專利名稱：濕式洗滌設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種濕式洗滌設(shè)備，特別涉及一種洗滌運(yùn)行更為順暢的濕式洗滌設(shè)備。
背景技術(shù)：
一般來說，在LCD的前期制作過程中，其制作過程反應(yīng)的生成物通常包括有C、O、F、Al及Cl等所組成的廢氣，這些廢氣必須經(jīng)由一濕式洗滌設(shè)備(water scrubber)的處理后才可排放至外界。
圖1顯示一已知的濕式洗滌設(shè)備1內(nèi)部構(gòu)造的示意圖，上述廢氣經(jīng)由一入口11進(jìn)入濕式洗滌設(shè)備1之中，接著，廢氣會(huì)往下經(jīng)由一第一灑水裝置12水洗及一第一過濾器13過濾后，再往上依序經(jīng)由一第二過濾器14、一第二灑水裝置15、一第三過濾器16、一第三灑水裝置17以及一第四過濾器18清洗及過濾后而由一出口19排出。此外，水洗之后的臟水會(huì)流入一第一儲(chǔ)水槽20之中，并且可經(jīng)由一管路21排出至濕式洗滌設(shè)備1之外，而干凈的水或經(jīng)回收處理過的水則可以儲(chǔ)存于一第二儲(chǔ)水槽22之中，并且可選擇性地經(jīng)由一管路23輸送至第一灑水裝置12、第二灑水裝置15或第三灑水裝置17。
然而，已知的濕式洗滌設(shè)備1具有多項(xiàng)缺點(diǎn)，首先，由于第一灑水裝置12所噴出的水中會(huì)帶有水氣，此水氣會(huì)上升而與經(jīng)由入口11進(jìn)入的廢氣發(fā)生快速及劇烈的反應(yīng)，并反應(yīng)產(chǎn)生固態(tài)的腐蝕性生成物，這些固態(tài)的腐蝕性生成物又會(huì)沉積于入口11處而造成入口11阻塞。再者，廢氣與水發(fā)生反應(yīng)而產(chǎn)生的固態(tài)腐蝕性生成物亦會(huì)沉積于出口19以及風(fēng)扇24的扇葉25處，因而造成出口19阻塞以及使扇葉25產(chǎn)生腐蝕損壞。如上所述，當(dāng)濕式洗滌設(shè)備1的入口11及出口19發(fā)生阻塞時(shí)，LCD制作過程所產(chǎn)生的廢氣就無法順利地流進(jìn)濕式洗滌設(shè)備1之中，然后，LCD制造設(shè)備會(huì)因廢氣壓力過高而發(fā)生故障停車，進(jìn)而使得制造中的LCD發(fā)生損壞或不良。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是要提供一種改進(jìn)的濕式洗滌設(shè)備，該設(shè)備可使廢氣入口及出口處不易沉積固態(tài)生成物而發(fā)生阻塞，進(jìn)而延長(zhǎng)濕式洗滌設(shè)備的使用時(shí)間。
本發(fā)明基本上采用如下所詳述的特征以便解決上述問題。也就是說，本發(fā)明包括一洗滌室、一入口組合、一入口管路、一刮除器以及一出口管路。入口組合設(shè)置于洗滌室之上，并且具有一第一噴灑裝置以及一擋板。第一噴灑裝置以及擋板設(shè)置于入口組合之中，并且第一噴灑裝置位于擋板之上。入口管路設(shè)置于入口組合之上，并且連接于入口組合。刮除器設(shè)置于入口管路之中。出口管路連接于洗滌室，并且具有一第二噴灑裝置，第二噴灑裝置設(shè)置于出口管路之中。
同時(shí)，根據(jù)本發(fā)明的濕式洗滌設(shè)備，還包括一噴氣裝置，設(shè)置于入口組合之上，用以提供一高壓干燥氣流于入口組合之中。
優(yōu)選在本發(fā)明中，上述干燥氣流由氮?dú)馑M成。
優(yōu)選在本發(fā)明中，還包括一馬達(dá)，連接于刮除器。
優(yōu)選在本發(fā)明中，還包括一支撐板，設(shè)置于入口組合之中，用以支撐擋板。
優(yōu)選在本發(fā)明中，洗滌室還具有一第一洗滌部以及一第二洗滌部，入口組合設(shè)置于第一洗滌部之上，以及出口管路連接于第二洗滌部。
優(yōu)選在本發(fā)明中，第一洗滌部還具有一第三噴灑裝置以及一第一過濾裝置，第三噴灑裝置設(shè)置于第一過濾裝置之上。
