技術(shù)編號(hào)：3466703
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及工業(yè)廢棄物的處理，尤其涉及。背景技術(shù)三氯氫硅(Trichlorosilane，簡(jiǎn)稱TCS)是生產(chǎn)多晶硅的重要原料，通常由硅粉與氯化氫氣體合成反應(yīng)制備而來(lái)。三氯氫硅合成過程中不可避免的會(huì)產(chǎn)生廢棄硅粉。廢棄硅粉主要來(lái)源于(1)硅粉車間加料過程散落在地面及設(shè)備上的硅粉；( 硅粉輸送系統(tǒng)排氣過程中帶出的硅粉；因漂浮、沉降或反應(yīng)不完全而產(chǎn)生的硅粉；(4)流化床設(shè)備故障、停車修理或排放產(chǎn)生的硅粉(三氯氫硅合成過程中流化床面臨的工作環(huán)境惡劣，其常因持續(xù)的高溫、...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。