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膜型探針單元及其制造方法技術資料下載

技術編號:6004390

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背景技術1.發(fā)明領域本發(fā)明涉及,更具體地,涉及包括以與待測試對象的電極相同的間距單獨形成的探針板并且即使在電極具有微米尺度間距時仍表現(xiàn)出極好的接觸性能的。2.現(xiàn)有技術一般,制造平板顯示裝置或半導體裝置的過程涉及若干電測試。對于平板顯示裝置,該過程包括在薄膜晶體管(TFT)襯底和濾色器襯底之間注入液晶的元件過程、將帶式自動接合(TAB)集成電路(IC)和驅動芯片附連至元件的模塊過程以及將框架安裝在模塊上的安置過程,其中在模塊過程之前對元件進行電測試。更具體地...
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