優(yōu)選在本發(fā)明中，第二洗滌部還具有一第二過濾裝置、一第四噴灑裝置、一第三過濾裝置、一第五噴灑裝置以及一第四過濾裝置，第二過濾裝置設(shè)置于第四噴灑裝置之上，第四噴灑裝置設(shè)置于第三過濾裝置之上，第三過濾裝置設(shè)置于第五噴灑裝置之上，以及第五噴灑裝置設(shè)置于第四過濾裝置之上。
優(yōu)選在本發(fā)明中，第三過濾裝置為一氣泡產(chǎn)生板。
優(yōu)選在本發(fā)明中，第四過濾裝置為一氣泡產(chǎn)生板。
優(yōu)選在本發(fā)明中，第二洗滌部還具有一抽氣風(fēng)扇，鄰接于出口管路。
優(yōu)選在本發(fā)明中，洗滌室還具有一第一儲(chǔ)水槽以及一第二儲(chǔ)水槽，設(shè)置于洗滌室的下方。


為使本發(fā)明上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選的實(shí)施例并配合所附附圖作詳細(xì)說明。
圖1是顯示一已知的濕式洗滌設(shè)備內(nèi)部構(gòu)造的示意圖；以及圖2是顯示本發(fā)明的濕式洗滌設(shè)備內(nèi)部構(gòu)造的示意圖。
附圖標(biāo)記說明1、100～濕式洗滌設(shè)備11～入口12～第一灑水裝置13～第一過濾器14～第二過濾器15～第二灑水裝置16～第三過濾器17～第三灑水裝置18～第四過濾器19～出口20、161～第一儲(chǔ)水槽21、23、163、164～管路22、162～第二儲(chǔ)水槽24～風(fēng)扇25、171～扇葉110～洗滌室111～第一洗滌部112～第二洗滌部113～第三噴灑裝置114～第一過濾裝置115～第二過濾裝置116～第四噴灑裝置117～第三過濾裝置118～第五噴灑裝置119～第四過濾裝置
120～入口組合121～第一噴灑裝置122～擋板123～支撐板130～入口管路140～刮除器150～出口管路151～第二噴灑裝置170～抽氣風(fēng)扇180～馬達(dá)190～噴氣裝置具體實(shí)施方式
以下參考

本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施例。
請(qǐng)參閱圖2，本發(fā)明的濕式洗滌設(shè)備100主要包括一洗滌室110、一入口組合120、一入口管路130、一刮除器140以及一出口管路150。
仍如圖2所示，洗滌室110可以分為一第一洗滌部111以及一第二洗滌部112，入口組合120設(shè)置于第一洗滌部111之上，而出口管路150則是連接于第二洗滌部112。同時(shí)，在第一洗滌部111之中還具有一第三噴灑裝置113以及一第一過濾裝置114，第三噴灑裝置113設(shè)置于第一過濾裝置114上方，并且可將水向下噴灑出來。在另一方面，在第二洗滌部112之中還具有一第二過濾裝置115、一第四噴灑裝置116、一第三過濾裝置117、一第五噴灑裝置118以及一第四過濾裝置119。第二過濾裝置115設(shè)置于第四噴灑裝置116上方，第四噴灑裝置116設(shè)置于第三過濾裝置117上方，第三過濾裝置117設(shè)置于第五噴灑裝置118上方，以及第五噴灑裝置118設(shè)置于第四過濾裝置116上方。同樣地，第四噴灑裝置116以及第五噴灑裝置118也是用來將水向下噴灑出來。
此外，如圖2所示，在洗滌室110的下方還具有一第一儲(chǔ)水槽161以及一第二儲(chǔ)水槽162。在第二洗滌部112的上部還設(shè)置有一抽氣風(fēng)扇170，此抽氣風(fēng)扇170鄰接于出口管路150。
如上所述，入口組合120設(shè)置于洗滌室110的第一洗滌部111之上，同時(shí)，在入口組合120之中還設(shè)置有一第一噴灑裝置121、一擋板122以及一支撐板123。第一噴灑裝置121位于擋板122上方，并且可將水噴灑于擋板122之上。支撐板123則是位于擋板122之下，其主要是用來支撐及固定擋板122。
入口管路130設(shè)置于入口組合120之上，并且連接于入口組合120。特別是，刮除器140設(shè)置于入口管路130之中，同時(shí)，一馬達(dá)180連接于刮除器140，以驅(qū)動(dòng)刮除器140轉(zhuǎn)動(dòng)。
