技術編號：3465896
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及多晶硅尾氣回收處理技術，屬氣體分離領域，具體是指一種多晶硅尾氣處理回收純氫和液態(tài)HCL的系統(tǒng)及其工藝。背景技術在多晶硅生產中，三氯氫硅合成工序和還原工序會產生大量尾氣，據(jù)估算，每生產 Ikg多晶硅產品，就會產生40kg的尾氣，其主要成份為氫氣(H2)、氯化氫(HCL)、二氯二氫硅(SiH2CL2)、三氯氫硅(SiHCL3)、四氯化硅(SiCL4)，這里將 SiH2CL2、SiHCL3、SiCL4 統(tǒng)稱為氯硅烷。多晶硅尾氣既是有效原料氣或中間產品，...
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