4(TC一6(TC的純水浸沒(méi)六級(jí)石英料，然后 向其中加入浮選藥劑進(jìn)行浮選，所述的浮選藥劑為氨水、油酸、棕櫚酸、 煤油、氟化氨和異辛醇混合物，每噸六級(jí)石英料中加入氨水0. 1—0.2 公斤、油酸0. 4—0. 6公斤、棕櫚酸0. l—O. 3公斤、煤油0. 3—0. 4公 斤、氟化氨0. l—O. 2公斤、異辛醇0. 7—0. 8公斤，浮選后濾除浮選液， 用5(TC—6(TC的純水沖洗直至完全去除浮選液，得七級(jí)石英料；
(8) 用5(TC—6(TC的純水浸沒(méi)七級(jí)石英料，再向其中通入氯氣進(jìn)行氯化處 理，氯化處理后濾除處理液，得石英砂；然后用75%—95%的酒精浸沒(méi)石 英砂，醇洗60—80分鐘，濾除醇洗液，然后用純水沖選直至完全去除 醇洗液，將所提石英砂投入烤砂機(jī)進(jìn)行78(TC—81(rC的烘烤，烤完再用 磁選機(jī)進(jìn)行第二次磁選，最后過(guò)425um電動(dòng)篩，得成品石英砂。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題還可以通過(guò)以下的技術(shù)方案來(lái)進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。 以上所述的一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其特點(diǎn)是，在步驟(2)中， 精選石英料投入電爐進(jìn)行高溫處理的時(shí)間為4小時(shí)。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題還可以通過(guò)以下的技術(shù)方案來(lái)進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。 以上所述的一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其特點(diǎn)是，在步驟(4)中， 向三級(jí)石英料中加入的鹽酸濃度為30%，加入的氫氟酸濃度為35%，每噸三級(jí) 石英料中加入的鹽酸為150公斤，加入的氫氟酸為50公斤。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題還可以通過(guò)以下的技術(shù)方案來(lái)進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。 以上所述的一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其特點(diǎn)是，在步驟(5)中， 向四級(jí)石英料中加入的碳酸鈉溶液濃度為1.2%的，碳酸鈉溶液與四級(jí)石英料 的重量比為35: 1000。 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題還可以通過(guò)以下的技術(shù)方案來(lái)進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
以上所述的一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其特點(diǎn)是，在步驟(6)中， 向五級(jí)石英料中加入的鹽酸溶液的濃度為30°/。，每噸五級(jí)石英料中加入的鹽酸 為100公斤，5(TC酸洗80分鐘。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題還可以通過(guò)以下的技術(shù)方案來(lái)進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。 以上所述的一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其特點(diǎn)是，在步驟(8)中， 浸沒(méi)七級(jí)石英料的純水為55°C;浸沒(méi)石英砂的酒精的濃度為95%，醇洗時(shí)間 為70分鐘。