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一種濕法清洗槽的活動(dòng)晶圓夾具的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7096609

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本實(shí)用新型公開了一種濕法清洗槽的活動(dòng)晶圓夾具,設(shè)置在清洗槽內(nèi),用于將晶圓固定并進(jìn)行清洗,夾具包括按晶圓軸向設(shè)置的二個(gè)同步主動(dòng)滾軸和一個(gè)從動(dòng)滾軸,滾軸二端在清洗槽側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)固定,主動(dòng)滾軸連接驅(qū)動(dòng)單元,從動(dòng)滾軸位于二個(gè)主動(dòng)滾軸下方形成倒三角形設(shè)置,環(huán)繞滾軸徑向表面對(duì)應(yīng)設(shè)有若干晶圓卡槽,主動(dòng)、從動(dòng)滾軸通過各卡槽上托對(duì)應(yīng)晶圓以進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)清洗,可增加藥液的流動(dòng)空間,提高藥液的流動(dòng)性和沖刷性能,使顆粒容易從夾具上脫離,從而可提升后續(xù)晶圓批次的清洗效果,增加良率和產(chǎn)量,并可...
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