技術編號:7083588
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型揭示了一種晶圓裝卸裝置,包括裝卸腔室;用于傳輸所述晶圓的傳輸裝置,設置于所述裝卸腔室內(nèi);用于將所述晶圓傳輸出所述裝卸腔室的傳輸窗口,設置于所述裝卸腔室的側壁上;可移動的遮擋件,設置于所述裝卸腔室內(nèi);所述傳輸裝置將所述晶圓傳出所述傳輸窗口時,所述遮擋件移動至正對所述傳輸窗口處。如果有被粘住的晶圓隨所述傳輸裝置一起移動,被粘住的晶圓被所述遮擋件擋住,從而避免粘住的晶圓掉落在工藝機臺內(nèi),降低生產(chǎn)成本。專利說明晶圓裝卸裝直以及倒片機臺、工乙機臺 [...
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