超聲波裝置、超聲波探頭、探測器、電子設(shè)備及圖像裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及超聲波裝置、超聲波探頭、超聲波探測器、電子設(shè)備以及超聲波圖像裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]使用了對(duì)超聲波進(jìn)行接收發(fā)送的超聲波元件的超聲波裝置正在被應(yīng)用于各種各樣的用途。具備有超聲波元件的超聲波內(nèi)視鏡在專利文獻(xiàn)I中已被公開。根據(jù)該文獻(xiàn)，超聲波內(nèi)視鏡具備:接收發(fā)送超聲波的靜電電容式超聲波元件和使超聲波匯聚的聲透鏡。
[0003]超聲波元件對(duì)設(shè)置有下側(cè)電極的基板和設(shè)置有上側(cè)電極的膜片施加交流的電壓。由此，靜電力作用于基板和膜片，膜片振動(dòng)而發(fā)送超聲波。超聲波通過在聲透鏡中通過而以匯聚于規(guī)定的位置的方式被射出。聲透鏡由有機(jī)硅樹脂形成，是超聲波易于傳遞至被檢體、如果施加應(yīng)力則就易于變形的材料。
[0004]聲透鏡接觸于被檢體就易于傳播超聲波。而且，由于聲透鏡的位置由操作者控制，因此聲透鏡往往被向檢體按壓。在專利文獻(xiàn)I中，聲透鏡的周圍被金屬包裝(package)支撐。因此，在應(yīng)力由被檢體施加于聲透鏡時(shí)，由于聲透鏡由外周保持著，因此中央就變得易于變形。在聲透鏡變形時(shí)，超聲波匯聚的位置就移動(dòng)，預(yù)定進(jìn)行匯聚的位置上的超聲波的音壓下降。因此，一直希望通過抑制聲透鏡的變形而能夠高效地接收發(fā)送超聲波的超聲波裝置。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開2011-35916號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明為了解決上述的問題而做出，能夠作為以下的方式或適用例來實(shí)現(xiàn):
[0009]適用例I
[0010]根據(jù)本適用例所涉及的超聲波裝置，其特征在于，具備:超聲波元件陣列基板，具有進(jìn)行超聲波的發(fā)送以及接收中的至少一方的多個(gè)超聲波元件；聲透鏡，使所述超聲波匯聚；聲匹配部，配置于所述超聲波元件陣列基板與所述聲透鏡之間，由樹脂形成；以及多個(gè)柱狀的間隔維持部，配置于所述超聲波元件陣列基板與所述聲透鏡之間，并與所述超聲波元件陣列基板和所述聲透鏡接觸。
[0011]根據(jù)本適用例，在超聲波元件陣列基板上設(shè)置有多個(gè)超聲波元件。超聲波元件進(jìn)行超聲波的發(fā)送或接收。或者，超聲波元件進(jìn)行超聲波的發(fā)送以及接收。超聲波元件發(fā)送的超聲波通過聲匹配部以及聲透鏡而向被檢體射出。聲匹配部調(diào)整超聲波元件與聲透鏡之間的聲阻抗。由此，在超聲波元件與聲匹配部之間的界面上，超聲波變得難以反射，在聲匹配部與聲透鏡之間的界面上，超聲波變得難以反射。因此，超聲波被高效地向被檢體射出。