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明方法根據(jù)石英原料中礦物雜質(zhì)、流體雜質(zhì)、無(wú) 素雜質(zhì)的成因機(jī)理，設(shè)計(jì)出工藝路線科學(xué)、可操作性強(qiáng)、適合工廠化大生產(chǎn) 的石英砂制備工藝。用本發(fā)明方法所制成的石英坩堝用石英砂中雜質(zhì)含量低， 其中鋁AI《5. 5卯m;鐵Fe《0. 15卯m;鈦Ti《3. l卯m; f丐Ca《0. 45ppm;鎂 Mg《0. 02ppm;鈉Na《0. 85卯m;鉀K《0. 25卯m;鋰Li《0. 10ppm; Si02》99. 99%， 雜質(zhì)元素總含量《12. 37ppm。本發(fā)明方法制得的石英砂完全可應(yīng)用于半導(dǎo)體 電子工業(yè)石英坩堝專用的高純低鋁石英坩堝原料，對(duì)半導(dǎo)體電子工業(yè)的發(fā)展 具有重要的意義。
具體實(shí)施例方式
實(shí)施例l。 一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其步驟如下， (1)選取鋁元素含量不大于llppm，鐵、鈣、鎂、鈦、鎳、錳、銅、鋰、鈉、 鉀、鈷和硼12種金屬元素含量之和不高于40ppm， 二氧化硅含量在 99.95%以上的石英石作原料，對(duì)該原料進(jìn)行清洗除雜處理，然后將其進(jìn) 行初級(jí)破碎至直徑4至5厘米，得一級(jí)石英料；
(2) 將一級(jí)石英料再進(jìn)行精選分級(jí)，作進(jìn)一步除雜處理，然后將分揀出的精
選石英料投入電爐，加熱至95(TC進(jìn)行高溫處理3小時(shí)，冷卻得二級(jí)石 英料；
(3) 對(duì)二級(jí)石英料進(jìn)行再一次分揀除雜處理，然后對(duì)其進(jìn)行二級(jí)破碎至直徑 不超過(guò)2厘米，再用高錳鋼對(duì)輥和電動(dòng)篩對(duì)其進(jìn)行三級(jí)粉碎和旋流分級(jí) 篩選，篩選出直徑為425iim—88ym的石英砂，然后用強(qiáng)磁選機(jī)對(duì)石英
砂進(jìn)行磁選處理，得三級(jí)石英料；
(4) 向三級(jí)石英料中加入濃度為28%的鹽酸和33%的氫氟酸，每噸三級(jí)石英 料中加入鹽酸145公斤、氫氟酸45公斤，再加入純水浸沒(méi)三級(jí)石英料， IO'C酸洗24小時(shí)；然后濾除酸洗液，用水沖洗直至完全去除酸洗液， 得四級(jí)石英料；
(5) 向四級(jí)石英料中加入濃度為1°/。的碳酸鈉溶液，碳酸鈉溶液與四級(jí)石英料 的重量比為33: 1000，再加入純水浸沒(méi)四級(jí)石英料，42"C堿洗50分鐘； 然后濾除堿洗液，用水沖洗直至完全去除堿洗液，得五級(jí)石英料；
(6) 用超聲波設(shè)備對(duì)五級(jí)石英料進(jìn)行超聲波震動(dòng)處理；然后向五級(jí)石英料中 加入濃度為28%的鹽酸溶液，每噸五級(jí)石英料中加入鹽酸80公斤，再加 入純水浸沒(méi)五級(jí)石英料，45t:酸洗60分鐘，然后濾除酸洗液，用水沖 洗直至完全去除酸洗液，得六級(jí)石英料；
(7) 將六級(jí)石英料投入浮選機(jī)，用4(TC的純水浸沒(méi)六級(jí)石英料，然后向其中 加入浮選藥劑進(jìn)行浮選，所述的浮選藥劑為氨水、油酸、棕櫚酸、煤油、 氟化氨和異辛醇混合物，每噸六級(jí)石英料中加入氨水O. 1公斤、油酸0.4 公斤、棕櫚酸O. l公斤、煤油0.3公斤、氟化氨0.1公斤、異辛醇0.7
公斤，浮選后濾除浮選液，用5(TC的純水沖洗直至完全去除浮選液，得 七級(jí)石英料；
(8)用5(TC的純水浸沒(méi)七級(jí)石英料，再向其中通入氯氣進(jìn)行氯化處理，氯化 處理后濾除處理液，得石英砂；然后用75%的酒精浸沒(méi)石英砂，醇洗60 分鐘，濾除醇洗液，然后用純水沖選直至完全去除醇洗液，將所提石英 砂投入烤砂機(jī)進(jìn)行78(TC的烘烤，烤完再用磁選機(jī)進(jìn)行第二次磁選，最 后過(guò)425um電動(dòng)篩，得成品石英砂。 實(shí)施例2。 一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其步驟如下，
