專利名稱：切塊方法、防護(hù)玻璃、液晶板、液晶投影儀、攝像裝置及數(shù)字圖像識別裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種切斷玻璃基板等底基板的切塊方法、使用該方法加工的防護(hù)玻璃、使用該防護(hù)玻璃的液晶板、具有該液晶板的液晶投影儀、具有所述防護(hù)玻璃的固體攝像裝置、具有該固體攝像裝置的數(shù)字圖像識別裝置。
背景技術(shù)：
專利文獻(xiàn)1特開平9-141646號公報(bào)通用的液晶投影儀是把計(jì)算機(jī)畫面放大投影到壁面上。該液晶投影儀把光源的光分光為紅色光(R)、綠色光(G)、藍(lán)色光(B)三原色，使各個光通過由同一液晶畫面顯示的被稱為光閥的液晶顯示裝置(液晶板)，將通過光閥后的各個光進(jìn)行合成，利用投影透鏡進(jìn)行投影。在該光閥的液晶顯示裝置入射側(cè)和射出側(cè)設(shè)置有防塵防護(hù)玻璃(防護(hù)玻璃)。防塵防護(hù)玻璃用于在灰塵附著在液晶顯示裝置外面時，防止灰塵被放大投影顯示，具有把灰塵從液晶顯示面上隔離開以使其離焦，從而使灰塵的附著不明顯的功能。因此，防塵防護(hù)玻璃厚度約1.1mm，被粘接在構(gòu)成液晶顯示裝置外面的玻璃上，所以使用材質(zhì)和該玻璃相同的石英玻璃和新陶瓷(ネオセラム)等玻璃。另外，為了得到良好的透光量，在外面設(shè)置防反射膜。
防塵防護(hù)玻璃的制造工序是在作為基底的玻璃基板上通過真空蒸鍍形成防反射膜后，用切塊刀片沿著規(guī)定的切割線切斷玻璃基板，獲得各個防塵防護(hù)玻璃。以往的切塊方法，通過一次切塊來切斷貼有膠帶的玻璃基板，使切塊刀片從與粘貼有膠帶的一側(cè)相反的面到達(dá)膠帶。但是，利用一次切塊進(jìn)行切斷的方法存在以下問題在玻璃基板的切斷面發(fā)生崩邊(chipping)、切斷面產(chǎn)生缺口、導(dǎo)致不合格；和由于刀片刀刃切削膠帶的粘接劑層，所以切屑隨著粘接劑附著在切斷面上，導(dǎo)致清洗困難。為了解決這些問題，有下述現(xiàn)有技術(shù)信息(專利文獻(xiàn)1)記載的切塊方法。參照圖15，說明該公報(bào)記載的切塊方法。如圖15(A)所示，把玻璃基板10的一面粘貼固定在膠帶21上，用尖端尖呈V狀的寬錐形刀片41沿著規(guī)定的切割線在玻璃基板10的表面形成截面呈V狀的錐形槽(V槽)31。然后，如圖15(B)所示，剝離膠帶21，在設(shè)有錐形槽31的一面粘貼膠帶22。然后，如圖15(C)所示，使用寬度比錐形槽31窄的切塊刀片42，形成使切塊刀片42的尖端從與設(shè)有錐形槽31的面相反的面開始到達(dá)錐形槽31內(nèi)的切塊槽，切斷玻璃基板10。該切塊方法在形成錐形槽31并在切斷面上加工倒角的同時，可以防止切塊刀片42的刀刃將膠帶22切削掉。
但是，上述公報(bào)提出的切塊方法存在以下問題。即，如圖16(A)所示，切塊刀片42的刀刃出現(xiàn)磨損，使用刀刃由矩形變成圓形的切塊刀片42a時會產(chǎn)生問題。例如，把切塊刀片配置在與切塊刀片42a的刀刃尖端未出現(xiàn)磨損時相同的位置，使尖端不接觸膠帶22進(jìn)行切塊時，在切塊刀片42a出現(xiàn)磨損而變圓的刀刃部分突出在錐形槽31內(nèi)的狀態(tài)下完成切斷，所以會殘存有突出在切斷面的切斷殘余51。殘存在切斷面并突出的切斷殘余51不僅是尺寸精度上不希望有的，而且成為發(fā)生崩邊的原因。
另一方面，如圖16(B)所示，如果為了不產(chǎn)生切斷殘余51，而使切塊刀片42a的側(cè)面平坦部分到達(dá)錐形槽31，則切塊刀片42a的尖端到達(dá)膠帶22，而產(chǎn)生上述的問題。如果在發(fā)生這種現(xiàn)象的磨損之前更換切塊刀片，雖不會產(chǎn)生這種問題，但切塊刀片的刀刃形狀管理復(fù)雜，而且存在切塊刀片的頻繁更換導(dǎo)致成本增加的問題。上述問題不僅在制造液晶顯示裝置防塵防護(hù)玻璃時，在切斷底基板、制造各個分割基板時，例如在切斷半導(dǎo)體晶片時也會產(chǎn)生。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述情況，本發(fā)明的目的是提供一種不受切塊刀片刀刃的磨損影響的切塊方法、使用該方法加工的防護(hù)玻璃及使用該防護(hù)玻璃的液晶投影儀、具有所述防護(hù)玻璃的固體攝像裝置、具有該固體攝像裝置的數(shù)字圖像識別裝置。
本發(fā)明的切塊方法的特征是，具有中間切塊工序，在底基板的一面?zhèn)妊刂?guī)定的切割線設(shè)置深度小于所述底基板厚度的中間切塊槽，同時在中間切塊槽的開口部的兩側(cè)設(shè)置傾斜面；粘貼工序，在所述底基板形成所述中間切塊槽的一面上粘貼膠帶；和分割切塊工序，在所述底基板的形成所述中間切塊槽的相反面上，沿著所述中間切塊槽形成到達(dá)所述中間切塊槽的切斷切塊槽，沿著所述切割線分割所述底基板。其中，在中間切塊工序，形成中間切塊槽后，可以利用錐形刀片等具有傾斜面的刀刃，在中間切塊槽的開口部兩側(cè)設(shè)置傾斜面，另外，也可以利用錐形刀片等具有傾斜面的刀刃形成錐形槽后，形成中間切塊槽，從而在中間切塊槽的開口部的兩側(cè)設(shè)置傾斜面。
