技術(shù)編號(hào)：7096609
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開了一種濕法清洗槽的活動(dòng)晶圓夾具，設(shè)置在清洗槽內(nèi)，用于將晶圓固定并進(jìn)行清洗，夾具包括按晶圓軸向設(shè)置的二個(gè)同步主動(dòng)滾軸和一個(gè)從動(dòng)滾軸，滾軸二端在清洗槽側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)固定，主動(dòng)滾軸連接驅(qū)動(dòng)單元，從動(dòng)滾軸位于二個(gè)主動(dòng)滾軸下方形成倒三角形設(shè)置，環(huán)繞滾軸徑向表面對(duì)應(yīng)設(shè)有若干晶圓卡槽，主動(dòng)、從動(dòng)滾軸通過各卡槽上托對(duì)應(yīng)晶圓以進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)清洗，可增加藥液的流動(dòng)空間，提高藥液的流動(dòng)性和沖刷性能，使顆粒容易從夾具上脫離，從而可提升后續(xù)晶圓批次的清洗效果，增加良率和產(chǎn)量，并可...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。