同標記表示的部分是具有同樣功能的同樣要素。另外，本說明書 中，使用"~"表示數(shù)值范圍時，以"~"表示的上限、下限的數(shù)值也包含在數(shù)值范圍中。
[0074] 以下，以本發(fā)明的實施方式中的具有以陣列狀排列的針狀凸部的經(jīng)皮吸收片作為 一個示例，對其制造方法進行說明。雖然是對經(jīng)皮吸收片進行描述，但也可以對經(jīng)皮吸收片 以外的具有以陣列狀排列的針狀凸部的功能性膜應用本發(fā)明。
[0075] 在圖IA和IB中對通過本發(fā)明的實施方式的經(jīng)皮吸收片的制造方法制造的經(jīng)皮吸 收片的針狀凸部（也稱作微針）進行說明。本實施方式中，以四棱錐狀的針狀凸部的例子 進行說明，但不限于該形狀。
[0076] 如圖IA的立體圖和圖IB的截面圖所示，為了使微針10以幾百ym的深度刺入皮 膚表面，對于形成于經(jīng)皮吸收片的微針（針狀凸部）10的形狀而言，需要：（1)前端充分尖， 進入皮膚內(nèi)的針的直徑也足夠細（長度/直徑的長徑比高）；（2)具有充分的強度（針不會 彎折）。
[0077] 因此，為了滿足（1)的要求，需要細且尖的形狀，但這與（2)相悖，過細時，在前端 或根部彎折，過粗時不能刺入，因此如圖IA所示，微針10的棱線IOA優(yōu)選設成向微針內(nèi)側 彎曲的形狀。通過設為這樣的形狀，使前端足夠尖，另一方面擴大根部，由此能夠不易彎折。 另外，優(yōu)選四棱錐狀的微針的棱線IOAUOA比該棱線彼此之間的四棱錐面IOC更外突。
[0078] 微針10的形狀優(yōu)選為底面的單邊X為0.Iym以上且1000ym以下的范圍、高度 為0. 3ym以上且3000ym以下。更優(yōu)選為單邊X為10ym以上且400ym以下的范圍、高 度為30ym以上且1200ym以下。
[0079] 并且，將連接棱線的始點和終點的線段的長度設為L時，棱線IOA的彎曲的最大深 度Z優(yōu)選為0.04XL以上且0. 2XL以下。另外，微針10的表現(xiàn)出鋒利性的微針前端IOB 的曲率半徑R優(yōu)選為20ym以下、更優(yōu)選為15ym以下。
[0080] 需要說明的是，圖IA和IB對四棱錐狀的微針10進行了顯示，但圖2A和2B所示 的圓錐狀、其它三棱錐等棱錐狀的微針也優(yōu)選為同樣的尺寸。需要說明的是，圓錐狀的情況 下，底面的直徑X優(yōu)選為0.1 ym以上且1000 ym以下的范圍、更優(yōu)選為50 ym以上且500 ym 以下的范圍。另外，將連接圓錐面的母線的始點和終點的線段的長度設為L時，圓錐面的彎 曲的最大深度Z優(yōu)選為0. 04XL以上且0. 2XL以下。
[0081] 如上所述，經(jīng)皮吸收片是微針以二維排列進行排列的凸部陣列，容易刺入皮膚表 面，因此重要的是使微針前端IOB鋒利從而足夠尖。優(yōu)選將微針前端IOB的曲率半徑R設 為20 y m以下。為了形成具有曲率半徑R為20 y m以下的前端的微針10,重要點在于能否 將聚合物樹脂的溶液注入至在模具（mold、模子）中形成的凸陣列反轉(zhuǎn)模、即針狀凹部的前 端（底）并進行精密的轉(zhuǎn)印。
[0082]另外，經(jīng)皮吸收片需要混入藥劑，但很多藥劑價格昂貴，以集中于微針部分的方式 含有藥劑在成本方面是重要的。
[0083][經(jīng)皮吸收片的制造方法]
[0084] 接著，對本發(fā)明的實施方式的經(jīng)皮吸收片的制造方法進行說明。
[0085](模具的制作）
[0086] 圖3A~3C是模具（模子）的制作的工序圖。
[0087] 如圖3A所示，首先制造用于制造模具的原版，所述模具用于制造經(jīng)皮吸收片。
[0088] 該原版11的制作方法有兩種，第一種方法是在Si基板上涂布光致抗蝕劑后，進行 曝光、顯影。并且，通過利用RIE(反應離子蝕刻）等進行蝕刻，在原版11的表面制作圓錐 狀形狀部（凸部）12的陣列。需要說明的是，為了在原版11的表面形成圓錐狀形狀部而進 行RIE等蝕刻時，通過邊旋轉(zhuǎn)Si基板邊由斜向進行蝕刻，能夠形成圓錐的形狀。
[0089] 第二種方法為：對于Ni等的金屬基板，通過使用金剛石車刀等切削工具的加工， 在原版11的表面形成四棱錐等的形狀部12的陣列的方法。
[0090] 接著，進行模具的制作。具體來說，如圖3B所示，由原版11制作模具13。通常的 模具13的制作中使用基于Ni電鑄等的方法，但是原版11是前端為銳角的圓錐形或棱錐形 (例如四棱錐）的形狀，因此考慮四種方法，這些方法能夠在模具13中正確地轉(zhuǎn)印形狀并進 行剝離，而且能夠廉價地進行制造。
