技術編號：6947401
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及種使多種氣體切換流通的供氣單元及供氣裝置。 背景技術目前，在用于半導體制造工序等的供氣單元中，為了抑制由于載氣流路的截面積 變化所引起的氣壓的急劇變化，使載氣流路的截面形狀和截面積在整個流路上基本保持一 定(例如，參照專利文獻1)。參照圖6 8對專利文獻1所記載結構的進行說明。圖6是供氣單元的平面圖， 圖7是圖6的7-7線的截面圖，圖8是圖6的8-8線的截面圖。在上述供氣單元311中，在載氣輸入端口 321s和載氣輸出端口 321e之間形成有 一...
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