(1) 選取鋁元素含量不大于ll卯m，鐵、鈣、鎂、鈦、鎳、錳、銅、鋰、鈉、 鉀、鈷和硼12種金屬元素含量之和不高于40ppm， 二氧化硅含量在 99.95%以上的石英石作原料，對(duì)該原料進(jìn)行清洗除雜處理，然后將其進(jìn) 行初級(jí)破碎至直徑4至5厘米，得一級(jí)石英料；
(2) 將一級(jí)石英料再進(jìn)行精選分級(jí)，作進(jìn)一步除雜處理，然后將分揀出的精 選石英料投入電爐，加熱至97(TC進(jìn)行高溫處理5小時(shí)，冷卻得二級(jí)石
英料；
(3) 對(duì)二級(jí)石英料進(jìn)行再一次分揀除雜處理，然后對(duì)其進(jìn)行二級(jí)破碎至直徑
不超過(guò)2厘米，再用高錳鋼對(duì)輥和電動(dòng)篩對(duì)其進(jìn)行三級(jí)粉碎和旋流分級(jí) 篩選，篩選出直徑為425"m—88um的石英砂，然后用強(qiáng)磁選機(jī)對(duì)石英 砂進(jìn)行磁選處理，得三級(jí)石英料；
(4) 向三級(jí)石英料中加入濃度為32%的鹽酸和36%的氫氟酸，每噸三級(jí)石英 料中加入鹽酸155公斤、氫氟酸55公斤，再加入純水浸沒(méi)三級(jí)石英料， 37'C酸洗72小時(shí)；然后濾除酸洗液，用水沖洗直至完全去除酸洗液， 得四級(jí)石英料；
(5) 向四級(jí)石英料中加入濃度為1.5%的碳酸鈉溶液，碳酸鈉溶液與四級(jí)石英 料的重量比為36: 1000，再加入純水浸沒(méi)四級(jí)石英料，46X:堿洗70分 鐘；然后濾除堿洗液，用水沖洗直至完全去除堿洗液，得五級(jí)石英料；
(6) 用超聲波設(shè)備對(duì)五級(jí)石英料進(jìn)行超聲波震動(dòng)處理；然后向五級(jí)石英料中
加入濃度為32%的鹽酸溶液，每噸五級(jí)石英料中加入鹽酸120公斤，再 加入純水浸沒(méi)五級(jí)石英料，55。C酸洗100分鐘，然后濾除酸洗液，用水 沖洗直至完全去除酸洗液，得六級(jí)石英料；
(7) 將六級(jí)石英料投入浮選機(jī)，用60。C的純水浸沒(méi)六級(jí)石英料，然后向其中 加入浮選藥劑進(jìn)行浮選，所述的浮選藥劑為氨水、油酸、棕櫚酸、煤油、 氟化氨和異辛醇混合物，每噸六級(jí)石英料中加入氨水0. 2公斤、油酸0. 6 公斤、棕櫚酸0.3公斤、煤油0.4公斤、氟化氨0.2公斤、異辛醇0.8 公斤，浮選后濾除浮選液，用6(TC的純水沖洗直至完全去除浮選液，得 七級(jí)石英料；
(8) 用60。C的純水浸沒(méi)七級(jí)石英料，再向其中通入氯氣進(jìn)行氯化處理，氯化 處理后濾除處理液，得石英砂；然后用95%的酒精浸沒(méi)石英砂，醇洗80 分鐘，濾除醇洗液，然后用純水沖選直至完全去除醇洗液，將所提石英 砂投入烤砂機(jī)進(jìn)行81(TC的烘烤，烤完再用磁選機(jī)進(jìn)行第二次磁選，最 后過(guò)425um電動(dòng)篩，得成品石英砂。
實(shí)施例3。 一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其步驟如下， (1)選取鋁元素含量不大于llppm，鐵、鈣、鎂、鈦、鎳、錳、銅、鋰、鈉、 鉀、鈷和硼12種金屬元素含量之和不高于40ppra， 二氧化硅含量在
99.95%以上的石英石作原料，對(duì)該原料進(jìn)行清洗除雜處理，然后將其進(jìn) 行初級(jí)破碎至直徑4至5厘米，得一級(jí)石英料；
(2) 將一級(jí)石英料再進(jìn)行精選分級(jí)，作進(jìn)一步除雜處理，然后將分揀出的精 選石英料投入電爐，加熱至96(TC進(jìn)行高溫處理4小時(shí)，冷卻得二級(jí)石 英料；
