技術(shù)編號(hào):7350082
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在此提供一種裝置的實(shí)施方式,所述裝置用于控制處理腔室中的靜電夾具的溫度。在一些實(shí)施方式中,裝置包含靜電夾具,所述靜電夾具設(shè)置于處理腔室中,所述靜電夾具包含陶瓷板,所述陶瓷板具有基板支撐表面;以及冷卻組件,所述冷卻組件包含多個(gè)冷卻板,所述多個(gè)冷卻板設(shè)置于所述靜電夾具之下以調(diào)整所述靜電夾具的冷卻能力。在一些實(shí)施方式中,所述多個(gè)冷卻板包含內(nèi)冷卻板與外冷卻板,所述內(nèi)冷卻板配置成用以控制所述靜電夾具的中心部分的溫度,所述外冷卻板配置成用以控制所述靜電夾具的外部分的溫...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。