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一種二氯二氧化鉬產(chǎn)品的除雜方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):39729103

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本發(fā)明屬于二氯二氧化鉬產(chǎn)品領(lǐng)域,具體涉及一種二氯二氧化鉬產(chǎn)品的除雜方法。背景技術(shù)、二氯二氧化鉬,化學(xué)式為moocl,淡黃色結(jié)晶,升華溫度為℃,吸濕性強(qiáng),極易水解。目前一般作為化學(xué)氣相沉積(cvd)的鉬源材料,用于沉積鉬薄膜,這些薄膜可以作為擴(kuò)散屏障、電極、互連件等器件應(yīng)用,因二氯二氧化鉬具有高保形性和可適合大批量生產(chǎn)的特性,廣泛用于存儲(chǔ)芯片、邏輯芯片、催化劑等芯片半導(dǎo)體行業(yè)。、目前,合成二氯二氧化鉬的方法主要包括氯化反應(yīng)法、升華提純法、氧鹵化合物化合法等。二氯二氧化鉬在高端芯片上的...
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