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化學(xué)機(jī)械拋光方法及芯片版圖等效特征參數(shù)提取方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6620686

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本發(fā)明公開(kāi)了一種,包括將芯片版圖劃分成多個(gè)窗格,提取各個(gè)窗格的特征參數(shù);以各個(gè)窗格的特征參數(shù)為索引,查詢預(yù)設(shè)類型號(hào),判斷各個(gè)窗格的類型號(hào),并將相同類型號(hào)的窗格定義為同一集群;對(duì)于芯片版圖內(nèi)任一窗格i,提取預(yù)設(shè)區(qū)域內(nèi)與所述窗格i屬于同一集群的其他窗格的特征參數(shù),所述預(yù)設(shè)區(qū)域覆蓋所述窗格i,且所述預(yù)設(shè)區(qū)域的面積大于所述窗格i的面積;利用所述窗格i的特征參數(shù)及所述預(yù)設(shè)區(qū)域內(nèi)與所述窗格i屬于同一集群的其他窗格的特征參數(shù),計(jì)算所述窗格i的等效特征參數(shù),提高了利用CM...
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