技術(shù)編號：6798228
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種高分子聚合物，尤指一種適用于半導(dǎo)體制作過程的化學(xué)增幅型光阻劑組成物的高分子聚合物。近來曾有一種適用波長193nm光源高分子被發(fā)表出來，它是由四種高分子單體所共聚合而成的高分子共聚合物，稱為聚iBMA-MMA-tBMA-MMA(poly isobornyl methacrylate-methyl methacrylate-t-butylmethacrylate-methacrylic acid)，其結(jié)構(gòu)如下式 但上述高分子聚合物，具有一些不能...
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