[0012]聲透鏡與被檢體接觸而使用。此時(shí)，聲透鏡由被檢體按壓，在聲透鏡的內(nèi)部，產(chǎn)生應(yīng)力。由于聲匹配部的樹脂易于變形，因此通過聲透鏡的應(yīng)力而變形。另一方面，柱狀的間隔維持部與聲透鏡和超聲波元件陣列基板接觸，將聲透鏡的應(yīng)力傳遞至超聲波元件陣列基板。而且，由于聲匹配部的厚度被維持為恒定，因此能夠抑制聲透鏡的變形而使超聲波高精度地匯聚。并且，由于聲透鏡的變形已經(jīng)被抑制，因此由被檢體反射的超聲波也能夠高精度地匯聚于超聲波元件。其結(jié)果，超聲波裝置能夠高效地接收發(fā)送超聲波。
[0013]適用例2
[0014]在上述適用例所涉及的超聲波裝置中，其特征在于，在從所述超聲波元件陣列基板的厚度方向來看的俯視觀察中，所述間隔維持部被設(shè)置于不與所述超聲波元件重疊的位置。
[0015]根據(jù)本適用例，間隔維持部被設(shè)置于不與超聲波元件重疊的位置。在超聲波元件上，重疊有由樹脂形成的聲匹配部。因此，超聲波裝置能夠射出聲阻抗由聲匹配部調(diào)整后的超聲波。并且，在超聲波裝置中，聲匹配部能夠調(diào)整射入的超聲波的聲阻抗而向超聲波元件射出。
[0016]適用例3
[0017]在上述適用例所涉及的超聲波裝置中，其特征在于，所述間隔維持部在所述超聲波元件之間壁狀地延伸而配置，使所述超聲波元件陣列基板面內(nèi)方向的超聲波變得難以通過。
[0018]根據(jù)本適用例，間隔維持部在超聲波元件之間壁狀地延伸而配置。間隔維持部使超聲波元件陣列基板面內(nèi)方向的超聲波變得難以通過，進(jìn)而限制超聲波傳播的方向。此外，超聲波元件陣列基板面內(nèi)方向是與超聲波元件陣列基板的表面平行的方向。因此，能夠抑制在隔著間隔維持部而配置的超聲波元件在接收發(fā)送超聲波時(shí)相互地影響。
[0019]適用例4
[0020]在上述適用例所涉及的超聲波裝置中，其特征在于，所述間隔維持部比所述聲匹配部的透水性低，并被配置為覆蓋將電信號(hào)傳遞至超聲波元件的配線。
[0021]根據(jù)本適用例，間隔維持部覆蓋配線而配置。間隔維持部是透水性低、水分難以通過的部位。因此，間隔維持部抑制水分附著于配線，因而能夠防止配線進(jìn)行電場腐蝕。
[0022]適用例5
[0023]在上述適用例所涉及的超聲波裝置中，其特征在于，2個(gè)所述間隔維持部之間是聲匹配部的材料流動(dòng)的流路。
[0024]根據(jù)本適用例，間隔維持部壁狀地延伸。而且，在形成聲匹配部時(shí)，2個(gè)間隔維持部之間成為聲匹配部的材料流動(dòng)的流路。并且，由于聲匹配部的材料沿間隔維持部而移動(dòng)，因此能夠使間隔維持部之間無間隙地由聲匹配部的材料填充。
[0025]適用例6
[0026]在上述適用例所涉及的超聲波裝置中，其特征在于，在所述俯視觀察中，所述間隔維持部的形狀為圓或橢圓。
[0027]根據(jù)本適用例，間隔維持部的形狀為圓或橢圓。圓或橢圓沒有角，流體能夠沿外周以較小的阻力而流動(dòng)。因此，在具有間隔維持部的位置上使聲匹配部的材料流動(dòng)時(shí)，聲匹配部的材料沿間隔維持部而移動(dòng)。此時(shí)，由于聲匹配部的材料將位于聲匹配部的空間中的空氣擠出，因此能夠使間隔維持部之間無間隙地由聲匹配部的材料填充。
[0028]適用例7
[0029]根據(jù)適用例涉及的超聲波探頭，其特征在于，具備上述任一項(xiàng)所述的超聲波裝置和支撐所述超聲波裝置的框體。
