技術(shù)編號：3731807
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及化學機械拋光，特別是涉及一種用于藍寶石襯底材料的拋光液及其制備方法。背景技術(shù) 藍寶石單晶(Sapphire)，又稱白寶石，分子式為Al2O3，透明，與天然寶石具有相同的光學特性和力學性能，有著很好的熱特性，極好的電氣特性和介電特性，并且防化學腐蝕，對紅外線透過率高，有很好的耐磨性，硬度僅次于金剛石，達莫氏9級，在高溫下仍具有較好的穩(wěn)定性，熔點為2030℃，所以被廣泛應用于工業(yè)、國防、科研等領(lǐng)域，越來越多地用作固體激光、紅外窗口、半導體芯片的襯底片...
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