(3) 對(duì)二級(jí)石英料進(jìn)行再一次分揀除雜處理，然后對(duì)其進(jìn)行二級(jí)破碎至直徑 不超過(guò)2厘米，再用高錳鋼對(duì)輥和電動(dòng)篩對(duì)其進(jìn)行三級(jí)粉碎和旋流分級(jí) 篩選，篩選出直徑為425um—88tim的石英砂，然后用強(qiáng)磁選機(jī)對(duì)石英 砂進(jìn)行磁選處理，得三級(jí)石英料；
(4) 向三級(jí)石英料中加入濃度為30%的鹽酸和35%的氫氟酸，每噸三級(jí)石英 料中加入鹽酸150公斤、氫氟酸50公斤，再加入純水浸沒(méi)三級(jí)石英料， 2(TC酸洗72小時(shí)；然后濾除酸洗液，用水沖洗直至完全去除酸洗液， 得四級(jí)石英料；
(5) 向四級(jí)石英料中加入濃度為1.2%的碳酸鈉溶液，碳酸鈉溶液與四級(jí)石英 料的重量比為34: 1000，再加入純水浸沒(méi)四級(jí)石英料，44"堿洗60分 鐘；然后濾除堿洗液，用水沖洗直至完全去除堿洗液，得五級(jí)石英料；
(6) 用超聲波設(shè)備對(duì)五級(jí)石英料進(jìn)行超聲波震動(dòng)處理；然后向五級(jí)石英料中 加入濃度為30%的鹽酸溶液，每噸五級(jí)石英料中加入鹽酸100公斤，再 加入純水浸沒(méi)五級(jí)石英料，5(TC酸洗80分鐘，然后濾除酸洗液，用水 沖洗直至完全去除酸洗液，得六級(jí)石英料；
(7) 將六級(jí)石英料投入浮選機(jī)，用5(TC的純水浸沒(méi)六級(jí)石英料，然后向其中 加入浮選藥劑進(jìn)行浮選，所述的浮選藥劑為氨水、油酸、棕櫚酸、煤油、
氟化氨和異辛醇混合物，每噸六級(jí)石英料中加入氨水0. 15公斤、油酸
0.5公斤、棕櫚酸0.2公斤、煤油0.35公斤、氟化氨O(jiān). 15公斤、異辛 醇0.75公斤，浮選后濾除浮選液，用55。C的純水沖洗直至完全去除浮 選液，得七級(jí)石英料； (8)用55。C的純水浸沒(méi)七級(jí)石英料，再向其中通入氯氣進(jìn)行氯化處理，氯化 處理后濾除處理液，得石英砂；然后用80%的酒精浸沒(méi)石英砂，醇洗70 分鐘，濾除醇洗液，然后用純水沖選直至完全去除醇洗液，將所提石英 砂投入烤砂機(jī)進(jìn)行79(TC的烘烤，烤完再用磁選機(jī)進(jìn)行第二次磁選，最 后過(guò)425um電動(dòng)篩，得成品石英砂。
權(quán)利要求
1、一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其特征在于，其步驟如下，(1)選取鋁元素含量不大于11ppm，鐵、鈣、鎂、鈦、鎳、錳、銅、鋰、鈉、鉀、鈷和硼12種金屬元素含量之和不高于40ppm，二氧化硅含量在99.95％以上的石英石作原料，對(duì)該原料進(jìn)行清洗除雜處理，然后將其進(jìn)行初級(jí)破碎至直徑4至5厘米，得一級(jí)石英料；(2)將一級(jí)石英料再進(jìn)行精選分級(jí)，作進(jìn)一步除雜處理，然后將分揀出的精選石英料投入電爐，加熱至950℃-970℃進(jìn)行高溫處理3-5小時(shí)，冷卻得二級(jí)石英料；(3)對(duì)二級(jí)石英料進(jìn)行再一次分揀除雜處理，然后對(duì)其進(jìn)行二級(jí)破碎至直徑不超過(guò)2厘米，再用高錳鋼對(duì)輥和電動(dòng)篩對(duì)其進(jìn)行三級(jí)粉碎和旋流分級(jí)篩選，篩選出直徑為425μm-88μm的石英砂，然后用強(qiáng)磁選機(jī)對(duì)石英砂進(jìn)行磁選處理，得三級(jí)石英料；(4)向三級(jí)石英料中加入濃度為28-32％的鹽酸和33-36％的氫氟酸，每噸三級(jí)石英料中加入鹽酸145-155公斤、氫氟酸45-55公斤，再加入純水浸沒(méi)三級(jí)石英料，10℃-37℃酸洗24-72小時(shí)；然后濾除酸洗液，用水沖洗直至完全去除酸洗液，得四級(jí)石英料；(5)向四級(jí)石英料中加入濃度為1-1.5％的碳酸鈉溶液，碳酸鈉溶液與四級(jí)石英料的重量比為33-36∶1000，再加入純水浸沒(méi)