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摻鎵cz硅棒及配料中硼、磷的分析方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6155167

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本發(fā)明涉及的是一種摻鎵CZ硅棒及配料中硼、磷的分析方法。 背景技術(shù)目前在生產(chǎn)摻鎵CZ硅棒時(shí),尤其在太陽(yáng)能領(lǐng)域,常出現(xiàn)配料過(guò)程中既存在含硼硅 料,又存在含磷硅料的情況,生產(chǎn)出硅棒后,如不進(jìn)行元素分析測(cè)試,就無(wú)法知道原料中的 硼磷含量,而做元素分析,成本一般在2000-3000元,周期約1周,這給對(duì)于硅材料的質(zhì)量鑒 定增加了成本,拖延了分析時(shí)間。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種能快速分析出摻鎵CZ硅棒及配料中硼、磷含量的分 析方法。本方法的方案如下1、根據(jù)CZ...
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