專(zhuān)利名稱(chēng):清洗機(jī)上的噴淋裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及到清洗機(jī),尤其涉及到清洗機(jī)上的噴淋裝置。
背景技術(shù):
清洗機(jī)通常在上料臺(tái)的上方安裝有噴淋裝置,用于對(duì)上料臺(tái)上的硅片等待清洗物 件進(jìn)行清洗,使硅片保持濕潤(rùn),不要讓硅片上的污垢凝結(jié),便于接下來(lái)的清洗。目前的噴淋 裝置,噴射的輻射面較窄,不能將待清洗物件均勻全面地濕潤(rùn)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種可將待清洗物件均勻全面地濕潤(rùn)的清洗 機(jī)上的噴淋裝置。為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明采用的技術(shù)方案為清洗機(jī)上的噴淋裝置,包括噴 淋管和機(jī)架,噴淋管上設(shè)置有若干個(gè)噴嘴,機(jī)架上設(shè)置有噴淋支架,噴淋支架上設(shè)置有平移 氣缸和一對(duì)相互平行的滑軌,所述的噴淋管通過(guò)滑動(dòng)座活動(dòng)設(shè)置在所述的一對(duì)滑軌上,平 移氣缸的活塞桿與滑動(dòng)座相連。所述噴淋管的兩側(cè)分別設(shè)置有一排噴嘴。所述噴淋管兩側(cè)的噴嘴錯(cuò)位布置。本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明非常實(shí)用,通過(guò)平移氣缸的活塞桿帶著噴啉管來(lái)回 移動(dòng),從而將待清洗物件均勻全面地濕潤(rùn)。此外,錯(cuò)位布置的噴嘴使得噴灑更加均勻。
圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是圖1的左視結(jié)構(gòu)示意圖。圖1至圖3中1、機(jī)架,2、上料臺(tái),3、上料電機(jī),4、噴淋支架,5、平移氣缸,6、滑軌, 7、噴淋管,8、噴嘴,9、滑動(dòng)座,91、滑塊,10、工裝籃,11、機(jī)腳,12、接口。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖,詳細(xì)描述本發(fā)明的具體實(shí)施方案。如圖1所示,本發(fā)明所述的清洗機(jī)上的噴淋裝置,包括噴淋管7和機(jī)架1,噴淋管 7的兩側(cè)分別設(shè)置有一排噴嘴8,這兩排噴嘴8呈錯(cuò)位布置——參見(jiàn)圖2所示,機(jī)架1上設(shè) 置有噴淋支架4,噴淋支架4上設(shè)置有平移氣缸5和一對(duì)相互平行的滑軌6,所述的噴淋管 7通過(guò)滑動(dòng)座9活動(dòng)設(shè)置在所述的一對(duì)滑軌6上,如圖3所示,其具體設(shè)置方式為滑動(dòng)座9 的底部?jī)蓚?cè)分別設(shè)置有與滑軌6相配合的滑塊91,滑塊91活動(dòng)沒(méi)置在滑軌6上,噴淋管7 固定在滑動(dòng)座9上;所述平移氣缸5的活塞桿與滑動(dòng)座9相連。使用時(shí),可將供水管接在噴淋管7的接口 12上,通過(guò)上料電機(jī)3將裝有硅片等待清洗的物件的工裝籃10移至噴淋管7的下方,然后,噴淋管7在平移氣缸5的推動(dòng)下來(lái)回 對(duì)工裝籃10中的物件進(jìn)行噴淋。
權(quán)利要求
清洗機(jī)上的噴淋裝置,包括噴淋管和機(jī)架,噴淋管上設(shè)置有若干個(gè)噴嘴,其特征在于所述的機(jī)架上設(shè)置有噴淋支架,噴淋支架上設(shè)置有平移氣缸和一對(duì)相互平行的滑軌,所述的噴淋管通過(guò)滑動(dòng)座活動(dòng)設(shè)置在所述的一對(duì)滑軌上,平移氣缸的活塞桿與滑動(dòng)座相連。
2.如權(quán)利要求1所述的噴淋裝置,其特征在于所述噴淋管的兩側(cè)分別設(shè)置有一排噴嘴。
3.如權(quán)利要求2所述的噴淋裝置,其特征在于所述噴淋管兩側(cè)的噴嘴錯(cuò)位布置。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種可將待清洗物件均勻全面地濕潤(rùn)的清洗機(jī)上的噴淋裝置,包括噴淋管和機(jī)架,噴淋管上設(shè)置有若干個(gè)噴嘴,機(jī)架上設(shè)置有噴淋支架,噴淋支架上設(shè)置有平移氣缸和一對(duì)相互平行的滑軌,所述的噴淋管通過(guò)滑動(dòng)座活動(dòng)設(shè)置在所述的一對(duì)滑軌上,平移氣缸的活塞桿與滑動(dòng)座相連。本發(fā)明非常實(shí)用,通過(guò)平移氣缸的活塞桿帶著噴啉管來(lái)回移動(dòng),從而將待清洗物件均勻全面地濕潤(rùn)。
文檔編號(hào)B08B13/00GK101947533SQ201010296450
公開(kāi)日2011年1月19日 申請(qǐng)日期2010年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月29日
發(fā)明者陳宏 申請(qǐng)人:張家港市超聲電氣有限公司