技術(shù)編號(hào):39727881
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體,特別是涉及一種用于半導(dǎo)體外觀檢測(cè)設(shè)備照明光源濾波裝置。背景技術(shù)、半導(dǎo)體工業(yè)普遍使用的光刻膠,在遭遇光線照射(特別是紫外線)即有曝光之效果,因此在顯影之前,都要遠(yuǎn)離此光源。、camtek?adi背照式(bsi)模塊使用的是白光,而白光會(huì)在幾秒內(nèi)使涂有光刻膠層的基材曝光,從而使可重復(fù)性的光刻工藝變得不可能。、因此,需要提出一種新的裝置來(lái)解決上述問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本發(fā)明的目的在于提供一種用于半導(dǎo)體外觀檢測(cè)設(shè)備照明光源濾波裝置,用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。
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