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同步快速真空工藝的設(shè)備的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9284841

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一般真空設(shè)備是用于鍍膜、蝕刻、表面處理等加工,其應(yīng)用的領(lǐng)域有半導(dǎo)體、光電、電機(jī)、電子、民生用品等產(chǎn)業(yè),過(guò)程中都需經(jīng)過(guò)多道工藝處理以便形成不同材質(zhì)的膜層結(jié)構(gòu)。為了達(dá)到高品質(zhì)、高產(chǎn)能且低成本的作業(yè)目標(biāo),現(xiàn)有真空設(shè)備多為連續(xù)式真空設(shè)備?,F(xiàn)有的連續(xù)式真空設(shè)備請(qǐng)參閱圖7所示,包括依序連接的一前外部傳輸機(jī)構(gòu)81、一第一腔體82、一第二真空腔體83、一第三真空腔體84、一第四真空腔體85、一第五腔體86以及一后外部傳輸機(jī)構(gòu)87,并且在該前外部傳輸機(jī)構(gòu)81、該第一腔體82...
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