根據(jù)本發(fā)明，在中間切塊槽的開口部兩側(cè)設(shè)有傾斜面，所以中間切塊槽的開口部兩側(cè)被倒角。這樣，可以有效防止發(fā)生崩邊。另外，在本發(fā)明中形成規(guī)定深度的中間切塊槽，從形成所述中間切塊槽的相反面開始形成切斷切塊槽，所以用于形成切斷切塊槽的刀片在到達(dá)形成于中間切塊槽的開口部兩側(cè)的傾斜面之前結(jié)束切塊。因此，用于形成切斷切塊槽的刀片不會象以往那樣，在突出于錐形槽內(nèi)(形成傾斜面的部分)的狀態(tài)下結(jié)束切斷，所以即使用于形成切斷切塊槽的刀片發(fā)生磨損，也不會產(chǎn)生切斷殘余。此外，用于形成切斷切塊槽的刀片刀刃在到達(dá)形成于中間切塊槽的開口部兩側(cè)的傾斜面之前結(jié)束切塊，所以刀片刀刃不會接觸膠帶。因此，切屑不會隨著膠帶附著在切斷面上，能夠容易地對分割后的底基板進(jìn)行洗凈。
在所述中間切塊工序，優(yōu)選在底基板的一面?zhèn)妊刂?guī)定的切割線形成兩側(cè)具有傾斜面的錐形槽后，通過設(shè)置中間切塊槽，在中間切塊槽的開口部的兩側(cè)設(shè)置傾斜面。根據(jù)本發(fā)明，在形成錐形槽后，形成中間切塊槽，所以能夠以錐形槽為基準(zhǔn)，容易決定中間切塊槽的形成位置。另外，在形成中間切塊槽之前，形成錐形槽，所以能夠把用于形成中間切塊槽的刀片刀刃插入錐形槽，固定刀片刀刃的位置，形成中間切塊槽，與不形成錐形槽相比，能夠容易形成中間切塊槽。
本發(fā)明的切塊方法的特征是，具有中間切塊工序，在底基板的一面?zhèn)妊刂?guī)定的切割線設(shè)置深度小于所述底基板厚度的中間切塊槽；粘貼工序，在所述底基板形成所述中間切塊槽的一面上粘貼膠帶；錐形槽形成工序，在形成所述中間切塊槽的相反面上，沿著所述中間切塊槽設(shè)置兩側(cè)具有傾斜面的錐形槽；和分割切塊工序，沿著所述錐形槽的大致中心，形成寬度比所述錐形槽窄并且到達(dá)所述中間切塊槽的切斷切塊槽，沿著所述切割線分割所述底基板。
根據(jù)本發(fā)明，通過形成錐形槽，可以在切斷切塊槽的開口部設(shè)置傾斜面，在切斷面進(jìn)行倒角。這樣，可以有效防止發(fā)生崩邊。另外，在本發(fā)明中，在形成中間切塊槽后，在相反面形成錐形槽及切斷切塊槽，使用于形成切斷切塊槽的刀片到達(dá)中間切塊槽，從而完成底基板的分割。因此，用于形成切斷切塊槽的刀片不會象以往那樣，在突出于錐形槽內(nèi)的狀態(tài)下結(jié)束切斷，所以即使用于形成切斷切塊槽的刀片發(fā)生磨損，也不會產(chǎn)生切斷殘余。這樣，可以有效防止崩邊。
另外，在形成中間切塊槽后，在相反面形成錐形槽及切斷切塊槽，所以形成切斷切塊槽的刀片刀刃在到達(dá)粘貼于形成中間切塊槽一面?zhèn)鹊哪z帶之前結(jié)束切塊。因此，切屑不會隨著粘接劑附著在底基板上，能夠容易進(jìn)行底基板的洗凈。在形成錐形槽后，形成切斷切塊槽，所以能夠以錐形槽為基準(zhǔn)，容易決定中間切塊槽的形成位置。另外，在形成切斷切塊槽之前，形成錐形槽，所以能夠把用于形成切斷切塊槽的刀片刀刃插入錐形槽，固定刀片刀刃位置，形成切斷切塊槽。所以，與不形成錐形槽相比，能夠容易形成切斷切塊槽。
本發(fā)明優(yōu)選具有第1粘貼工序，即在用于把所述底基板固定在切塊裝置上的框狀夾具(治具)的一方開口上粘貼第1膠帶，同時把所述底基板的另一面?zhèn)裙潭ㄕ辰釉谒龅?膠帶上，中間切塊工序之后的所述粘貼工序成為第2粘貼工序，在該第2粘貼工序，橫跨所述夾具的另一方開口，粘貼所述膠帶即第2膠帶，同時在形成所述中間切塊槽的面上粘貼第2膠帶，剝離所述第1膠帶。
以往，對底基板進(jìn)行切塊時使用的方法是在設(shè)有切塊裝置的吸引機(jī)構(gòu)的工作臺上設(shè)置底基板，以此來吸引固定底基板。該方法必須在工作臺上設(shè)置吸引機(jī)構(gòu)，存在使切塊裝置的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化的問題。與此相對，根據(jù)本發(fā)明，通過膠帶把底基板固定在框狀夾具上，所以對底基板進(jìn)行切塊時，用卡具等固定框狀夾具即可。所以，進(jìn)行切塊時，不需要吸引固定底基板，不需要吸引機(jī)構(gòu)，可以簡化切塊裝置的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明中的所述底基板是以玻璃基板為例。該玻璃基板的厚度優(yōu)選大于等于0.5mm小于等于2mm。這樣，根據(jù)本發(fā)明，把玻璃基板的厚度設(shè)為大于等于0.5mm小于等于2mm，在把玻璃基板用作安裝于光學(xué)元件上的防護(hù)玻璃時，可以使附著在防護(hù)玻璃上的塵埃等離焦。即，可以實(shí)現(xiàn)不破壞光學(xué)元件的光學(xué)特性的防護(hù)玻璃。