[0091] 第一種方法是如下方法：向原版11澆注在PDMS (聚二甲基硅氧烷、例如道康寧公 司制的SYLGARD 184(注冊商標））中添加固化劑后的硅樹脂，在100°C進行加熱處理而固 化后，從原版11剝離。第二種方法是如下方法：向原版11澆注通過照射紫外線進行固化的 UV(Ultraviolet)固化樹脂，在氮氣氛中照射紫外線后，從原版11剝離。第三種方法是如下 方法：向涂布有剝離劑的原版11澆注使聚苯乙烯、PMM(聚甲基丙烯酸甲酯）等塑料樹脂 溶于有機溶劑后的溶液，使之干燥，由此使有機溶劑揮發(fā)而固化后，從原版11剝離。第四種 方法是通過Ni電鑄制成反轉(zhuǎn)品的方法。
[0092] 由此，制作原版11的圓錐形或棱錐形的反轉(zhuǎn)形狀、即針狀凹部15以二維排列進行 排列的模具13。圖3C中示出如此制作的模具13。需要說明的是，上述四種方法中的任一 方法均能夠以任意次數(shù)容易地制作模具13。接著，在圖3C中制造的模具13上設置框14。
[0093] 圖4A~4D是設置有框14的圖。圖4A和4B分別是在模具13的周圍設置有框時 的俯視圖和立體圖。圖4C和4D分別是將多個模具13拼接、在模子的內(nèi)部也設置框14時 的俯視圖和立體圖。通過設置框14,在以所期望的膜厚形成功能性膜時，能夠防止聚合物樹 脂的溶解液（以下也稱作"聚合物溶解液"）流到模具13外。
[0094] 此時，模具13和框14之間的高差優(yōu)選設為50 ym以上且IOmm以下。另外，圖4A~ 4D的模子是可以將模具13和框14分離的構成，但是也能夠以一體模的方式構成。以分離 模的方式構成時，在填充工序后的干燥工序、剝離工序中能夠?qū)⒖?4卸去。
[0095]圖4C和4D中，使用接合劑將多個模具13拼接在基板17上以及將多個模具13彼 此拼接。并且，在模具13的側面周圍和內(nèi)部設置框14。
[0096] 圖5表示另一優(yōu)選的模具13的方案。針狀凹部15具備：從模具13的表面起朝深 度方向變窄的錐狀的入口部15A、在深度方向上寬度一定的中間凹部15B、朝深度方向變細 的前端凹部15C。錐的角度0優(yōu)選為10°~20°的范圍。通過將入口部15A設為錐形形 狀，易于將聚合物溶解液填充至針狀凹部15。
[0097] 圖6表示在進行經(jīng)皮吸收片的制造方法的方面更優(yōu)選的模具復合體18的方案。圖 6中，（A)部表示模具復合體18。圖6中，（B)部是（A)部之中被圓包圍的部分的放大圖。
[0098] 如圖6的（A)部所示，模具復合體18具備：在針狀凹部15的前端（底）形成有排 氣孔15D的模具13 ;以及貼合于模具13的背面的由氣體可透過而液體不透過的材料形成 的透氣片19。排氣孔1?以將模具13的背面貫通的貫通孔的形式形成。此處，模具13的 背面是指形成有排氣孔15D的一側的面。由此，針狀凹部15的前端經(jīng)由排氣孔1?和透氣 片19與大氣連通。
[0099] 通過使用這種模具復合體18,針狀凹部15中填充的經(jīng)皮吸收材料溶液不會透過， 能夠僅將針狀凹部15中存在的空氣從針狀凹部15中趕走。由此，將針狀凹部15的形狀轉(zhuǎn) 印至經(jīng)皮吸收材料的轉(zhuǎn)印性變好，能夠形成更尖銳的微針10。
[0100] 作為排氣孔15D的孔徑D (直徑），優(yōu)選1~50 y m的范圍。排氣孔15D的孔徑D 小于I y m時，不能充分發(fā)揮作為排氣孔的作用。另外，排氣孔15D的孔徑D大于50 y m時， 所成形出的微針10的前端部的尖銳性受損。
[0101] 作為由氣體可透過而液體不透過的材料形成的透氣片19,可以適宜地使用例如乳 膠（旭化成化學公司）。
[0102] 作為用于模具13的材料，可以使用有彈性的原材料、金屬制的原材料。其中優(yōu)選 有彈性的原材料，進一步優(yōu)選透氣性高的原材料。作為透氣性指標的氧透過性優(yōu)選大于 I X 10_12 (mL/s ? m2 ? Pa)、更優(yōu)選大于I X ICTici (mL/s ? m2 ? Pa)。通過使透氣性為上述范圍， 能夠?qū)⒛＞?3的凹部中存在的空氣從模子側趕走，因而能夠制造缺陷少的微陣列針。作為 這種材料，具體可以列舉將硅樹脂（例如道康寧公司制的SYLGARD 184(注冊商標）、信越 化學工業(yè)株式會社的KE-1310ST (產(chǎn)品編號））、UV固化樹脂、和塑料樹脂（例如聚苯乙烯、 PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯））熔融或溶于溶劑后的材料等。這些之中，硅橡膠系的原材料對 基于反復加壓的轉(zhuǎn)印有耐久性，并且與原材料的剝離性好，因此可以適宜地使用硅橡膠系 的原材料。另外，作為金屬制的原材料，可以列舉Ni、Cu、Cr、Mo、W、Ir、Tr、Fe、Co、MgO、Ti、 Zr、Hf、V、Nb、Ta、a-氧化錯、氧化錯、不銹鋼（例如伯樂烏特赫姆公司（Bohler-Uddeholm KK)的STAVAX材（STAVAX)(商標））等或其合金。作為框14的材質(zhì)，可以使用與模具13的 材質(zhì)同樣的材質(zhì)。
[0103] (聚合物溶解液）
[0104]