出口管路150連接于洗滌室110的第二洗滌部112，并且在出口管路150之中還設(shè)置有一第二噴灑裝置151。同樣地，第二噴灑裝置151也是用來將水噴灑出來。
此外，在入口組合120之上還設(shè)置有一噴氣裝置190，此噴氣裝置190可以提供一高壓干燥氣流于入口組合120之中，換句話說，噴氣裝置190可以將高壓干燥空氣向下噴入入口組合120之中，并進(jìn)而將高壓干燥空氣向下噴入洗滌室110的第一洗滌部111之中。此外，此高壓干燥氣流或空氣可以是由氮?dú)馑M成。
如圖2所示，當(dāng)廢氣經(jīng)由入口管路130流入濕式洗滌設(shè)備100之中時(shí)，廢氣會(huì)先流經(jīng)入口組合120。由于第一洗滌部111之中的第三噴灑裝置113所噴出的水中會(huì)帶有水氣，此水氣又會(huì)往上升起，故為了防止上升的水氣在入口組合120中與廢氣產(chǎn)生劇烈反應(yīng)并產(chǎn)生固態(tài)的腐蝕性生成物，擋板122的設(shè)置可以阻擋水氣上升。同時(shí)，設(shè)置在入口組合120之上的噴氣裝置190會(huì)將高壓干燥空氣向下噴入入口組合120之中，以更加抑制第一洗滌部111之中的水氣上升至入口組合120之中。接著，廢氣會(huì)流進(jìn)第一洗滌部111之中而接受第三噴灑裝置113水洗及第一過濾裝置114過濾，此時(shí)，廢氣中的部份成份會(huì)與第三噴灑裝置113所噴出的水發(fā)生反應(yīng)，其反應(yīng)產(chǎn)生的固態(tài)腐蝕性生成物會(huì)伴隨著水流入第一儲(chǔ)水槽161之中，而廢氣中的其余成份會(huì)繼續(xù)流進(jìn)第二洗滌部112之中，然后再依序經(jīng)由第四過濾裝置119、第五噴灑裝置118、第三過濾裝置117、第四噴灑裝置116以及第二過濾裝置115的清洗及過濾。同樣地，第五噴灑裝置118以及第四噴灑裝置116所向下噴出的水會(huì)伴隨著與其發(fā)生反應(yīng)生成物流入第一儲(chǔ)水槽161之中，然后，第一儲(chǔ)水槽161中的臟水可再經(jīng)由管路163排出至濕式洗滌設(shè)備100之外。最后，經(jīng)清洗及過濾后的廢氣會(huì)借助抽氣風(fēng)扇170的抽氣而經(jīng)由出口管路150排放至外界。
值得注意的是，即使?jié)袷较礈煸O(shè)備100的入口組合120設(shè)置有擋板122以及噴氣裝置190以防止水氣上升，但為防止極少部份的水氣可能會(huì)上升至入口管路130之中而與廢氣發(fā)生反應(yīng)，并且生成固態(tài)的腐蝕性生成物，因此，位于入口管路130中的刮除器140可以隨時(shí)保持轉(zhuǎn)動(dòng)來刮除沉積于其內(nèi)的固態(tài)的腐蝕性生成物，以保持入口管路130的暢通。在另一方面，當(dāng)擋板122上所累積的固態(tài)腐蝕性生成物達(dá)到一定的數(shù)量時(shí)，第一噴灑裝置121可以被開啟以將擋板122上的固態(tài)的腐蝕性生成物沖洗下去。此外，由于固態(tài)的腐蝕性生成物亦有可能會(huì)沉積于出口管路150之內(nèi)或抽氣風(fēng)扇170的扇葉171之上，并因而造成出口管路150的阻塞或使扇葉171發(fā)生腐蝕損壞，故第二噴灑裝置151可以將水噴灑出去，以將出口管路150之內(nèi)或抽氣風(fēng)扇170的扇葉171之上的固態(tài)腐蝕性生成物沖洗掉。
另外，在本發(fā)明的濕式洗滌設(shè)備100之中，第三過濾裝置117以或第四過濾裝置119可以是一種氣泡產(chǎn)生板，其目的在于使廢氣與水氣可以變成更多及更小的氣泡，以利于與第四灑水裝置116或第五灑水裝置118所噴出的水結(jié)合。
再者，在本發(fā)明的濕式洗滌設(shè)備100之中，干凈的水或經(jīng)回收處理過的水可以儲(chǔ)存于第二儲(chǔ)水槽162之中，并且可選擇性地經(jīng)由一管路164輸送至第一噴灑裝置121、第二噴灑裝置151、第三灑水裝置1113、第四灑水裝置116或第五灑水裝置118。