另外，本發(fā)明優(yōu)選在所述玻璃基板的設(shè)有所述中間切塊槽的一側(cè)的面上設(shè)置防反射膜。對形成有這種防反射膜的玻璃基板進(jìn)行切塊時，優(yōu)選具有如下檢測工序在中間切塊工序之后的所述粘貼工序之后，向粘貼有所述膠帶的玻璃基板照射光，根據(jù)玻璃基板的反射光或透過光來檢測所述中間切塊槽的位置。如果在防反射膜上粘貼膠帶，則防反射膜喪失了其功能，反而成為增反射膜，使有防反射膜的部分和沒有防反射膜的部分的差異明確。即，本發(fā)明在玻璃基板設(shè)置防反射膜，通過一次切塊在設(shè)有防反射膜的一側(cè)設(shè)置槽。在進(jìn)行切塊后的設(shè)有防反射膜的一面粘貼膠帶。利用通過第一次切塊而設(shè)置的槽來切削防反射膜，所以向玻璃基板照射光時，根據(jù)其反射光或透過光可以清楚地檢測槽，能夠從相反面準(zhǔn)確進(jìn)行第二次切塊。另外，為了能這樣準(zhǔn)確切塊，沒必要在玻璃基板上設(shè)置用作定位基準(zhǔn)的校準(zhǔn)標(biāo)志。通常，如果形成有校準(zhǔn)標(biāo)志，則該部分不能再作為產(chǎn)品使用，本發(fā)明不需要形成校準(zhǔn)標(biāo)志，所以提高了產(chǎn)品的成品率。
本發(fā)明的防護(hù)玻璃的特征是，使用上述的任一段記述的切塊方法進(jìn)行加工。這樣，根據(jù)本發(fā)明，使用上述的任一段記述的切塊方法進(jìn)行加工，所以不產(chǎn)生崩邊，不會形成切斷殘余。這種防護(hù)玻璃可以粘貼于在一對基板間密封電光學(xué)物質(zhì)的液晶板的所述基板上使用。另外，這種液晶板安裝在液晶投影儀上。通過把上述防護(hù)玻璃粘貼在所述一對基板上，即使防護(hù)玻璃上附著有塵埃時，也能把塵埃和一對基板隔離開，使塵埃等離焦。這樣，可以防止塵埃對投影圖像的影響。
此外，上述防護(hù)玻璃也可以用于固體攝像裝置。即，本發(fā)明的固體攝像裝置的特征是，具有形成有開口的殼體；容納在該殼體內(nèi)的固體攝像元件；和所述的防護(hù)玻璃，與該固體攝像元件相對配置，用于堵塞所述殼體的開口。這樣，可以保護(hù)固體攝像元件。另外，這種固體攝像裝置可以安裝在數(shù)字圖像識別裝置上。


圖1是表示用于實(shí)施本發(fā)明的第1實(shí)施方式的切塊方法的切塊裝置的透視圖。
圖2是表示上述切塊方法的各工序示意圖。
圖3是表示上述切塊方法的各工序示意圖。
圖4是表示上述切塊方法的各工序截面圖。
圖5是表示上述切塊方法中使用的錐形刀片的變形例。
圖6是表示防反射膜表面粘貼和未粘貼膠帶時的反射率差異的曲線圖。
圖7是表示使用了用上述切塊方法獲得的防護(hù)玻璃的液晶投影儀的示意圖。
圖8是表示上述液晶投影儀的液晶板的截面圖。
圖9是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的切塊方法的各工序截面圖。
圖10是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式的切塊方法的各工序截面圖。
圖11是表示使用了用上述切塊方法獲得的防護(hù)玻璃的固體攝像裝置的截面圖。
圖12是表示安裝了上述固體攝像裝置的數(shù)字照相機(jī)的透視圖。
圖13是表示安裝了上述固體攝像裝置的攝像機(jī)的透視圖。
圖14是表示本發(fā)明的切塊方法的變形例的截面圖。
圖15是表示以往的切塊方法的截面圖。
圖16是說明以往的切塊方法的問題點(diǎn)的截面圖。
具體實(shí)施例方式
以下，說明本發(fā)明的切塊方法的實(shí)施方式，但本發(fā)明不限定于下述第1實(shí)施方式圖1表示對底基板即玻璃基板10進(jìn)行切塊的切塊裝置6。該玻璃基板10由熱膨脹率小的石英玻璃和硼硅酸玻璃等材料構(gòu)成，但不限定于此，也可以由普通的蘇打石灰玻璃和無堿玻璃等材料構(gòu)成。如圖2所示，玻璃基板10的厚度T1大于等于0.5mm小于等于2.0mm，在其一面設(shè)有防反射膜11。防反射膜11由單層或多層有機(jī)膜或無機(jī)膜構(gòu)成，但不作特別限定。切塊裝置6具有用于容納玻璃基板10的盒61；用于設(shè)置該盒61并使其可以上下移動的盒設(shè)置臺60；把玻璃基板10從盒61移出到臨時放置部位62的移出機(jī)構(gòu)63；把設(shè)置在臨時放置部位62的玻璃基板10輸送到卡緊臺64上的第1輸送機(jī)構(gòu)65；對設(shè)在卡緊臺64上的玻璃基板10進(jìn)行切塊的切塊機(jī)構(gòu)66；和把切塊后的玻璃基板10輸送至洗凈單元68的第2輸送單元67。
切塊機(jī)構(gòu)66具有兩種刀片，即刀刃為錐形刃口的錐形刀片41(參照圖2及圖4)，和刀刃平直的切塊刀片42a(參照圖2及圖4)。在該切塊機(jī)構(gòu)66的附近設(shè)有向玻璃基板10照射光的照射單元(圖示略)，和攝像其反射光或透過光的CCD(charge coupled device)照相機(jī)等攝像單元(圖示略)，用于檢測設(shè)在卡緊臺64上的玻璃基板10的切塊位置。