四級(jí)石英料，42℃-46℃堿洗50-70分鐘；然后濾除堿洗液，用水沖洗直至完全去除堿洗液，得五級(jí)石英料；(6)用超聲波設(shè)備對(duì)五級(jí)石英料進(jìn)行超聲波震動(dòng)處理；然后向五級(jí)石英料中加入濃度為28-32％的鹽酸溶液，每噸五級(jí)石英料中加入鹽酸80-120公斤，再加入純水浸沒(méi)五級(jí)石英料，45℃-55℃酸洗60-100分鐘，然后濾除酸洗液，用水沖洗直至完全去除酸洗液，得六級(jí)石英料；(7)將六級(jí)石英料投入浮選機(jī)，用40℃-60℃的純水浸沒(méi)六級(jí)石英料，然后向其中加入浮選藥劑進(jìn)行浮選，所述的浮選藥劑為氨水、油酸、棕櫚酸、煤油、氟化氨和異辛醇混合物，每噸六級(jí)石英料中加入氨水0.1-0.2公斤、油酸0.4-0.6公斤、棕櫚酸0.1-0.3公斤、煤油0.3-0.4公斤、氟化氨0.1-0.2公斤、異辛醇0.7-0.8公斤，浮選后濾除浮選液，用50℃-60℃的純水沖洗直至完全去除浮選液，得七級(jí)石英料；(8)用50℃-60℃的純水浸沒(méi)七級(jí)石英料，再向其中通入氯氣進(jìn)行氯化處理，氯化處理后濾除處理液，得石英砂；然后用75％-95％的酒精浸沒(méi)石英砂，醇洗60-80分鐘，濾除醇洗液，然后用純水沖選直至完全去除醇洗液，將所提石英砂投入烤砂機(jī)進(jìn)行780℃-810℃的烘烤，烤完再用磁選機(jī)進(jìn)行第二次磁選，最后過(guò)425μm電動(dòng)篩，得成品石英砂。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其特征在于， 在步驟(2)中，精選石英料投入電爐進(jìn)行高溫處理的時(shí)間為4小時(shí)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其特征在于， 在步驟(4)中，向三級(jí)石英料中加入的鹽酸濃度為30%,加入的氫氟酸 濃度為35%，每噸三級(jí)石英料中加入的鹽酸為150公斤，加入的氫氟酸 為50公斤。
4、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其特征在于，在步驟(5)中，向四級(jí)石英料中加入的碳酸鈉溶液濃度為1.2%的，碳酸鈉溶液與四級(jí)石英料的重量比為35: 1000。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其特征在于， 在步驟(6)中，向五級(jí)石英料中加入的鹽酸溶液的濃度為30%，每噸五 級(jí)石英料中加入的鹽酸為100公斤，5(TC酸洗80分鐘。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其特征在于， 在步驟(8)中，浸沒(méi)七級(jí)石英料的純水為55°C;浸沒(méi)石英砂的酒精的 濃度為95%，醇洗時(shí)間為70分鐘。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種石英坩堝用石英砂的制備方法，其特征在于，選取金屬元素含量低、二氧化硅含量高的石英石作原料，對(duì)該原料進(jìn)行清洗除雜處理、初級(jí)破碎、精選分級(jí)、高溫處理、分揀除雜、二級(jí)破碎、三級(jí)粉碎、旋流分級(jí)篩選、磁選、酸洗、堿洗、超聲波震動(dòng)處理、二次酸洗、浮選、進(jìn)行氯化處理、醇洗、烘烤和二次磁選等工藝處理，最后過(guò)425μm電動(dòng)篩，得成品石英砂。用本發(fā)明方法所制成的石英坩堝用石英砂中雜質(zhì)含量低，其中SiO₂≥99.99％，雜質(zhì)元素總含量≤12.37ppm。
文檔編號(hào)C04B14/06GK101186455SQ20071019187
公開日2008年5月28日 申請(qǐng)日期2007年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月17日
發(fā)明者段其九 申請(qǐng)人:段其九