技術(shù)編號：7231789
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及圖案直接形成裝置(不使用掩模而執(zhí)行圖案形成的裝置)中的圖案形成方法及其計算機(jī)可讀介質(zhì)，該圖案直接形成裝置通過使用多個空間光調(diào)制元件使對象物(圖案形成目標(biāo))的表面曝光來在該對象物的表面上形成所希望的圖案，該空間光調(diào)制元件安裝并分配給沿對象物的相對移動方向限定的各個曝光區(qū)域。背景技術(shù) 利用例如數(shù)字微反射鏡器件(DMD)等空間光調(diào)制元件曝光對象的圖案直接形成裝置，即無掩模曝光裝置為了連續(xù)曝光具有較大圖案形成區(qū)域的對象基板(對象物)，通過以均勻的傳送速度...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。