使用這種切塊裝置6，對玻璃基板10進(jìn)行如下切塊。參照圖1～圖4進(jìn)行說明。首先，如圖2所示，將玻璃基板10安裝在夾具69。夾具69用于把玻璃基板10固定在切塊裝置6的卡緊臺64上。該夾具69是平面大致呈圓形的框狀部件，位于玻璃基板10的表面和里面?zhèn)鹊牟糠中纬砷_口。該夾具69的高度T2約等于玻璃基板10的厚度T1和防反射膜11的厚度相加的尺寸。在夾具69的一方開口粘貼第1膠帶21。然后，把與玻璃基板10上設(shè)有防反射膜11的面相反的面通過粘接劑層211(參照圖4)粘貼固定在第1膠帶21上(第1粘貼工序)。這里，第1膠帶21的粘接劑層211通常具有強(qiáng)粘接力，但是，例如優(yōu)選使用具有以下特性的粘接物通過照射紫外線、電子線等而硬化并且粘接力大幅度降低，因而容易剝離。
然后，把固定在夾具69上的玻璃基板10收容在切塊裝置6的盒61內(nèi)。利用移出機(jī)構(gòu)63把固定在夾具69上的玻璃基板10從盒61中移出，放置在臨時放置部位62。利用第1輸送機(jī)構(gòu)65把放置在該臨時放置部位62的夾具69和玻璃基板10設(shè)在卡緊臺64上。之后，如圖2(B)所示，利用固定卡具P把夾具69固定在卡緊臺64上。這樣，玻璃基板10即被固定在卡緊臺64上。固定卡具P被安裝在夾具69的另一方開口側(cè)。
如圖2(C)及圖4(A)所示，在錐形刀片41上形成兩側(cè)具有傾斜面的截面呈V狀的錐形槽31，該錐形刀片41的截面相對玻璃基板10上設(shè)有防反射膜11的一面，沿著規(guī)定的切割線形成刀刃成為錐形刃口的V狀。錐形刀片41優(yōu)選為尖端開口角度約為90°的形狀，但不受此限定。例如，如圖5所示，也可以使用刀刃形成錐形并向內(nèi)凹陷的圓弧狀刀片41’，形成具有圓倒角的錐形槽31’，對錐形槽的形狀沒有限制。
然后，如圖2(D)及圖4(B)所示，使用寬度比錐形槽31的寬度窄的切塊刀片42a，進(jìn)行沿著錐形槽31的大致中心部位設(shè)置中間切塊槽32的中間切塊工序。該中間切塊槽32的深度小于玻璃基板10的厚度，以不切斷玻璃基板10。此時使用的切塊刀片42a，如圖2(D)及圖4(B)所示，即使刀刃出現(xiàn)磨損而變圓時也沒關(guān)系。
如圖2(D)、圖3(E)及圖4(C)所示，在結(jié)束中間切塊工序后的玻璃基板10上設(shè)有防反射膜11的一面，在沿著規(guī)定的切割線的中間切塊槽32的開口部形成倒角中間切塊槽34，該倒角中間切塊槽34上具有由通過錐形刀片41形成的兩側(cè)斜向傾斜的錐形槽31留下的倒角33。然后，如圖3(F)所示，從夾具69卸下固定卡具P，向第1膠帶21照射紫外線等，使粘接劑層211硬化，降低其粘接力。然后，進(jìn)行第2粘貼工序，即把特性和第1膠帶21相同的第2膠帶22配置成橫跨夾具69的另一方開口的狀態(tài)，并通過其粘接劑層221(參照圖4(D))粘貼在防反射膜11上，剝離第1膠帶21。
如圖3(G)所示，操作者手動把夾具69翻過來，使其反轉(zhuǎn)，使玻璃基板10上沒有形成倒角中間切塊槽34的一面朝上。再次把固定卡具P安裝在夾具69上，把夾具69固定在卡緊臺64上。然后，進(jìn)行檢測倒角中間切塊槽34的位置的檢測工序。圖3(G)及圖4(D)表示進(jìn)行檢測工序時的玻璃基板10。如圖3(G)及圖4(D)所示，在玻璃基板10上設(shè)置具有倒角33的倒角中間切塊槽34，該部分的防反射膜11消失。防反射膜11上粘貼有第2膠帶22。防反射膜11被設(shè)計(jì)成抑制在空氣界面處的反射并增多透過光量。防反射膜11對以下兩種情況都有效在光從空氣側(cè)入射到玻璃基板10上時，抑制向空氣側(cè)的反射；和通過玻璃基板10的光泄漏到空氣側(cè)時，抑制向玻璃基板10一側(cè)的反射?？墒?，如果第2膠帶22的粘接劑層221緊貼在防反射膜11的表面，則由于粘接劑層221的折射率比空氣高，所以防反射膜11喪失了其作為防反射膜的功能，反射反倒比沒有防反射膜時增加了，起到增反射膜的功能。圖6是表示由4層多層膜構(gòu)成的防反射膜的反射率的分光光譜曲線圖。實(shí)線表示存在與未粘貼膠帶的空氣界面時的反射率(％)，虛線表示粘貼膠帶時的反射率。通過粘貼膠帶，反射率明顯增強(qiáng)。從400nm～700nm的光反射率的平均值相對空氣是0.62％，但粘貼膠帶時增強(qiáng)到3.17％。
為了檢測去除了形成于圖3(G)及圖4(D)所示玻璃基板10上的防反射膜11的倒角中間切塊槽34，對在防反射膜11上粘貼了第2膠帶22的玻璃基板10，從設(shè)有切斷切塊槽的非切斷面或從第2膠帶22側(cè)向玻璃基板10照射垂直方向的光，用例如CCD照相機(jī)等攝像單元拍攝其反射光或透過光。拍攝有反射光的圖像中，在防反射膜11的反射量多于倒角中間切塊槽34部分的反射量，倒角中間切塊槽34部分變暗，所以能夠把倒角中間切塊槽34部分作為較暗部分檢測出來。拍攝有透過光的圖像中，有防反射膜11的部分反射量大，透過光量少，倒角中間切塊槽34部分反射量少，透過光量大。倒角中間切塊槽34部分比周圍明亮，能夠把倒角中間切塊槽34部分作為明亮部分檢測出來。對這種CCD圖像可以進(jìn)行例如二值化處理，用計(jì)算機(jī)運(yùn)算倒角中間切塊槽34的位置、中間切塊槽32的位置。
