技術(shù)編號(hào)：6636345
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種靜電驅(qū)動(dòng)階梯型微懸臂梁吸合電壓的預(yù)測方法和系統(tǒng)，其方法包括步驟建立階梯型微懸臂梁與襯底固定電極之間的間隙模型；建立所述階梯型微懸臂梁在靜電力作用下發(fā)生的變形的試函數(shù)模型；按照階梯型微懸臂梁的橫截面大小對其進(jìn)行區(qū)域劃分，得到多個(gè)梁單元，根據(jù)所述梁單元的結(jié)構(gòu)參數(shù)以及所述階梯型微懸臂梁的材料參數(shù)確定所述階梯型微懸臂梁的加權(quán)剛度，其中，所述材料參數(shù)包括材料特征長度參數(shù)；根據(jù)所述間隙模型以及所述試函數(shù)模型計(jì)算所述階梯型微懸臂梁的吸合位置系數(shù)；根據(jù)所述吸...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
請注意，此類技術(shù)沒有源代碼，用于學(xué)習(xí)研究技術(shù)思路。