[0030]根據(jù)本適用例，超聲波探頭具備上述所述的超聲波裝置和支撐該超聲波裝置的框體。本適用例的超聲波探頭具備恰當(dāng)?shù)鼐S持聲匹配部的厚度，進(jìn)而高效地進(jìn)行超聲波的接收發(fā)送的超聲波裝置。因此，能夠提供高效地進(jìn)行超聲波的接收發(fā)送的超聲波探頭。
[0031]適用例8
[0032]根據(jù)本適用例涉及的超聲波探測器，其特征在于，具備上述任一項(xiàng)所述的超聲波裝置和驅(qū)動(dòng)所述超聲波裝置的驅(qū)動(dòng)電路。
[0033]根據(jù)本適用例，超聲波探測器具備上述所述的超聲波裝置和驅(qū)動(dòng)該超聲波裝置的驅(qū)動(dòng)電路。本適用例的超聲波探測器具備恰當(dāng)?shù)鼐S持聲匹配部的厚度，進(jìn)而高效地進(jìn)行超聲波的接收發(fā)送的超聲波裝置。因此，能夠提供高效地進(jìn)行超聲波的接收發(fā)送的超聲波探測器。
[0034]適用例9
[0035]根據(jù)本適用例涉及的電子設(shè)備，其特征在于，具備:上述任一項(xiàng)所述的超聲波裝置和被連接于所述超聲波裝置，使用所述超聲波裝置的輸出而生成圖像的處理部。
[0036]根據(jù)本適用例，電子設(shè)備具備上述所述的超聲波裝置以及處理部。處理部使用超聲波裝置的輸出而進(jìn)行圖像數(shù)據(jù)的生成。本適用例的電子設(shè)備具備恰當(dāng)?shù)鼐S持聲匹配部的厚度，進(jìn)而高效地進(jìn)行超聲波的接收發(fā)送的超聲波裝置。因此，能夠提供高效地進(jìn)行超聲波的接收發(fā)送的電子設(shè)備。
[0037]適用例10
[0038]根據(jù)本適用例涉及的超聲波圖像裝置，其特征在于，具備:上述任一項(xiàng)所述的超聲波裝置；處理部，被連接于所述超聲波裝置，進(jìn)行使用所述超聲波裝置的輸出而生成圖像的處理；以及顯示部，顯示所述圖像。
[0039]根據(jù)本適用例，超聲波圖像裝置具備上述的超聲波裝置、處理部以及顯示部。處理部使用超聲波裝置的輸出而進(jìn)行圖像數(shù)據(jù)的生成。顯示部顯示處理部所生成的圖像。本適用例的超聲波圖像裝置具備恰當(dāng)?shù)鼐S持聲匹配部的厚度，進(jìn)而高效地進(jìn)行超聲波的接收發(fā)送的超聲波裝置。因此，能夠提供高效地進(jìn)行超聲波的接收發(fā)送的超聲波圖像裝置。
【附圖說明】
[0040]圖1是示出超聲波圖像裝置的構(gòu)成的立體示意圖。
[0041]圖2是顯示超聲波探測器的構(gòu)造的側(cè)截面局部示意圖。
[0042]圖3是示出超聲波探測器的構(gòu)造的主要部分截面示意圖。
[0043]圖4是超聲波圖像裝置的控制框圖。
[0044]圖5是示出超聲波設(shè)備的構(gòu)造的俯視示意圖。
[0045]圖6的(a)以及圖6的(C)是示出超聲波裝置的構(gòu)造的側(cè)截面示意圖，圖6的(b)以及圖6的(d)是示出超聲波裝置的構(gòu)造的側(cè)面示意圖。
[0046]圖7的(a)是示出超聲波元件的構(gòu)成的俯視示意圖，圖7的(b)是示出超聲波元件的構(gòu)成的側(cè)截面示意圖。
[0047]圖8是示出超聲波元件陣列基板的構(gòu)成的俯視示意圖。
[0048]圖9是超聲波裝置的制造方法的流程圖。
[0049]圖10的(a)?(e)是用于說明超聲波裝置的制