然后，如圖3(H)及圖4(E)所示，進(jìn)行如下分割切塊工序?qū)εc已檢測出位置的倒角中間切塊槽34的大致中心部位對應(yīng)的玻璃基板10的對置面，用切塊刀片42a形成和中間切塊槽32準(zhǔn)確重疊的切斷切塊槽35，使中間切塊槽32和切斷切塊槽35連通，以分割玻璃基板10。此時，切塊刀片42a的刀刃到達(dá)，例如距離第2膠帶22約為0.1mm的位置時，即結(jié)束分割切塊工序。然后，向第2膠帶22照射紫外線等，使粘接劑層221硬化，減弱粘接劑層221的粘接力，從第2膠帶22剝離分割后的各分割玻璃基板。然后，利用第2輸送單元67把分割玻璃基板輸送至洗凈單元68，通過洗凈單元68進(jìn)行洗凈。再利用第1輸送單元65把分割玻璃基板輸送至臨時放置部位62，利用移出機(jī)構(gòu)63將其收容在盒61的規(guī)定位置。
如上所述，被切塊后的玻璃基板10的各分割玻璃基板被用作防護(hù)玻璃1，例如，安裝在圖7所示液晶投影儀7上。該液晶投影儀7用于根據(jù)圖像信息調(diào)制從光源射出的光束，并放大投影在屏幕等投影面上。該液晶投影儀7具有光源裝置71；均勻照明光學(xué)系統(tǒng)(圖示略)；顏色分離光學(xué)系統(tǒng)72、中繼光學(xué)系統(tǒng)73；含有顏色合成光學(xué)系統(tǒng)即交叉分色棱鏡742的光學(xué)裝置74和投影光學(xué)系統(tǒng)即投影透鏡76。
均勻照明光學(xué)系統(tǒng)把從光源裝置71射出的光束分割為多個部分光束，把各部分光束重疊在光學(xué)裝置74的液晶板741(后述)的圖像形成區(qū)域。從光源裝置71射出的光束通過反射鏡711被反射并入射到顏色分離光學(xué)系統(tǒng)72。顏色分離光學(xué)系統(tǒng)72具有反射藍(lán)色光(B)、綠色光(G)、透過紅色光(R)的分色鏡721；和透過藍(lán)色光(B)、反射綠色光(G)的分色鏡722，把從照明光學(xué)系統(tǒng)射出的光束分離為紅色光(R)、綠色光(G)、藍(lán)色光(B)。中繼光學(xué)系統(tǒng)73用于把透過分色鏡722的藍(lán)色光(B)引導(dǎo)到交叉分色棱鏡742，具有中繼透鏡731和反射鏡732、733。光學(xué)裝置74用于根據(jù)圖像信息調(diào)制所入射的光束，形成彩色圖像，并具有液晶板741(741R、741G、741B)和前述的交叉分色棱鏡742。
如圖8所示，液晶板741是通過在驅(qū)動基板741A(例如，形成有多個線狀電極、構(gòu)成象素的電極、和電連接它們的TFT元件的基板)和對置基板741B(例如，形成有共用電極的基板)之間封入液晶(電光學(xué)物質(zhì))而形成。從這些基板741A、741B之間延伸著未圖示的控制電纜。在這些基板741A、741B上，固定粘接著用前述切塊方法分割后的防護(hù)玻璃1。這樣，液晶板741的板面的位置偏離投影透鏡76的后焦點(diǎn)位置，使附著在面板表面上的塵埃等灰塵在光學(xué)上變得不明顯。
根據(jù)第1實(shí)施方式，可以達(dá)到以下效果。
(1-1)形成截面為V狀的錐形槽31后，形成中間切塊槽32，所以能夠在中間切塊槽32的開口部兩側(cè)設(shè)置傾斜面，在中間切塊槽32的開口部兩側(cè)的切斷面上形成倒角33。這樣，可以有效防止發(fā)生崩邊，抑制產(chǎn)生切斷玻璃基板(防護(hù)玻璃1)不合格品，提高成品率。
(1-2)形成規(guī)定深度的倒角中間切塊槽34，從形成倒角中間切塊槽34的相反側(cè)的面形成切斷切塊槽35，所以形成有切斷切塊槽35的切塊刀片42在到達(dá)形成于倒角中間切塊槽34開口部兩側(cè)的傾斜面之前結(jié)束切塊。因此，用于形成切斷切塊槽35的切塊刀片42a不會象以往那樣，在突出于錐形槽(形成傾斜面的部分)內(nèi)的狀態(tài)下結(jié)束切斷，所以即使用于形成切斷切塊槽35的切塊刀片42a發(fā)生磨損，也不會產(chǎn)生以往那樣的切斷殘余。這樣，可以抑制產(chǎn)生分割玻璃基板即防護(hù)玻璃1的不合格品，提高成品率。另外，切塊刀片42a即使有磨損時也能使用，所以能夠延長切塊刀片42a的使用時間，可以降低成本。并且，也可以簡化切塊刀片42a的刀刃磨損管理，所以能夠降低成本。
(1-3)另外，用于形成切斷切塊槽35的切塊刀片42a的刀刃在到達(dá)形成于倒角中間切塊槽34的開口部兩側(cè)的傾斜面之前結(jié)束切塊，所以切塊刀片42a的刀刃不會到達(dá)第2膠帶。因此，切屑不會隨著粘接劑附著在分割玻璃基板上，能夠容易進(jìn)行分割玻璃基板的洗凈。
(1-4)本實(shí)施方式在形成錐形槽31后，形成中間切塊槽32，所以能夠以錐形槽31為基準(zhǔn)，容易地決定中間切塊槽32的形成位置。另外，由于形成有錐形槽31，所以能夠把用于形成中間切塊槽32的切塊刀片42a的刀刃插入錐形槽31，固定切塊刀片42a的刀刃位置，形成中間切塊槽32。所以，與不形成錐形槽的情況相比，能夠容易地形成中間切塊槽32。
