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金屬膜的制造方法、金屬膜及其應(yīng)用的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6923826

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本發(fā)明涉及金屬膜的制造方法、金屬膜及其應(yīng)用,特別是涉及能夠在任意的樹(shù)脂 膜上低成本地形成數(shù)十nm 數(shù)百nm膜厚的金屬膜,能夠作為濺鍍法(sputtering method) 的代替方法使用的金屬膜的制造方法、使用該方法制造的金屬膜及其應(yīng)用。背景技術(shù)在聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)或玻璃等的電絕緣性的透明基材上,層疊有透明導(dǎo) 電膜的透明導(dǎo)電層疊體,作為用來(lái)形成具有透明性的電極和布線的材料,被廣泛應(yīng)用于液 晶顯示器以及電致發(fā)光元件(electroluminesc...
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