技術編號：7083588
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型揭示了一種晶圓裝卸裝置，包括裝卸腔室；用于傳輸所述晶圓的傳輸裝置，設置于所述裝卸腔室內(nèi)；用于將所述晶圓傳輸出所述裝卸腔室的傳輸窗口，設置于所述裝卸腔室的側壁上；可移動的遮擋件，設置于所述裝卸腔室內(nèi)；所述傳輸裝置將所述晶圓傳出所述傳輸窗口時，所述遮擋件移動至正對所述傳輸窗口處。如果有被粘住的晶圓隨所述傳輸裝置一起移動，被粘住的晶圓被所述遮擋件擋住，從而避免粘住的晶圓掉落在工藝機臺內(nèi)，降低生產(chǎn)成本。專利說明晶圓裝卸裝直以及倒片機臺、工乙機臺 [...
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