(1-5)對玻璃基板進(jìn)行切塊時，有把玻璃基板設(shè)置在設(shè)有吸引機(jī)構(gòu)的工作臺上，以此來吸引固定玻璃基板的方法。而本實(shí)施方式通過膠帶21、22把玻璃基板10固定在夾具69上，所以對玻璃基板10進(jìn)行切塊時，把夾具69固定在卡緊臺64上即可。因此，進(jìn)行切塊時，不需要吸引固定玻璃基板10，不需要吸引機(jī)構(gòu)，可以簡化切塊裝置6的結(jié)構(gòu)。
(1-6)另外，本實(shí)施方式把玻璃基板10安裝在夾具69上，所以為了形成切斷切塊槽35，而反轉(zhuǎn)玻璃基板10時，可以在保持夾具69的狀態(tài)下進(jìn)行反轉(zhuǎn)?？梢圆恢苯颖３植ＡЩ?0，所以能夠防止玻璃基板10破損等。
(1-7)玻璃基板10的厚度大于等于0.5mm小于等于2.0mm，所以把分割玻璃基板安裝在液晶板741上用作防護(hù)玻璃1時，可以使附著在防護(hù)玻璃1上的塵埃等離焦。即，可以實(shí)現(xiàn)不破壞液晶板741的光學(xué)特性的防護(hù)玻璃。
(1-8)在本實(shí)施方式中，在防反射膜11上粘貼第2膠帶22，所以防反射膜11喪失了其功能，反而成為增反射膜，使有防反射膜11的部分和沒有防反射膜11的部分的差異明確。利用通過第一次切塊而設(shè)置的倒角中間切塊槽34來切削防反射膜11，所以向玻璃基板10照射光時，根據(jù)其反射光或透過光可以清楚地檢測倒角中間切塊槽34，能夠從相反面準(zhǔn)確進(jìn)行第二次切塊。另外，由于可以這樣準(zhǔn)確切塊，沒必要在玻璃基板10上設(shè)置用作定位基準(zhǔn)的校準(zhǔn)標(biāo)志。通常，如果形成校準(zhǔn)標(biāo)志，則該部分不能再作為產(chǎn)品使用，本實(shí)施方式不需要形成校準(zhǔn)標(biāo)志，所以不存在形成校準(zhǔn)標(biāo)志的部分的浪費(fèi)問題，可以對作為基底的玻璃基板10進(jìn)行整體分割以獲得產(chǎn)品，產(chǎn)品的成品率好，也能降低生產(chǎn)成本。
第2實(shí)施方式下面，參照圖9說明本發(fā)明的切塊方法的第2實(shí)施方式。以下說明中，對和已說明部分相同的部分，賦予同一標(biāo)號并省略其說明。在第1實(shí)施方式的中間切塊工序中，通過先形成錐形槽31，再形成中間切塊槽32，來進(jìn)行中間切塊槽32的開口部的倒角，但在第2實(shí)施方式中，是先形成中間切塊槽32后，再進(jìn)行中間切塊槽32的開口部的倒角。其他和第1實(shí)施方式相同。第2實(shí)施方式的切塊方法，如圖9所示，首先使用切塊刀片42a，在設(shè)有防反射膜11的一面，沿著規(guī)定的切割線設(shè)置中間切塊槽32。該中間切塊槽32的深度小于玻璃基板10的厚度，以使玻璃基板10不被切斷。這里使用的切塊刀片42a，如圖9(A)所示，刀刃即使磨損成圓形也沒關(guān)系。
然后，如圖9(B)所示，利用刀刃為錐形刃口的截面呈V狀的錐形刀片41，沿著中間切塊槽32的大致中心部位，在中間切塊槽32的開口部兩側(cè)設(shè)置斜向傾斜的倒角33。這樣，第2實(shí)施方式的切塊方法和第1實(shí)施方式的切塊方法相同，如圖9(C)所示，在玻璃基板10的一面，形成在中間切塊槽32的開口部兩側(cè)形成有斜向傾斜的倒角33的倒角中間切塊槽34。如圖9(D)及圖9(E)所示，之后的工序和第1實(shí)施方式相同，所以省略說明。
這樣，根據(jù)本實(shí)施方式，可以達(dá)到和第1實(shí)施方式的(1-2)、(1-3)、(1-5)～(1-8)相同的效果，另外還可以達(dá)到以下效果。
(2-1)形成中間切塊槽32后，利用錐形刀片41形成倒角33，從而可以有效防止發(fā)生崩邊。因此，可以抑制產(chǎn)生分割玻璃基板的不合格品，提高成品率。
(2-2)在形成錐形槽后，形成中間切塊槽時，如果用于形成錐形槽的錐形刀片的刀刃出現(xiàn)磨損，有可能導(dǎo)致不易形成錐形槽。與此相對，本實(shí)施方式在中間切塊槽32后，利用錐形刀片41進(jìn)行倒角，而不是用錐形刀片41在玻璃基板10上形成新槽，所以不會產(chǎn)生錐形刀片41的刀刃尖端磨損的問題。因此，本實(shí)施方式不僅對刀片42a，對錐形刀片41也不用進(jìn)行煩雜的刀刃管理。
第3實(shí)施方式下面，參照圖10說明第3實(shí)施方式的切塊方法。第3實(shí)施方式也是以制造防護(hù)玻璃為例進(jìn)行說明。首先，如圖10(A)所示，進(jìn)行第1粘貼工序，即把與玻璃基板10上設(shè)有防反射膜11的面相反的面通過粘接劑層211粘貼固定在第1膠帶21上。雖然未圖示，但和第1實(shí)施方式相同，第1膠帶21是橫跨框狀夾具的開口粘貼的。因此，通過把玻璃基板10粘貼在第1膠帶21上，玻璃基板10即被安裝在夾具上。
然后，和前述實(shí)施方式相同，利用固定卡具把夾具固定在卡緊臺上。之后，進(jìn)行中間切塊工序，即，使用切塊刀片42a，對設(shè)有防反射膜11的面沿著規(guī)定的切割線設(shè)置中間切塊槽32。該中間切塊槽32的深度小于玻璃基板10的厚度，以使玻璃基板10不被切斷。這里使用的切塊刀片42a，如圖10(A)所示，即使刀刃磨損成圓形也沒關(guān)系。然后，解除卡具對夾具的固定，向第1膠帶21照射紫外線等，使粘接劑層211硬化，降低其粘接力。如圖10(B)所示，進(jìn)行第2粘貼工序，即把特性和第1膠帶21相同的第2膠帶22通過其粘接劑層221粘貼在防反射膜11上后，剝離第1膠帶21。
