技術(shù)編號：8138788
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及η型透明導(dǎo)電ZnO晶體薄膜的生長方法，尤其是F摻雜生長η型透明 導(dǎo)電ZnO晶體薄膜的方法。背景技術(shù)透明導(dǎo)電氧化物(TCO)薄膜是一種重要的光電材料，因其具有接近金屬的導(dǎo)電 性、可見光范圍內(nèi)的高透射率、對紅外線的高反射率及其半導(dǎo)體等特性，在太陽能電池透明 電極、平板液晶顯示器、發(fā)光二極管、熱反射鏡、建筑用節(jié)能玻璃窗和氣敏傳感器等眾多領(lǐng) 域得到廣泛應(yīng)用。目前，已經(jīng)商業(yè)化應(yīng)用的TCO薄膜主要是In2O3 = Sn(ITO)和SnO2 = F(FTO) 兩類。ITO薄膜的性能雖好，但由于其含有貴金屬銦，成...
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