雖然本發(fā)明已以優(yōu)選的實(shí)施例公開于上，然其并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域中的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些少許更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所附的權(quán)利要求書所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種濕式洗滌設(shè)備，包括一洗滌室；一入口組合，設(shè)置于該洗滌室之上，并且具有一第一噴灑裝置以及一擋板，該第一噴灑裝置以及該擋板設(shè)置于該入口組合之中，并且該第一噴灑裝置位于該擋板之上；一入口管路，設(shè)置于該入口組合之上，并且連接于該入口組合；一刮除器，設(shè)置于該入口管路之中；以及一出口管路，連接于該洗滌室，并且具有一第二噴灑裝置，設(shè)置于該出口管路之中。
2.如權(quán)利要求1所述的濕式洗滌設(shè)備，其中還包括一噴氣裝置，設(shè)置于該入口組合之上，用以提供一高壓干燥氣流于該入口組合之中。
3.如權(quán)利要求2所述的濕式洗滌設(shè)備項(xiàng)所述的濕式洗滌設(shè)備，其中，該干燥氣流由氮?dú)馑M成。
4.如權(quán)利要求1所述的濕式洗滌設(shè)備，其中還包括一馬達(dá)，連接于該刮除器。
5.如權(quán)利要求1所述的濕式洗滌設(shè)備，其中還包括一支撐板，設(shè)置于該入口組合之中，用以支撐該擋板。
6.如權(quán)利要求1所述的濕式洗滌設(shè)備，其中，該洗滌室還具有一第一洗滌部以及一第二洗滌部，該入口組合設(shè)置于該第一洗滌部之上，以及該出口管路連接于該第二洗滌部。
7.如權(quán)利要求6所述的濕式洗滌設(shè)備，其中，該第一洗滌部還具有一第三噴灑裝置以及一第一過濾裝置，該第三噴灑裝置設(shè)置于該第一過濾裝置之上。
8.如權(quán)利要求6所述的濕式洗滌設(shè)備，其中，該第二洗滌部還具有一第二過濾裝置、一第四噴灑裝置、一第三過濾裝置、一第五噴灑裝置以及一第四過濾裝置，該第二過濾裝置設(shè)置于該第四噴灑裝置之上，該第四噴灑裝置設(shè)置于該第三過濾裝置之上，該第三過濾裝置設(shè)置于該第五噴灑裝置之上，以及該第五噴灑裝置設(shè)置于該第四過濾裝置之上。
9.如權(quán)利要求8所述的濕式洗滌設(shè)備，其中，該第三過濾裝置為一氣泡產(chǎn)生板。
10.如權(quán)利要求8所述的濕式洗滌設(shè)備，其中，該第四過濾裝置為一氣泡產(chǎn)生板。
11.如權(quán)利要求6所述的濕式洗滌設(shè)備，其中，該第二洗滌部還具有一抽氣風(fēng)扇，鄰接于該出口管路。
12.如權(quán)利要求1所述的濕式洗滌設(shè)備，其中，該洗滌室還具有一第一儲(chǔ)水槽以及一第二儲(chǔ)水槽，設(shè)置于該洗滌室的下方。
全文摘要
一種濕式洗滌設(shè)備，包括一洗滌室、一入口組合、一入口管路、一刮除器以及一出口管路。入口組合設(shè)置于洗滌室之上，并且具有一第一噴灑裝置以及一擋板。第一噴灑裝置以及擋板設(shè)置于入口組合之中，并且第一噴灑裝置位于擋板之上。入口管路設(shè)置于入口組合之上，并且連接于入口組合。刮除器設(shè)置于入口管路之中。出口管路連接于洗滌室，并且具有一第二噴灑裝置，第二噴灑裝置設(shè)置于出口管路之中。
文檔編號(hào)B08B3/04GK1537682SQ20031010273
公開日2004年10月20日 申請(qǐng)日期2003年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月22日
發(fā)明者徐應(yīng)吉, 郭浩禎, 孫國文, 林遠(yuǎn)宗 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司