之后，操作者手動把夾具翻過來，使其反轉(zhuǎn)，使玻璃基板10上沒有形成中間切塊槽32的一面朝上。然后，再次把固定卡具安裝在夾具上，把夾具固定在卡緊臺上。然后，進(jìn)行上述的檢測工序。粘貼有粘接劑層221的防反射膜11起到增反射膜的作用，由于中間切塊槽32而使防反射膜11消失的部分，在透過光時被檢測為明亮部分，在反射光時被檢測為暗部分。然后，如圖10(C)和圖10(D)所示，進(jìn)行錐形槽形成工序，即在與已檢測到位置的中間切塊槽32對應(yīng)的玻璃基板10的對置面，利用錐形刀片41形成兩側(cè)具有傾斜面的截面呈V狀的錐形槽31，使其尖端準(zhǔn)確重疊在中間切塊槽32的中心。
接著，如圖10(E)所示，進(jìn)行分割切塊工序，即，使用寬度比錐形槽31窄的切塊刀片42a，沿著錐形槽31的大致中心部位設(shè)置切斷切塊槽35，并使中間切塊槽32和切斷切塊槽35連通，以分割玻璃基板10。然后，向第2膠帶22照射紫外線等，使粘接劑層221硬化，減弱粘接劑層221的粘接力，把所分割后的各分割玻璃基板從膠帶22剝離。之后的工序和第1實(shí)施方式相同。
根據(jù)本實(shí)施方式，可以達(dá)到和第1實(shí)施方式的(1-5)～(1-8)相同的效果，另外還可以達(dá)到以下效果。
(3-1)形成錐形槽31后，形成切斷切塊槽35，在切斷切塊槽35開口部的兩側(cè)部分上形成倒角33。這樣，可以有效防止發(fā)生崩邊。
(3-2)形成規(guī)定深度的中間切塊槽32后，從與形成該中間切塊槽32面相反的面形成切斷切塊槽35，所以切塊刀片42a的刀刃不會接觸第2膠帶22。因此，切屑不會隨著粘接劑附著在分割玻璃基板上，能夠容易進(jìn)行分割玻璃基板的洗凈。
(3-3)形成錐形槽31后，形成切斷切塊槽35，所以能夠以錐形槽31為基準(zhǔn)，容易地決定切斷切塊槽35的形成位置。另外，形成錐形槽31后，形成切斷切塊槽35，所以能夠固定用于形成切斷切塊槽35的切塊刀片42a的刀刃位置，形成切斷切塊槽35。這樣，和沒有錐形槽31相比，能夠容易地形成切斷切塊槽35。
(3-4)形成中間切塊槽32后，在相反面形成錐形槽31和切斷切塊槽35，通過使切斷切塊槽35到達(dá)中間切塊槽32來完成玻璃基板10的分割。因此，用于形成切斷切塊槽的刀片不會象以往那樣，在突出于錐形槽內(nèi)的狀態(tài)下結(jié)束切斷，所以即使用于形成切斷切塊槽35的刀片發(fā)生磨損，也不會產(chǎn)生切斷殘余。
本發(fā)明不限定于上述實(shí)施方式，本發(fā)明還包含可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的范圍內(nèi)的變形和改進(jìn)等。上述各實(shí)施方式中，把分割玻璃基板10后的防護(hù)玻璃1固定粘接在液晶投影儀7的液晶板741上，但不限定于此，如圖11所示，防護(hù)玻璃1也可以用在固體攝像裝置8上。固體攝像裝置8具有CCD(charge coupled device)、MOS(metal-oxide semiconductor)等固體攝像元件81；設(shè)在該固體攝像裝置8上的濾色器82；收容固體攝像元件81和濾色器82的殼體83。在該殼體83的開口處與固體攝像元件81相對安裝的防護(hù)玻璃1。這種固體攝像裝置8可以安裝在圖12及圖13所示的數(shù)字照相機(jī)9A、攝像機(jī)9B等數(shù)字圖像識別裝置上。數(shù)字照相機(jī)9A和攝像機(jī)9B，通過固體攝像裝置8的濾色器82把來自被攝體的像成像于固體攝像元件81上，由固體攝像元件81對該光學(xué)像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，從而可以獲得圖像數(shù)據(jù)。
上述各實(shí)施方式把分割玻璃基板用作防護(hù)玻璃1，但不限定于此，也可以用作設(shè)有取向膜、透明電極、濾色器等的液晶顯示裝置用基板、CRT、液晶顯示裝置的前面板等基板。另外，上述各實(shí)施方式的玻璃基板厚度大于等于0.5mm小于等于2.0mm，但并限定于該范圍，可以根據(jù)玻璃基板的用途來設(shè)定合適的厚度。上述的第1實(shí)施方式～第3實(shí)施方式是在底基板(玻璃基板10)的一面上進(jìn)行倒角，但是，例如圖14(A)及圖14(B)所示，如果增加用錐形刀片41形成錐形槽31的錐形槽形成工序，可以在底基板(玻璃基板10)的兩面切斷面上形成錐面。這樣，可以獲得在兩面切斷面上加工了倒角33的分割玻璃基板，能夠更有效地防止發(fā)生崩邊。
