技術(shù)編號：6054072
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型公開了一種薄懸臂梁壓阻式加速度計，該薄懸臂梁壓阻式加速度計包括玻璃、頂硅、底硅、氧化層；玻璃上表面有頂硅，頂硅與玻璃之間通過陽極鍵合，頂硅和底硅之間設(shè)置有氧化層。本實用新型的薄懸臂梁壓阻式加速度計，由于SOI襯底中間有氧化層，所以腐蝕深度可控制的十分精確，從而大幅度提高其性能，可以大幅度減小芯片尺寸，同時不會帶來污染。專利說明一種薄懸臂梁壓阻式加速度計 [0001] 本實用新型屬于壓阻式加速度計領(lǐng)域，尤其涉及一種薄懸臂梁壓阻式加速度計。 ...
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