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具有溫度控制的靜電夾具的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7350082

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在此提供一種裝置的實(shí)施方式,所述裝置用于控制處理腔室中的靜電夾具的溫度。在一些實(shí)施方式中,裝置包含靜電夾具,所述靜電夾具設(shè)置于處理腔室中,所述靜電夾具包含陶瓷板,所述陶瓷板具有基板支撐表面;以及冷卻組件,所述冷卻組件包含多個(gè)冷卻板,所述多個(gè)冷卻板設(shè)置于所述靜電夾具之下以調(diào)整所述靜電夾具的冷卻能力。在一些實(shí)施方式中,所述多個(gè)冷卻板包含內(nèi)冷卻板與外冷卻板,所述內(nèi)冷卻板配置成用以控制所述靜電夾具的中心部分的溫度,所述外冷卻板配置成用以控制所述靜電夾具的外部分的溫...
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