此外，上述各實(shí)施方式中僅在玻璃基板10的一面設(shè)置防反射膜，但不限定于此，也可設(shè)置在玻璃基板兩面。即使在玻璃基板兩面形成防反射膜，對從光學(xué)上檢測中間切塊槽32或倒角中間切塊槽34的方法也沒有影響。另外，根據(jù)玻璃基板的用途，也可以不設(shè)置防反射膜。此外，對設(shè)有定位用校準(zhǔn)標(biāo)志的底基板進(jìn)行切塊時，也可不用玻璃基板那樣的透明基板，例如，本發(fā)明的切塊方法可以應(yīng)用于對半導(dǎo)體電路進(jìn)行集成的半導(dǎo)體晶片。上述各實(shí)施方式是把玻璃基板10固定在夾具69上進(jìn)行玻璃基板10的切塊，但也可以不使用夾具69，進(jìn)行玻璃基板10的切塊。例如，可以在卡緊臺上設(shè)置吸引機(jī)構(gòu)，吸引并固定玻璃基板10，來進(jìn)行切塊。
本發(fā)明可以用來加工液晶板和固體攝像裝置等使用的防護(hù)玻璃等。
權(quán)利要求
1.一種切塊方法，其特征是，包括中間切塊工序，在底基板的一面?zhèn)妊刂?guī)定的切割線設(shè)置深度小于所述底基板厚度的中間切塊槽，同時在中間切塊槽的開口部的兩側(cè)設(shè)置傾斜面；粘貼工序，在所述底基板形成所述中間切塊槽的一面上粘貼膠帶；和分割切塊工序，在所述底基板的形成所述中間切塊槽的相反面上，沿著所述中間切塊槽形成到達(dá)所述中間切塊槽的切斷切塊槽，沿著所述切割線分割所述底基板。
2.如權(quán)利要求1所述的切塊方法，其特征是，在所述中間切塊工序，在底基板的一面?zhèn)妊刂?guī)定的切割線形成兩側(cè)具有傾斜面的錐形槽后，通過設(shè)置中間切塊槽，在中間切塊槽的開口部的兩側(cè)設(shè)置傾斜面。
3.一種切塊方法，其特征是，包括中間切塊工序，在底基板的一面?zhèn)妊刂?guī)定的切割線設(shè)置深度小于所述底基板厚度的中間切塊槽；粘貼工序，在所述底基板形成所述中間切塊槽的一面上粘貼膠帶；錐形槽形成工序，在形成所述中間切塊槽的相反面上，沿著所述中間切塊槽設(shè)置兩側(cè)具有傾斜面的錐形槽；和分割切塊工序，沿著所述錐形槽的大致中心，形成寬度比所述錐形槽窄并且到達(dá)所述中間切塊槽的切斷切塊槽，沿著所述切割線分割所述底基板。
4.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的切塊方法，其特征是，在所述中間切塊工序之前，具有如下第1粘貼工序在用于把所述底基板固定在切塊裝置上的框狀夾具的一方開口上粘貼第1膠帶，同時把所述底基板的另一面?zhèn)裙潭ㄕ辰釉谒龅?膠帶上，中間切塊工序之后的所述粘貼工序成為第2粘貼工序，在該第2粘貼工序，橫跨所述夾具的另一方開口，粘貼所述膠帶即第2膠帶，同時在形成所述中間切塊槽的面上粘貼第2膠帶，剝離所述第1膠帶。
5.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的切塊方法，其特征是，所述底基板是玻璃基板。
6.如權(quán)利要求5所述的切塊方法，其特征是，所述玻璃基板的厚度大于等于0.5mm小于等于2.0mm。
7.如權(quán)利要求5或6所述的切塊方法，其特征是，在所述玻璃基板設(shè)有所述中間切塊槽的一面上設(shè)置有防反射膜。
8.如權(quán)利要求7所述的切塊方法，其特征是，包括如下檢測工序在中間切塊工序之后的所述粘貼工序之后，向粘貼有所述膠帶的玻璃基板照射光，根據(jù)玻璃基板的反射光或透射光檢測所述中間切塊槽的位置。
9.一種防護(hù)玻璃，其特征是，使用權(quán)利要求1～8中任一項(xiàng)所述的切塊方法加工而成。
10.一種液晶板，在一對基板間密封有電光學(xué)物質(zhì)，其特征是，在所述基板上安裝有權(quán)利要求9所述的防護(hù)玻璃。
11.一種液晶投影儀，其特征是，使用了權(quán)利要求10所述的液晶板。
12.一種固體攝像裝置，其特征是，具有形成有開口的殼體；容納在該殼體內(nèi)的固體攝像元件；和權(quán)利要求9所述的防護(hù)玻璃，該防護(hù)玻璃與該固體攝像元件相對配置，用于堵塞所述殼體的開口。
13.一種數(shù)字圖像識別裝置，其特征是，具有權(quán)利要求12所述的固體攝像裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種不受切塊刀片刀刃的磨損影響的切塊方法、使用該方法加工的防護(hù)玻璃及使用該防護(hù)玻璃的液晶投影儀、具有所述防護(hù)玻璃的固體攝像裝置、具有該固體攝像裝置的數(shù)字圖像識別裝置。通過在形成錐形槽31后，在該錐形槽31上設(shè)置中間切塊槽32，或在設(shè)置中間切塊槽32后進(jìn)行倒角，然后形成從相反側(cè)到達(dá)中間切塊槽32的切斷切塊槽35的合計(jì)三次切塊，來切斷底基板10。或，通過設(shè)置中間切塊槽32，在與設(shè)有中間切塊槽32的面相反的一側(cè)形成錐形槽31后，在該錐形槽31形成到達(dá)中間切塊槽32的切斷切塊槽35的合計(jì)三次切塊，來切斷底基板10。
文檔編號C03B33/02GK1496967SQ20031010152
公開日2004年5月19日 申請日期2003年10月1日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月4日
發(fā)明者松田岳男, 原和弘 申請人:精工愛普生株式會社