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對超厚金屬溝槽邊緣的過刻蝕深度進行監(jiān)測的方法技術資料下載

技術編號:7180105

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本發(fā)明涉及半導體測試技術,尤其涉及對超厚金屬溝槽邊緣的過刻蝕深度進行監(jiān) 測的方法。背景技術刻蝕工藝的最后一步是進行刻蝕檢查以確??涛g質量。這種檢查是在有圖形的硅 片上刻蝕和去膠全部完成之后進行的,傳統(tǒng)上是用白光或紫外光手動顯微鏡來檢查缺陷, 如檢查污點和大的顆粒沾污。手動顯微鏡已大量被自動檢測系統(tǒng)所取代,特別是對有深亞 微米圖形的關鍵層的檢查??涛g工藝的質量也是通過對刻蝕問題的檢測來進行校驗的,例 如,包括是否存在過刻蝕、欠刻蝕或鉆蝕。在實際工藝制作中發(fā)現(xiàn)...
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